可用于電鏡測(cè)定使化學(xué)分析和顆粒大小和表面特征

可以用于電鏡測(cè)定使化學(xué)分析和顆粒大小分
析可同時(shí)進(jìn)行。掃描電子顯微鏡(SEM)

掃描電子顯微鏡是一細(xì)束具有中等能量(5—50kev)的電子在一系列
軌跡上掃描試樣。這些電子與試樣相互作用產(chǎn)生二次電子放射(SEE)，
 反射電子光(BSE)或陰極射線致發(fā)光和X射線等信號(hào)。這些信號(hào)中的每
一種都可被檢測(cè)出來(lái)，并如電視圖象一樣在陰極射線管的屏幕上顯示出
來(lái)。一般都用屏幕的照象記錄進(jìn)行觀察。與TEM比較，SEM要快得多，而
且得到更多的三維空間細(xì)節(jié)

為測(cè)定表面特征和顆粒的厚度，常將一重金屬膜傾斜地沉積在標(biāo)本
上或其復(fù)制光柵樣上。為了使接近于平行的光束可以達(dá)到標(biāo)本上，可利
用低能源高真空將金屬沉積下來(lái)。

化學(xué)分析

當(dāng)顆粒被電子轟擊后其輻射取決于化學(xué)成分。  用單色或多色輻射
或電子束來(lái)進(jìn)行研究。這是一種一個(gè)電子從內(nèi)層軌道發(fā)射出的二次電子
過(guò)程，留下的空位被落入空位層的電子所填充，這就為放射另一個(gè)電子
提供了能量。Auger電子的能量是分子所具有的特征。用真空紫外技術(shù)
對(duì)金屬表面進(jìn)行了很多研究，從得到的能量分布曲線(EDCs)給出各種金
屬譜段的資料。軟X射線的應(yīng)用就是化學(xué)分析的電子光譜法(ESCA)。X—
射線除能從價(jià)電軌道上放射電子外，還能有足夠能量從某些內(nèi)層軌道放
射出電子。這是屬于由原子性質(zhì)而產(chǎn)生的能譜，是有關(guān)原子的特征而不
是一部分由該原子所組成的分子的特征

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