光學顯微鏡分辨率是0.2微米左右-電鏡特點簡介

  通常，可以將透射電鏡與光學顯微鏡的原理相對比，
而掃描電子顯微的結(jié)構(gòu)原理卻更類似于傳真照片。在此裝置中，
用極細的電子探測束掃描試樣時，在其表面上將產(chǎn)生二次
電子、反射電子或者X射線。

于是，移動照射在試樣表面上的電子束照射點，如果試樣的形狀
或者性質(zhì)發(fā)生變化時，

由試樣上產(chǎn)生的量子數(shù)量將發(fā)生變化。所以，如果象電視畫面
那樣，用電子束掃描試樣時，對應于上述的二次電子或反射
電子等的量子變化量，顯象管的亮度也將同步地發(fā)生變化，
于是在熒光屏上就可以得到試樣的象。

  就分辨率而言，肉眼約為0.1毫米，光學顯微鏡的極限
分辨率是0.24微米，而掃描電子顯微具有100埃以下的實用分辨率。
如果使用高輝度的電子槍，可以達到25埃的分辨率。因為
透射電鏡的分辨率可達2^,3埃，所以，就分辨率這一點而論，
掃描電子顯微不如TEM。但是，

它具有以下特點:

(1)焦點深度大，可以觀察立體象，
(2)不必制作復膜可以直接觀察固體表面。

  此外，觀察掃描電子顯微象時，是觀察電子撞擊試樣表面時所
產(chǎn)生的二次電子的象(也包含有反射電子的信息)，同時，也
產(chǎn)生X射線，當使用適當?shù)慕邮掌鲿r，也可以作元素分析。
而且，應用超軟X射線分析時，也能分析化合物中元素的
狀態(tài)。

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