表面輪廓儀測量的位移量小但準(zhǔn)確度高-輪廓儀廠商
表面輪廓儀測量的位移量很小,準(zhǔn)確度很高,通常工作臺
是防震的,即使是便攜式輪廓儀,也一定要在無震條件下測量.
試樣制備
試樣制備質(zhì)量對測量準(zhǔn)確度影響很大,并影響儀器速度的
設(shè)定。
在覆層厚度測量中,制備臺階要求基體和臺階頂部不受損傷
和腐蝕,而臺階底部應(yīng)無任何覆層痕跡。通??刹捎没瘜W(xué)溶解和
陽極溶解法來溶解要去掉部分的覆層,選用的溶解液應(yīng)對基體不
發(fā)生腐蝕。
采用溶解法制備臺階,建議在1平方里面的正方形內(nèi)除掉四個(gè)小
徊面積內(nèi)覆層。溶解覆層時(shí),可在要溶解面積外的全部覆層加以
屏蔽,只溶解要溶解的覆層而形成小圓坑.
臺階也可通過在鍍覆前遮蔽一部分,遮蔽部分的直徑通常是
約l一2mm,這樣在鍍覆過程中就會(huì)由于遮蔽部分鍍覆不上而形
成臺階.
按照上述方法制備的試樣,通過輪廓儀記錄出兩小圓坑間的
輪廓曲線,取兩圓坑臺階的中點(diǎn),也就是曲線高度的中點(diǎn),根據(jù)
中點(diǎn)可以繪出曲線的中點(diǎn)曲線.然后對另兩個(gè)小圓坑之間的輪廓
r抽線也繪中點(diǎn)曲線.最后可將兩輪廓曲線之一的上邊緣和另一嗌
錢下邊緣疊置,取兩中線之間的高度作為覆層的厚度.
表面粗糙度(輪廓)儀是非常精密的測量儀器,對其校正和測量都應(yīng)?。?br>心細(xì)致地進(jìn)行.通常表面輪廓儀的校正可利用光干涉儀,也可以
直接利用已知厚度的標(biāo)準(zhǔn)塊來進(jìn)行:表面輪廓儀測量的覆層厚度
極薄,任何影響因素都可能帶來較大的測量誤差。因而,在測量
過程中,對于溫度的變化、測量臺有無震動(dòng)、試件基體的平滑租
平直度、試件表面清潔度、臺階制備的完善性、儀器放大倍數(shù)的
穩(wěn)定性和設(shè)置、觸針的壓力、觸針針尖大小和粗糙度之間的選,
配、觸針有無磨損等都應(yīng)充分加以注意,以便能得到準(zhǔn)確的測量
結(jié)果.
(本文由上海光學(xué)儀器廠編輯整理提供, 未經(jīng)允許禁止復(fù)制http://www.sgaaa.com)
合作站點(diǎn):http://www.xianweijing.org/