相襯顯微鏡技術(shù)可以應(yīng)用于金相分析中-顯微圖像

  在外延生長(zhǎng)期間產(chǎn)生的堆垛層錯(cuò)有一個(gè)可預(yù)料的幾何形狀它們?cè)诒?br>面上的外形尺寸與厚度直接成正比，并可用來(lái)計(jì)算在層錯(cuò)形成后才生長(zhǎng)
的外延層厚度。在淀積時(shí)偶而也會(huì)出現(xiàn)一些困難，

  并產(chǎn)生附加的堆垛層錯(cuò)，這些層錯(cuò)不會(huì)與一開始就成核的層錯(cuò)一樣
大，因此在選擇一個(gè)特定的堆垛層錯(cuò)來(lái)進(jìn)行測(cè)量前，必須在整個(gè)面積上
選取最大層錯(cuò)。

  在大部分生長(zhǎng)條件下，不需作另外的表面處理，用一臺(tái)相襯或干涉
相襯顯微鏡就能看到堆垛層錯(cuò)。在這種情況下，此方法是非破壞性的。
用淺腐蝕來(lái)確定這些層錯(cuò)，

  果腐蝕劑除去很厚的一層膜，那么根據(jù)層錯(cuò)尺寸能確定的厚度必須
加上這個(gè)量。為了估計(jì)腐蝕去的量，可在單獨(dú)的實(shí)驗(yàn)中測(cè)量腐蝕速率，
再與樣品腐蝕時(shí)間結(jié)合起來(lái)。使用堆垛層錯(cuò)的主要缺點(diǎn)是高質(zhì)量淀積層
很少有層錯(cuò)，因此，它們實(shí)際上是不可能被發(fā)現(xiàn)的。用此法計(jì)算得到的
數(shù)值幾乎與其它所有方法都不相同，它是測(cè)量從表面到實(shí)際的外延與襯
底界面間的距離，而不是測(cè)量從表面到其它由襯底的反擴(kuò)散所決定區(qū)域
間的距離。因此，在這種方法與其它方法之間可能存在著如何互相連系
的間題。

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