超聲波掃描顯微鏡被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體以及集成電路的制造和封裝測試行業(yè),是一種理想的無損檢測儀器,能夠有效地檢測器件或材料內(nèi)部的開裂、氣泡、雜質(zhì)、斷層等缺陷。
其主要工作原理是,通過壓電陶瓷將電信號轉(zhuǎn)換成超聲波( 20KHz),用超聲波對樣品內(nèi)部進(jìn)行高精度地掃描,根據(jù)超聲波在不同密度材料中的傳播速度和反射系數(shù)的差異,獲得樣品內(nèi)部不同區(qū)域的超聲波透射或反射,再經(jīng)由軟件算法處理和成像。SAM的核心構(gòu)成為,電氣部件、機(jī)械裝置、聲學(xué)部件、軟件系統(tǒng)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
SONIX Echo-LS 能檢測到小至 0.05um 的缺陷,而且對于 bump、疊 die(3D 封裝)、倒裝芯片及各種傳統(tǒng)的塑料封裝等具有卓越的檢測性能。提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)量,使用 ECHO 的設(shè)備和軟件容易的設(shè)置和使用工藝過程監(jiān)測合格/失效分選專業(yè)認(rèn)證
SONIX 掃描探頭頻率范圍從 10MHz 到 300MHz,適合各種類型的應(yīng)用和材料。
其它關(guān)鍵特點(diǎn):減少實(shí)驗(yàn)室空間(占地面積?。╂I盤快捷鍵(方便移動(dòng)操作)全焊接機(jī)身框架(促進(jìn)平臺(tái)穩(wěn)定性)降低水槽高度(人體工程學(xué)設(shè)計(jì))可同時(shí)進(jìn)行反射掃描和透射掃描最大 360 度可視超大掃描面積水槽底部傾斜(易于排干水)探頭隨 Z 軸移動(dòng)(取代托盤上下移動(dòng))可滑動(dòng)支架符合歐洲機(jī)械指令緊湊、穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)(低維護(hù))符合 CE,SEMI S2,NRTL可滑動(dòng)的電氣面板(方便維護(hù))防靜電涂層(安全罩、水槽、門等)
技術(shù)參數(shù):機(jī)臺(tái)尺寸79cm*9cm*22cm步進(jìn)軸(Y)定位裝置:低電磁干擾導(dǎo)軌式步進(jìn)馬達(dá)掃描軸(X)定位裝置: 線性伺服馬達(dá)分辨率:0.25um最大速度:1000mm/sec最大掃描區(qū)域:350mm重復(fù)精度:+/-0.5um聚焦軸(Z)定位裝置:低電磁干擾導(dǎo)軌式步進(jìn)馬達(dá)編碼器分辨率:0.5um分辨率:0.25um最大掃描區(qū)域:350mm最大行程:50mm夾具JEDEC標(biāo)準(zhǔn)尺寸托盤夾具脈沖發(fā)生器DPR500 接收器配置L2/H4脈沖發(fā)生器掃描平臺(tái)可固定特有的托盤夾具可選U4超高頻脈沖發(fā)生器透射桿探頭固定流體系統(tǒng)循環(huán)泵和5um過濾器注:ECHO LS是目前國內(nèi)使用最廣泛的一款型號
其它特色軟件功能選項(xiàng)TAMI SCAN: 一次掃描得到最多 200 張斷層圖像ICEBERG: 強(qiáng)大的離線分析技術(shù)WinIC Pro: 增加功能和分析WinIC Offiline:遠(yuǎn)程分析Waveform Simulator/Beam Emulator :波形仿真器
ECHO 機(jī)臺(tái)面板與 WinIC 軟件的組合,給用戶提供一個(gè)強(qiáng)大、簡易使用的分析工具。WinIC 軟件是 Sonix 公司獨(dú)Jia研發(fā)的超聲波掃描顯示鏡成像軟件,提供先進(jìn)的圖像分析功能以幫助定量和定性分析圖像數(shù)據(jù)。WinIC 使用大量的圖形和屏幕指導(dǎo)幫助所有用戶,從入門到精通。
SONIX 軟件優(yōu)勢
● 可編程掃描,自動(dòng)分析
定制掃描程序,一鍵開始掃描,自動(dòng)完成分析,生成數(shù)據(jù)
● FSF表面跟蹤線
樣品置于不平的情況下,自動(dòng)跟蹤平面,獲取同一層面圖片
● ICEBERG離線分析
存儲(chǔ)數(shù)據(jù)后,可在個(gè)人電腦上進(jìn)行再次分析
● TAMI斷層顯微成象掃描
無需精確選擇波形,可任意設(shè)定掃描深度及等分厚度,一次掃描可獲得200張圖片,最快速完成分析。
SONIX 軟件 - 應(yīng)用于塑封FlipChip和Stacked Die產(chǎn)品的成像功能
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