聚焦型激光顯微鏡-顯微測(cè)量?jī)x器制造廠(chǎng)商

  用激光光點(diǎn)檢測(cè)位置的方法稱(chēng)光觸針?lè)?。它是用光點(diǎn)代
替與被測(cè)件接觸的觸針尖。此方法的優(yōu)點(diǎn)是不接觸工件就可
以進(jìn)行測(cè)量，這是因?yàn)槭褂昧司酃庑院?、亮度大的激光。?br>以，光觸針?lè)ㄔ谧鴺?biāo)測(cè)量中具有很高的使用價(jià)值。

  用一般透鏡把激光聚集成象，稱(chēng)為聚焦型激光顯微鏡，測(cè)
量對(duì)象主要是物體的位置和形狀。此處介紹其中一部分，其
余部分在光電顯微鏡中介紹。

  根據(jù)被測(cè)量位置上入射光束和反射光束的關(guān)系，把光點(diǎn)
檢測(cè)位置分為兩類(lèi):一類(lèi)是入射光軸和反射光軸同軸，另一類(lèi)
是兩光軸有一定傾角。

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