藍(lán)寶石晶片退火的方法藍(lán)寶石晶體(Al2O3)是超高亮度的藍(lán)、白光LED發(fā)光材料GaN常用的襯底材料， 而GaN嘉晶的晶體質(zhì)量與所使用的監(jiān)寶石襯底(基板)表面加工質(zhì)量密切相關(guān)，尤其是圖形化襯底(PSS)與晶片的表面形貌、翹曲程度聯(lián)系密切，同時，晶片的翹曲程度過大，會在平片做GaN磊晶時，平片與外延薄膜脫落，PSS難以聚焦，影響外延品質(zhì)。在藍(lán)寶石襯底的切害I]、雙面研磨以及單面研磨、拋光過程中，盡管部分的加工應(yīng)力會在下一道加工工序釋放，但是這種應(yīng)力釋放是無序釋放，同時未釋放的加工應(yīng)力會在晶片表面集聚，影響藍(lán)寶石晶片的翹曲程度，嚴(yán)重的翹曲會在后道加工過程產(chǎn)生破片，影響整個加工循環(huán)的晶片質(zhì)量。藍(lán)寶石襯底在加工過程中，必須經(jīng)過退火處理以降低加工應(yīng)力，目前的退火工藝采用一步升溫至退火溫度，未經(jīng)過過程保溫，加工應(yīng)力釋放不均勻，且藍(lán)寶石晶片在退火爐中始終不動，爐子的溫度場對加工釋放均勻性影響大，對大尺寸的藍(lán)寶石晶片影響更為明顯。
   要解決的技術(shù)問題是提出一種高質(zhì)量的藍(lán)寶石晶片退火方法，適用于對藍(lán)寶石切割片、雙面研磨片、單片研磨片和拋光片。該發(fā)明可以使得藍(lán)寶石在切割、研磨和拋光過程中產(chǎn)生的加工應(yīng)力釋放均勻、充分，可以減小溫度場對加工應(yīng)力釋放的影響。本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為一種藍(lán)寶石晶片的退火方法，是在退火過程中，分階段升溫、保溫，并在退火過程中，適當(dāng)旋轉(zhuǎn)藍(lán)寶石晶片，該方法使得藍(lán)寶石在切割、研磨和拋光過程中產(chǎn)生的加工應(yīng)力釋放均勻、充分，可以減小溫度場對加工應(yīng)力釋放的影響。該方法克服了現(xiàn)有技術(shù)的諸多缺點(diǎn)，具體內(nèi)容如下I、將藍(lán)寶石晶片裝入退火爐中，快速直接升溫至低溫度區(qū)域150 C 300 C，保溫2 4小時,此階段升溫時間為I 2小時；2、在低溫區(qū)保溫過程中，將藍(lán)寶石晶片旋轉(zhuǎn)180度，使整批晶片受熱均勻；3、經(jīng)過低溫保溫一段時間后，升溫至中溫區(qū)域600 C 800 C，保溫5 10小時，此階段升溫時間為4 6小時；4、在中溫區(qū)保溫過程中，將藍(lán)寶石晶片旋轉(zhuǎn)180度，使整批晶片受熱均勻；5、經(jīng)過中溫保溫一段時間后，升溫至高溫區(qū)域900 C 1600 C，保溫10 20小時，此階段升溫時間為6 20小時。6、在高溫區(qū)保溫過程中，將藍(lán)寶石晶片旋轉(zhuǎn)180度，使整批晶片受熱均勻；7、高溫保溫結(jié)束后，以每小時10 C 50 C降溫至室溫出爐。本發(fā)明的有益效果是切割、研磨或拋光后的藍(lán)寶石晶片分階段升溫并且保溫一段時間至900 C 1600 C，對藍(lán)寶石晶片進(jìn)行退火處理，以消除切割、研磨或拋光的加工應(yīng)力，并在保溫階段旋轉(zhuǎn)晶片，使整個晶片退火均勻，消除退火爐溫度場不均的影響；采用該方法退火的晶片加工應(yīng)力基本消除，整個晶片退火均勻，退火后的晶片翹曲度小。
  具體實(shí)施例方式實(shí)施例I低溫區(qū)升溫(I):將切割后的4英寸藍(lán)寶石晶片裝入特殊工裝內(nèi)，放入退火爐爐膛，以:TC /分鐘的升溫速率從室溫升溫至200 C。低溫區(qū)保溫⑵溫度保持200 C 3個小時。低溫區(qū)旋轉(zhuǎn)(3):在溫度 升至200 C并且保溫I. 5小時后，旋轉(zhuǎn)退火工裝180度。中溫區(qū)升溫(4):低溫保溫結(jié)束后，以2 C/分鐘的升溫速率從200 C升溫至700 C。中溫區(qū)保溫(5):溫度保持700 C 8個小時。中溫區(qū)旋轉(zhuǎn)(6):在溫度升至700 C并且保溫4小時后，旋轉(zhuǎn)退火工裝180度。高溫區(qū)升溫(7):中溫保溫結(jié)束后，以0. 5 C /分鐘的升溫速率從700 C升溫至1000 C。高溫區(qū)保溫(8):溫度保持1000 C 16個小時。高溫區(qū)旋轉(zhuǎn)(9):在溫度升至1000 C并且保溫8小時后，旋轉(zhuǎn)退火工裝180度。降溫(10):高溫保溫結(jié)束后，以10 C /小時的降溫速率降溫至室溫，打開爐膛，取出晶片。退火后的4英寸晶片，經(jīng)測試，整個翹曲度小于5微米，加工應(yīng)力基本消除。實(shí)施例2:低溫區(qū)升溫(I):將雙面研磨后的4英寸藍(lán)寶石晶片裝入特殊工裝內(nèi)，放入退火爐爐膛，以:TC /分鐘的升溫速率從室溫升溫至300 C。低溫區(qū)保溫⑵溫度保持300 C 4個小時。低溫區(qū)旋轉(zhuǎn)(3):在溫度升至200 C并且保溫2小時后，旋轉(zhuǎn)退火工裝180度。中溫區(qū)升溫(4):低溫保溫結(jié)束后，以2 C/分鐘的升溫速率從200 C升溫至800 C。中溫區(qū)保溫(5):溫度保持800 C 6個小時。中溫區(qū)旋轉(zhuǎn)(6):在溫度升至800 C并且保溫3小時后，旋轉(zhuǎn)退火工裝180度。高溫區(qū)升溫(7):中溫保溫結(jié)束后，以0. 5 C /分鐘的升溫速率從800 C升溫至1100 C。高溫區(qū)保溫⑶溫度保持1100 C 12個小時。高溫區(qū)旋轉(zhuǎn)(9):在溫度升至1100 C并且保溫6小時后，旋轉(zhuǎn)退火工裝180度。降溫(10):高溫保溫結(jié)束后，以30 C/小時的降溫速率降溫至室溫，打開爐膛，取出晶片。退火后的4英寸藍(lán)寶石雙磨晶片，整個翹曲度小于5微米，加工應(yīng)力基本消除。實(shí)施例3 低溫區(qū)升溫(I):將單磨研磨后的4英寸藍(lán)寶石晶片裝入特殊工裝內(nèi)，放入退火爐爐膛，以:TC /分鐘的升溫速率從室溫升溫至200 C。低溫區(qū)保溫⑵溫度保持200 C 3個小時。低溫區(qū)旋轉(zhuǎn)(3):在溫度升至200 C并且保溫I. 5小時后，旋轉(zhuǎn)退火工裝180度。中溫區(qū)升溫(4):低溫保溫結(jié)束后，以2. 5 C /分鐘的升溫速率從200 C升溫至800 C。中溫區(qū)保溫(5):溫度保持800 C 10個小時。中溫區(qū)旋轉(zhuǎn)(6):在溫度升至800 C并且保溫5小時后，旋轉(zhuǎn)退火工裝180度。高溫區(qū)升溫(7):中溫保溫結(jié)束后，以1 C /分鐘的升溫速率從800 C升溫至1600 C。高溫區(qū)保溫⑶溫度保持1600 C 18個小時。高溫區(qū)旋轉(zhuǎn)(9):在溫度升至1600 C并且保溫9小時后，旋轉(zhuǎn)退火工裝180度。降溫(10):高溫保溫結(jié)束后，以500C /小時的降溫速率降溫至室溫，打開爐膛，取出晶片。退火后的4英寸藍(lán)寶石單磨晶片，整個翹曲度小于5微米，加工應(yīng)力基本消除。以上說明書中描述的只是本發(fā)明的具體實(shí)施方式，各種舉例說明不對本發(fā)明的實(shí)質(zhì)內(nèi)容構(gòu)成限制，所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在閱讀了說明書后可以對以前所述的具體實(shí)施方式
做修改或變形， 而不背離發(fā)明的實(shí)質(zhì)和范圍。
1.ー種藍(lán)寶石晶片的退火方法，其特征在于包括以下步驟 (1)將藍(lán)寶石晶片裝入退火爐中，快速直接升溫至低溫度區(qū)域150 C 300 C，保溫2 4小時，此階段升溫時間為I 2小時； (2)經(jīng)過低溫保溫一段時間后，升溫至中溫區(qū)域600 C 800 C，保溫5 10小時，此階段升溫時間為4 6小時； (3)經(jīng)過中溫保溫一段時間后，升溫至高溫區(qū)域900 C 1600 C，保溫10 20小時，此階段保溫時間為6 20小吋。
2.如權(quán)利要求I所述的ー種藍(lán)寶石晶片的退火方法，其特征在于在升溫保溫過程中，適時旋轉(zhuǎn)裝載藍(lán)寶石襯底的エ裝，使退火的晶片在退火爐中旋轉(zhuǎn)。
3.如權(quán)利要求I所述的ー種藍(lán)寶石晶片的退火方法，其特征在于高溫保溫結(jié)束后，以每小時10 C 50 C降溫至室溫出爐。