微型泵,微加工技術(shù)磨損表面粗糙度計量儀

  微米世界是一個很奇妙的世界。在這個世界里，頭發(fā)絲會顯得
很粗，分子會觸手可及。傳統(tǒng)意義上的微米尺度已屬微觀世界。而
從現(xiàn)代意義上講，微米尺度仍屬宏觀的范疇，它所涉及的仍是物體
，尚未觸及物質(zhì)的結(jié)構(gòu)。在微米世界里，確實存在實實在在的機械
，如微型齒輪；存在實實在在的結(jié)構(gòu)，如微型梁、微梳齒、微管道
；存在實實在在的系統(tǒng)，如微加速度計、微陀螺、微慣性測量組合
、微馬達、微型泵等。微加工技術(shù)出現(xiàn)以前，這樣的情景難以想象
。但隨著微電子加工技術(shù)的發(fā)展，所有這些都一個個變成了現(xiàn)實。
微米技術(shù)的發(fā)展使人們很快想到了納米，也切實推動了納米技術(shù)的
發(fā)展和進步。納米領(lǐng)域與分子領(lǐng)域僅一步之遙。掃描隧道顯微鏡的
出現(xiàn)，使人們可以用機械的手段搬動原子。從此，物理和化學的界
限將不再像原來那么清晰，機械運動與化學反應(yīng)的行為也將不再那
么截然不同。在不久的將來，物理的機械動作也許會代替原來的化
學反應(yīng)。通過機械作用也許會創(chuàng)造出新的材料。
  在微米世界中，無論是機械的運動還是結(jié)構(gòu)的變形或是系統(tǒng)的
響應(yīng)，主要都是通過力來作用的。在各種力學環(huán)境中，有些是主動
利用的力(如驅(qū)動力)，有些是被動涉及的力(如阻力)；有些是和宏
觀環(huán)境完全相同的，有些是微觀環(huán)境特有的。這些力之間關(guān)系錯綜
復雜，重要程度也不盡相同，如果弄不清其中的主導力，許多實際
中重要的現(xiàn)象是無法科學解釋的，如微機電系統(tǒng)中的動能、動力學
、靜摩擦、摩擦、黏性、磨損等，巨大的微機電系統(tǒng)技術(shù)應(yīng)用潛力
是很難開發(fā)出來的，更談不上其優(yōu)化的利用。而分析好、認識好并
利用好各種力，就會對微米系統(tǒng)的工作效果產(chǎn)生巨大影響。因此，
系統(tǒng)地介紹微機電系統(tǒng)的力學是十分必要的。

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