傾斜光軸的顯微鏡可用顯微測(cè)角儀來(lái)測(cè)定-工具型

  工具顯微鏡的載物臺(tái)在x-Y平面上和垂直位置上都由精密測(cè)
微器調(diào)節(jié)

并用標(biāo)度盤(pán)指示器來(lái)控制使它便于測(cè)星表面特征之間的距離.
在研究非常小的晶體時(shí)，不同的裸露平面之間的角度可以

用備有校正過(guò)的旋轉(zhuǎn)載物臺(tái)和校正過(guò)的可傾斜光軸的顯微鏡
(顯微測(cè)角儀)來(lái)測(cè)定.使光源和顯微鏡對(duì)觀察面都傾斜成45°
角時(shí)，便構(gòu)成一臺(tái)能夠測(cè)量臺(tái)階高度的光截面顯微鏡.

它雖不具有如顯微干涉儀那樣精細(xì)的分辨能力，但是對(duì)產(chǎn)品
測(cè)量卻更實(shí)用.

另外還有依賴于附加現(xiàn)象的其它光學(xué)裝置，這些裝置也是用
來(lái)檢驗(yàn)半導(dǎo)體材料和器件的，例如相襯、干涉襯度和起偏振
鏡等.

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