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顆粒輪廓儀的三類測(cè)定形式闡述

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2021-05-13  來源:儀器網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):53
核心提示:  光學(xué)輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并
  光學(xué)輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌的3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。 為能準(zhǔn)確地表征表面形貌,光學(xué)輪廓儀需要進(jìn)行一系列校準(zhǔn)標(biāo)定流程: 1.3D(三維)形貌校準(zhǔn) 這一校準(zhǔn)都和形貌測(cè)量的 高度 結(jié)果相關(guān),所以稱為三維校準(zhǔn)。主要包括對(duì)干涉物鏡參考面形貌誤差的標(biāo)定;以及使用標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階塊對(duì)臺(tái)階高度測(cè)試精度校準(zhǔn)。 2.2D(二維)光強(qiáng)校準(zhǔn) 這一校準(zhǔn)和成像視場(chǎng)范圍內(nèi)的 光強(qiáng) 信號(hào)相關(guān)。輪廓儀有一些功能,可以增強(qiáng)用戶對(duì)樣品表面觀察效果。比如在某觀測(cè)模式下,可以自動(dòng)去除視場(chǎng)中黑白條紋,更清楚地觀測(cè)表面紋理;真彩模式可以復(fù)現(xiàn)表面彩色信息。 由于以上功能相關(guān)標(biāo)定都只涉及 光強(qiáng) ,不涉及到形貌高度,所以稱為二維光強(qiáng)校準(zhǔn)。 3.橫向校準(zhǔn) 這一校準(zhǔn)是為了標(biāo)定在當(dāng)前設(shè)置下,每個(gè)像素在橫向上代表的尺寸大小。 光學(xué)輪廓儀的很多測(cè)試結(jié)果和分析設(shè)置,如溝槽寬度,孔徑尺寸,坡度斜率,空間濾波,拼接測(cè)量,都基于或和橫向尺寸相關(guān)。對(duì)于這些結(jié)果和分析,橫向尺寸的標(biāo)定是至關(guān)重要的。

 
關(guān)鍵詞: 表面 校準(zhǔn) 形貌 器件 3D
 
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顆粒輪廓儀的三類測(cè)定形式闡述二維碼

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