ICP光譜儀低溫干灰化法又稱氧等離子灰化法或低溫干灰化，是用電激發(fā)的氧分解生物試料的專用低溫灰化器，在相對溫度比較低的情況下灰化，其揮發(fā)速度和等離子的流速、時間、功率和試的體積有關，其裝置由消化室、供應系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和高頻電源組成。

其原理是：氧受高頻出頻電場激發(fā)產生的氧等離子體具有很強的氧化能力，使試料在(100~150)℃，有時市也在（60~70)℃下緩慢氧化，除去有機物，金屬元素留在灰分中。該方法解決了高溫干灰化頭公期說發(fā)、滯留和吸附而損失痕量元素等問題，但是用該法灰化銀、金、汞、鹵素等元素損失依然嚴重，消化時間因試料而定，一般需要(4~8)h。

該技術主要優(yōu)點是：有些元素Se As sb,pb、cd等較易揮發(fā)元素在低溫灰化期間依然留在殘渣里，解決了因污染和揮發(fā)損失以及濕法灰化中的某些不安全性；試料被金屬污染的概率很小，回收率高。比如測定動物組織中的鈹、鎘和碲等易揮發(fā)元素及糖和面粉等試料的前處理就是采用這種低溫干灰化法。