輪廓儀覆層厚度測(cè)量-輪廓儀又稱表面粗糙度儀

輪廓儀覆層厚度測(cè)量
  輪廓儀又稱表面粗糙度儀，常用于測(cè)量加工表面的粗糙度或
不平度。對(duì)于表面有覆層的制品，如果從被測(cè)表面到和基體的界
面制備一個(gè)小溝槽或臺(tái)階，則可以測(cè)量覆層厚度。通常輪廓儀測(cè)
量厚度的范圍為0．01一1000μm，當(dāng)厚度小于0．01μm時(shí)，則對(duì)工
件表面平直度和平滑度要求很高，厚度的測(cè)量較為困難。輪廓儀
祛雖然屬于破壞測(cè)量，但由于測(cè)量直觀，測(cè)量厚度的下限很薄，
捌量誤差較小，因而它也被用來作為仲裁測(cè)量和供其他儀器校準(zhǔn)
之用。

基本原理
  輪廓儀通常是電子觸針式儀器，根據(jù)其所用傳感器不同，一
搬可分為電感式、壓電式、感應(yīng)式、光電式等．電感式由于具有
：準(zhǔn)確度高、信噪比高等特點(diǎn)，因而它的應(yīng)用最為普遍。
  輪廓儀是用觸針在被測(cè)表面移動(dòng)，在移動(dòng)過程中，觸針隨表
面不平度而上下移動(dòng)，從而感應(yīng)產(chǎn)生一比例子上下移動(dòng)距離的信
號(hào)，將此信號(hào)放大，則可以記錄出每點(diǎn)高度i。由于觸針隨著驅(qū)動(dòng)
箱電動(dòng)機(jī)的帶動(dòng)而在一定長(zhǎng)度下移動(dòng)，因而它可記錄出移動(dòng)范圍
：內(nèi)的表面輪廓。當(dāng)測(cè)量覆層時(shí)，由于試樣制備了溝槽，因而它可
以測(cè)量出各點(diǎn)的覆層厚度．

利用輪廓儀測(cè)量覆層厚度時(shí)，對(duì)于觸針尖端半徑的要求不象
測(cè)量粗糙度的要求高，可以選用5微米或更大一些的觸針．金剛石
觸針可以承受一定的沖擊力而不會(huì)損壞，因而使用壽命較長(zhǎng)。
  利用輪廓儀測(cè)量覆層厚度時(shí)，需要將被測(cè)件表面先制備一個(gè)
小臺(tái)階，當(dāng)測(cè)針從臺(tái)階底，即從基體表面的位置開始移動(dòng)，待測(cè)
針，移到臺(tái)階邊緣就會(huì)跳至覆層表面，因而儀器將記錄出基體表面
和覆層表面的高度差，也就是記錄出覆層厚度。
  輪廓儀測(cè)量覆層的基體表面必須非常光滑平整，否則難以保
證測(cè)量的準(zhǔn)確度。

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