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激光誘導(dǎo)擊穿光譜技術(shù)通過(guò)超短脈沖激光聚焦樣品表面形成等離子體，進(jìn)而對(duì)等離子體發(fā)射光譜進(jìn)行分析以確定樣品的物質(zhì)成分及含量。超短脈沖激光聚焦后能量密度較高，可以將任何物態(tài)（固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)）的樣品激發(fā)形成等離子體，LIBS技術(shù)（原則上）可以分析任何物態(tài)的樣品，僅受到激光的功率以及攝譜儀 檢測(cè)器的靈敏度和波長(zhǎng)范圍的限制。再者，幾乎所有的元素被激發(fā)形成等離子體后都會(huì)發(fā)出特征譜線，因此，LIBS可以分析大多數(shù)的元素。如果要分析的材料的成分是已知的，LIBS可用于評(píng)估每個(gè)構(gòu)成元素的相對(duì)豐度，或監(jiān)測(cè)雜質(zhì)的存在。 在實(shí)踐中，檢測(cè)極限是： a）等離子體激發(fā)溫度的函數(shù)， b）光收集窗口，以及 c）所觀查的過(guò)渡譜線的強(qiáng)度。 LIBS利用光學(xué)發(fā)射光譜，并且是該程度非常類(lèi)似于電弧/火花發(fā)射光譜。 激光誘導(dǎo)擊穿光譜儀是光譜分析領(lǐng)域一種嶄新的分析手段，其基本原理是使用高能量激光光源，在分析材料表面形成高強(qiáng)度激光光斑(等離子體)，使樣品激發(fā)發(fā)光,這些光隨后通過(guò)光譜系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行分析。這種技術(shù)對(duì)材料中的絕大部分無(wú)機(jī)元素非常敏感.。同時(shí)能分析低原子數(shù)元素例如：氫-鈉的元素，這些元素用其他技術(shù)很難分析。
LIBS的原理 LIBS使用高峰值功率的脈沖激光照射樣品，光束聚焦到一個(gè)很小的分析點(diǎn)（通常10-400微米直徑）。在激光照射的光斑區(qū)域，樣品中的材料被燒蝕剝離，并在樣品上方形成納米粒子云團(tuán)。由于激光光束的峰值能量是相當(dāng)高的，其吸收及多光子電離效應(yīng)增加了樣品上方生成的氣體和氣溶膠云團(tuán)的不透明性，即便只是很短暫的激光脈沖激發(fā)。由于激光的能量顯著地被該云團(tuán)吸收，等離子體逐漸形成。高能量的等離子體使納米粒子熔化，將其中的原子激發(fā)并且發(fā)出光。原子發(fā)出的光可以被檢測(cè)器捕獲并記錄為光譜，通過(guò)對(duì)光譜進(jìn)行分析，即可獲得樣品中存在何種元素的信息，通過(guò)軟件算法可以對(duì)光譜進(jìn)行進(jìn)一步的定性分析（例如材料鑒別，PMI）和定量分析（例如，樣品中某一元素的含量）。 LIBS的檢出限 基于以上原因，LIBS的檢出限可以從幾ppm一直到%級(jí)的范圍。在大多數(shù)常規(guī)應(yīng)用中，對(duì)于絕大多數(shù)元素，LIBS檢出限可以做到10 ppm到100 ppm。在定量分析中，通過(guò)LIBS獲得的測(cè)量結(jié)果的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差可以達(dá)到3-5%以內(nèi)，而對(duì)于均質(zhì)材料通?？梢缘?%以內(nèi)甚至 1%。 LIBS是對(duì)手持光譜儀的補(bǔ)充 X射線熒光分析儀不能識(shí)別的輕元素，包括鎂（Mg）、硅（Si）、鋰（Li）、鈹（Be）和硼（B），LIBS彌補(bǔ)了傳統(tǒng)元素分析方法的不足，尤其在微小區(qū)域材料分析、鍍層/薄膜分析、缺陷檢測(cè)、珠寶鑒定、法醫(yī)證據(jù)鑒定、粉末材料分析、合金分析等應(yīng)用領(lǐng)域優(yōu)勢(shì)明顯，同時(shí)，LIBS還可以廣泛適用于地質(zhì)、煤炭、冶金、制藥、環(huán)境、科研等不同領(lǐng)域的應(yīng)用。 除了傳統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)室的應(yīng)用，LIBS還是為數(shù)不多的可以做成手持便攜裝置的元素分析技術(shù)，更是目前為止被認(rèn)為唯一可以做在線分析的元素分析技術(shù)。這將使分析技術(shù)從實(shí)驗(yàn)室領(lǐng)域極大地拓展到戶外、現(xiàn)場(chǎng)、甚至生產(chǎn)工藝過(guò)程中。