.TRS_Editor P{margin-top:0px;margin-bottom:12px;line-height:1.8;font-family:宋體;font-size:10.5pt;}.TRS_Editor DIV{margin-top:0px;margin-bottom:12px;line-height:1.8;font-family:宋體;font-size:10.5pt;}.TRS_Editor TD{margin-top:0px;margin-bottom:12px;line-height:1.8;font-family:宋體;font-size:10.5pt;}.TRS_Editor TH{margin-top:0px;margin-bottom:12px;line-height:1.8;font-family:宋體;font-size:10.5pt;}.TRS_Editor SPAN{margin-top:0px;margin-bottom:12px;line-height:1.8;font-family:宋體;font-size:10.5pt;}.TRS_Editor FONT{margin-top:0px;margin-bottom:12px;line-height:1.8;font-family:宋體;font-size:10.5pt;}.TRS_Editor UL{margin-top:0px;margin-bottom:12px;line-height:1.8;font-family:宋體;font-size:10.5pt;}.TRS_Editor LI{margin-top:0px;margin-bottom:12px;line-height:1.8;font-family:宋體;font-size:10.5pt;}.TRS_Editor A{margin-top:0px;margin-bottom:12px;line-height:1.8;font-family:宋體;font-size:10.5pt;}

　　在光學成像領域中，由于受到衍射極限的限制，常規(guī)成像分辨率難以突破200nm。生物醫(yī)學、集成電路等領域?qū)μ岣叱上穹直媛视衅惹幸螅绾螌崿F(xiàn)更高成像分辨率成為近年來的熱門研究方向之一。

　　受自然界微滴可提高成像分辨率的啟發(fā)，2011年科學家提出將直徑在微米級的介質(zhì)微球直接放置于待測樣品表面，在普通白光顯微下即可達到50nm的分辨能力。介質(zhì)微球超分辨顯微方式以其簡單靈活的特點，受到國內(nèi)外廣泛關注，但微球的成像對比度一直有待提高。

　　近日，中國科學院光電技術研究所研究團隊發(fā)展出一種利用暗場顯微有效提高成像高頻成分含量的方法，具有降低成像低頻成分的特點，結(jié)合微球超分辨能力，可實現(xiàn)更高對比度的微結(jié)構超分辨顯微。該方法通過時域有限差分法模擬分析微球在不同浸沒方式、浸沒深度情況下的半高寬及光強值等得到更優(yōu)化的超分辨能力，模擬結(jié)果如圖1所示。在此基礎上，通過二氧化硅和鈦酸鋇微球在不同浸沒情況下觀察特征尺寸為139nm的硅光柵結(jié)構，實驗結(jié)果如圖2所示。可以看出，在暗場顯微時成像對比度明顯得到增強。

　　研究工作得到國家自然科學基金和中科院科研裝備研制項目的支持。

不同浸沒深度的微球聚焦特性分析

不同照明方式的微球成像質(zhì)量對比