產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

鋨等離子鍍膜機(jī) (OPC) 是一種基于直流輝光放電的等離子鍍膜設(shè)備。OPC 采用了全新的四氧化鋨氣體 PCVD方式獲得鋨膜。不同于傳統(tǒng)的濺射和蒸鍍，OPC 很好地解決了薄膜的顆粒及熱損傷問題。

OPC 可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作，用于給 SEM、FE-SEM 樣品鍍導(dǎo)電薄膜或是給 TEM 樣品鍍支持膜。鍍膜厚度從幾納米到幾百納米，甚至是 1 納米以下的超薄膜。

OPC60A 標(biāo)準(zhǔn)型

可自動(dòng)生長(zhǎng)鋨膜

陰極樣品臺(tái)尺寸：直徑 60mm，以下任選其一：
兼容直徑 10mmSEM 樣品托，7 孔位
兼容直徑 15mmSEM 樣品托，4 孔位
兼容直徑 36mmSEM 樣品托，1 孔位

OPC80T 高配型

可自動(dòng)生長(zhǎng)鋨膜和萘膜

可自動(dòng)生長(zhǎng)鋨膜和萘膜

可同時(shí)容納 2 個(gè)直徑 10mm 的 SEM 樣品托，2 個(gè)直徑 15mm 的 樣品托，以及 1 個(gè)直徑 32mm 的樣品托

鋨存儲(chǔ)器

鋨存儲(chǔ)器帶觀察窗，可確定鋨的剩余量。

存儲(chǔ)器可單獨(dú)取下并密封（冷凍保存），可保存較長(zhǎng)時(shí)間，安全性很高。

應(yīng)用：

SEM、FE-SEM 樣品鍍導(dǎo)電膜

TEM（FIB）樣品鍍保護(hù)膜

AFM 樣品鍍保護(hù)膜

STM 樣品鍍保護(hù)膜以及導(dǎo)電膜

TEM 樣品鍍支持膜

產(chǎn)品特點(diǎn)：

設(shè)備性能

自動(dòng)化控制，鍍膜時(shí)只需設(shè)定薄膜厚度，鍍膜過程自動(dòng)完成

鋨存儲(chǔ)器可拆卸：具有密封式結(jié)構(gòu)，可冷凍保存

鍍膜時(shí)間短：只需幾秒鐘膜厚就可以達(dá)到納米級(jí)

裝有互鎖回路：一但 OsO4 氣體進(jìn)入腔體，真空不達(dá)標(biāo)，腔體就無法打開

鋨導(dǎo)電薄膜性能

無顆粒：用 OPC 鍍的鋨導(dǎo)電金屬膜是完全無定形的

鋨膜均勻性極高

無熱損傷：相比于熱蒸鍍和離子濺射，OPC 對(duì)樣品沒有熱損傷

無電子損傷：鋨膜硬度高、熔點(diǎn)高，不會(huì)因強(qiáng)電子束流受損傷

無污染：樣品在陰極，表面只有鋨陽離子，可以保證無污染

等離子體聚合萘膜性能

堅(jiān)韌性：薄膜具有堅(jiān)韌性，可承受 FIB 中的鎵離子

抗熱性

絕緣性

無顆粒

高均勻性

無熱損傷

無電子損傷

產(chǎn)品參數(shù)：

型號(hào)

OPC80T

OPC60A

反應(yīng)腔

鋼化玻璃腔體: 160mm(OD)x105mm(H)

鋼化玻璃腔體: 120mm(OD)x73mm(H)

鍍膜厚度

幾納米到幾十納米

兼容SEM樣品托

可同時(shí)容納2個(gè)直徑10mm，2個(gè)直徑15mm，以及1個(gè)直徑32mm的SEM樣品托

可容納7個(gè)直徑10mm，或4個(gè)直徑15mm，或1個(gè)直徑32mm的SEM樣品托

鍍膜種類

鋨(OsO4)

萘(C10H8)

鋨(OsO4)

鋨存儲(chǔ)器

帶觀察窗，可拆卸，可密封、冷凍保存

萘存儲(chǔ)器

可拆卸, 帶觀察窗

—

氣體導(dǎo)入

OsO4安瓿瓶在OsO4存儲(chǔ)器中被打開，OsO4升華之后進(jìn)入反應(yīng)腔體。

C10H8保存在C10H8存儲(chǔ)器中，升華之后進(jìn)入反應(yīng)腔體.

OsO4安瓿瓶在OsO4存儲(chǔ)器中被打開，OsO4升華之后進(jìn)入反應(yīng)腔體。

電源

AC100V 2A 200W(50/60Hz)

AC100V 2A 200W(50/60Hz)

外部尺寸

450(w)x410(D)x390(H)mm

450(w)x350(D)x330(H)mm

重量

約30kg

約20kg

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注：對(duì)于醫(yī)療器械類產(chǎn)品，請(qǐng)先查證核實(shí)企業(yè)經(jīng)營(yíng)資質(zhì)和醫(yī)療器械產(chǎn)品注冊(cè)證情況