樣品斷口截面測量電子顯微鏡的應用類型技術簡介

在完成了一個截面的測量之后，可用量塊和h值控制截面位
置，完成其他截面的測量。
  由于該儀器采用尖點觸頭，可直接測量設計圖要求的坐標點
位置，直觀、方便。需要指出的是，按《形位公差》標準規(guī)定，
線輪廓度誤差值與點的坐標誤差值不等，只在特殊情況下才相等。
  當測頭沿著型面各點切線的法線方向測量時，由于葉型本身
不平坦，尤其在進氣、排氣邊緣部位，其曲率與中間部位差別很
大，測頭方向在不斷地改變。又由于在不同的測量方向上給予相
同的測力(調(diào)整百分表到固定的示值)，而讀數(shù)值全是在y軸方
向讀出，因此就存在著測力誤差。曲率變化愈大，其測量誤差愈
大

  粗糙度測量，電針描式系統(tǒng)，粗糙度標準塊，表面輪廓，掃描
電子顯微鏡的表面在粗糙度測量領域內(nèi)的研究和發(fā)展工作的目的是
，提高對粗糙度測量儀器測量不可靠性的認識水平及探索其改進的
可能性，用深度校正標準發(fā)起人和粗糙度標準塊來檢驗和調(diào)整不同
廠商制造的電針描式儀器，會使它們的散發(fā)大大減小，測量不可靠
性也來自表面上存在的波形譜， 研究粗糙度標準塊導出了其它測
量條件，即觸針的靜態(tài)和動態(tài)特性，針尖的曲率半徑、基面及數(shù)字
化時的步距。

  用掃描電子顯微鏡獲得的被研究表面的信息遠遠大于電針描式儀
器的分辨能力，在研究工作中成功地測出了掃描電子顯微鏡立體圖
，因而把一個純粹是觀察用的掃描電鏡改進成一個具有高分辨能力
的測量儀器。

  微觀形狀和表面特性和實際意義對工程師們來說比人們一般所想
像的要大得多，舉幾個例子，我回憶到，交變強度，液體或氣體中
間層的兩個固體間的摩擦，對粗糙度壁面的流線，各種波長光線的
反射，表面本身的熱輻射，從壁面到靜止或運動的液體或氣體的傳
導和對流的轉(zhuǎn)變等等，這些過程都或多或少與表面的微觀形狀有關

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