熱膜式進氣質量流量計是一種“熱傳感器”，它按以下原理工作：

在傳感器測量單元上，位于中間的加熱電阻加熱微電子一機械式傳
感器薄膜，并使它保持恒定的溫度，而這個被調節(jié)的加熱區(qū)的兩側溫度
是逐漸降低的。
薄膜上對稱于加熱電阻的上下游部位，用涂敷法制成兩個與溫度有
關的電阻(測量點)，用來采集薄膜上的溫度分布。若沒有空氣流動，那
么兩側的溫度曲線(1)形狀是相同的。
當空氣流經傳感器測量單元時，傳感器薄膜上原來相同的溫度曲線
就移動(2)，因流過的空氣冷卻這個區(qū)域，進氣側的溫度曲線變陡。而
在面向發(fā)動機的相反一側，測量單元首先冷卻，但是在隨后的過程中，
被加熱元件加熱的空氣又使測量元件熱起來。這種溫度分布的變化導致
測量元件之間的溫度差。
散發(fā)到空氣中的熱量也就是傳感器測量單元上的溫度曲線取決于流
過的空氣質量，因而溫度差(與流過空氣的絕對溫度無關)就是進氣質量
流量的量度，同時它與流動方向有關，因而進氣質量流量計不僅能采集
進氣質量流量的總量．而且也能采集其流動方向。

因微電子一機械式薄膜非常薄，因而傳感器對這種溫度變化的反應
非?？? 15ms)，這在空氣流動強烈脈動的情況下顯得非常重要。
集成在傳感器中的計值電子電路將測量點之間的電阻差值轉換成適
合于電控單元的模擬電壓信號(0—5mV)。借助于存儲在電控單元中的傳
感器特性曲線，測量電壓被換算成空氣質量流量值(kg／h)。

特性曲線被設計得具有這樣的特點，即集成在電控單元中的診斷功
能能夠識別其故障，例如導線斷路。

(本文由上海光學儀器廠編輯整理提供, 未經允許禁止復制http://www.sgaaa.com)