Electro-Damp 是一款專門用于提高半導(dǎo)體制造應(yīng)用中的吞吐量、分辨率和產(chǎn)量的商用主動隔振系統(tǒng)。Electro-Damp II是對原始系統(tǒng)的完全重新設(shè)計(jì)，增加了模塊化、數(shù)字控制、前饋、高力/高間隙執(zhí)行器以及多個專門設(shè)計(jì)用于OEM應(yīng)用（如顯微光刻、檢測和計(jì)量工具）的數(shù)字用戶界面。

    半導(dǎo)體制造工具對其隔振系統(tǒng)提出了相互矛盾的要求。為了應(yīng)對地面噪音，系統(tǒng)必須足夠柔軟，以有效地過濾地面振動，阻止其到達(dá)隔振表面。同時，系統(tǒng)必須足夠堅(jiān)硬，以應(yīng)對工作臺的力，以便工作臺運(yùn)動使隔振表面產(chǎn)生最小位移并能快速穩(wěn)定。

    除了采用慣性、主動反饋?zhàn)枘嶂猓珽lectro-Damp II還使用信息前饋來進(jìn)一步改善系統(tǒng)響應(yīng)。前饋從工作臺控制器獲取關(guān)于工作臺位置和加速度的信息，然后處理這些數(shù)據(jù)，以向有效載荷提供力驅(qū)動，從而大大減少了由工作臺引起的有效載荷運(yùn)動。系統(tǒng)可以以數(shù)字方式讀取前饋信息，作為雙極性模擬信號，或通過讀取正交編碼器的輸出。DC-2000數(shù)字控制器還可以使用工作臺測試模式自動調(diào)整前饋所需的參數(shù)。這使得在初始安裝時或在更改有效載荷之后能夠快速簡便地進(jìn)行設(shè)置。

    Electro-Damp II的模塊化設(shè)計(jì)允許系統(tǒng)單獨(dú)與電子伺服閥一起使用（適用于重型、低加速度應(yīng)用，如CMM）、只與電磁驅(qū)動一起使用（適用于使用高加速度的較輕工作臺）或與兩者結(jié)合使用（適用于*苛刻的應(yīng)用）。