微電子器件納米線封裝中電子顯微鏡的應(yīng)用

  隨著傳統(tǒng)微電子器件尺寸不斷縮小，進(jìn)一步減小導(dǎo)線尺寸的需
求變得愈發(fā)明顯。然而，對金屬導(dǎo)體性質(zhì)的研究表明，CNT的特定
結(jié)構(gòu)和電流承載能力，將實(shí)際導(dǎo)線的最小直徑尺寸限制在3nm左右
，而人們正在研究直徑在3nm以下的納米電氣連接，它是由單金屬
原子排列而成的，即量子線。量子線可通過機(jī)械打斷的方法、結(jié)合
機(jī)械打斷與刻蝕和沉積技術(shù)的方法，或其他技術(shù)來實(shí)現(xiàn)。盡管我們
對量子線性質(zhì)的認(rèn)識(shí)還僅停留在理論層面上，有一點(diǎn)卻是毫無疑問
的，即量子線是即將到來的分子電子學(xué)中封裝問題值得考慮的解決
方案。
  直徑從10nm至亞微米之間的金屬導(dǎo)線和金屬棒，人們已經(jīng)認(rèn)識(shí)
到了它們在微電子封裝中的應(yīng)用潛力。所以，金屬線和金屬棒的產(chǎn)
生、表征、處理等技術(shù)及它們與磁場的相互作用，將在納米時(shí)代的
封裝應(yīng)用中起重要作用。由于可用信息十分豐富，許多研究還正在
進(jìn)行當(dāng)中。這些研究旨在通過不同材料來生成新型線狀納米幾何構(gòu)
型，并對其特性進(jìn)行刻畫。
  納米線在封裝中的具體應(yīng)用主要是互連生成、傳感器、光電子
學(xué)等領(lǐng)域。根據(jù)對導(dǎo)線的一般理解，很容易把納米線想象成圓柱狀
的導(dǎo)線束：直徑小于100nm，理想上無限長，至少是很長的。那是
由于普通導(dǎo)線是通過對金屬棒進(jìn)行拔絲操作而獲得的，但納米線不
能通過拔絲的方法制造，也不一定由單一金屬或材料組成。當(dāng)然，
通過掃描隧道顯微鏡的懸臂針尖啟動(dòng)鏈?zhǔn)骄酆戏磻?yīng)，能夠以拔絲形
式生成電子線路中的導(dǎo)電聚合物納米線。
  盡管，有的參考文獻(xiàn)會(huì)經(jīng)常把棒狀膠質(zhì)結(jié)構(gòu)稱作納米線，但其實(shí)
它們更應(yīng)該被稱為納米棒或是針狀納米晶體。如果它們由金屬組成
，正規(guī)的文獻(xiàn)都會(huì)把這類結(jié)構(gòu)稱作納米線。然而，我們將注意力都
集中在金屬線和金屬線狀結(jié)構(gòu)上，無論它們是作為支柱固定在固體
基板上，還是呈刷狀，抑或是呈菌苔狀結(jié)構(gòu)，我們都把它們稱作納
米線。超分子線狀幾何構(gòu)型，比如原肌球蛋白纖維，

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