形貌圖的分辨能力

  用于測量表面形貌儀器的實(shí)用性同，取決于它能同時測量水平方
向和垂直方向兩點(diǎn)之間的間隔的能力，形貌圖的分辨能力是由所用
儀器的水平和垂直分辨率的乘積決定的。

  在典型的工作條件下，上述儀器的水平、垂直和形貌圖手大致分
辨能力，包括透射電鏡的參數(shù)可供參考。

  表面粗糙度測量的現(xiàn)有方法，從測量系統(tǒng)的觀點(diǎn)討論這些方法，
組成這個系統(tǒng)的各個部分；試樣表面、測量儀器、分析設(shè)備和數(shù)顯
裝置等都 是同等重要的，通過峰到谷的測量范圍、測量區(qū)域大小
、垂直分辨率、水平分辨率和輪廓測量的可能性等項(xiàng)目來評價和比
較觸針式、光學(xué)和電子光學(xué)的各種儀器。

多光束干涉顯微鏡——在各種各樣的光學(xué)顯微鏡中，干涉顯
微鏡是最經(jīng)常用來獲得表面形貌定量信息的一種儀器。

表面粗糙度儀形貌分辨力常識

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