通過玻璃板或流體介質(zhì)的測量
一些工程對象,如MEMS系統(tǒng),通常用防護玻璃罩進行保護,在
環(huán)境艙中一些設(shè)備需要在不同的壓強及溫度下進行檢測。這些對象
的檢測需要經(jīng)過玻璃防護罩進行。生物樣本通常是泡在液體中的,
對其測量則需要通過液體。因為液體層或玻璃保護罩的色散,
白光條紋可能會全部消失。
因此,需要在干涉儀的參考臂上引人一個補償板。這種補償方
式對于邁克耳遜型的物鏡是最容易實現(xiàn)的。此外,對于那些用在照
明和成像光學(xué)系統(tǒng)中的數(shù)值孔徑更高的物鏡,條紋的對比度減小得
更快。針對這些更高數(shù)值孔徑的物鏡引人補償也很難。對于這種具
有高的數(shù)值孔徑物鏡的系統(tǒng),為了增加針對具有高數(shù)值孔徑物鏡系
統(tǒng)的條紋對比度,降低照明的數(shù)值孔徑可以通過直接將一束數(shù)值孔
徑很低的近準直照明光束入射到物鏡下方的干涉儀中而不經(jīng)過物鏡
來實現(xiàn),
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