主動(dòng)隔振平臺(tái)可分為兩類：主動(dòng)隔振和被動(dòng)隔振。其中主動(dòng)隔振是通過(guò)傳感器和執(zhí)行器，提供大小相等，方向相反的力，抵消振動(dòng)對(duì)目標(biāo)的影響。主動(dòng)隔振克服了被動(dòng)各種平臺(tái)的共振頻率附近頻率無(wú)法消除的問(wèn)題，拓展了隔振的頻率范圍（尤其是低頻范圍），降低了振動(dòng)傳遞率。 隔振平臺(tái)由減振平臺(tái)和控制器兩部分組成。減振平臺(tái)采用精密金屬?gòu)椈蓪?shí)現(xiàn)被動(dòng)隔振，由精密直線電機(jī)實(shí)現(xiàn)主動(dòng)減振，用于反饋控制檢測(cè)的速度傳感器采用超精密震動(dòng)探頭，所有零部件封閉在機(jī)體內(nèi)，系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)不需提供額外壓縮空氣，能自適應(yīng)調(diào)節(jié)地基前饋，實(shí)現(xiàn)自由度減振。 低頻振動(dòng)能量大，波長(zhǎng)長(zhǎng)，距離大，電鏡對(duì)低頻振動(dòng)敏感，電鏡內(nèi)部有氣缸（被動(dòng)），自行可以消除中高頻振動(dòng)。高頻振動(dòng)可以換位置解決，低頻振動(dòng)難以通過(guò)被動(dòng)去解決，用于將超精密儀器與低頻振動(dòng)隔離，人體工程學(xué)設(shè)計(jì)使用戶可以舒適地執(zhí)行要求應(yīng)用。另外，桌子支架底部安裝腳輪和調(diào)平腳，使用戶可以將桌子放在所需的位置。 主動(dòng)隔振平臺(tái)不需要?dú)庠磥?lái)操作系統(tǒng)，隔離器單元中的強(qiáng)力金屬?gòu)椈刹粌H支撐重型有效載荷，還為高頻振動(dòng)提供出色的被動(dòng)隔振，單個(gè)作動(dòng)器為系統(tǒng)單個(gè)作動(dòng)器對(duì)平臺(tái)振動(dòng)所能施加反作用力的值。音圈電機(jī)其結(jié)構(gòu)類似于喇叭的音圈而得名，具有高頻響、高精度的特點(diǎn)。加速度傳感器是感知外界振動(dòng)信號(hào)加速度大小的器件，控制器主要負(fù)責(zé)信號(hào)放大、濾波、變換、采集數(shù)據(jù)，計(jì)算，功率放大的模塊。