故障二：P、S穩(wěn)定性不好，檢查真空泵是否被誤關(guān)掉，真空光路鏡片是否需要清洗，一個(gè)維護(hù)不好的光路會(huì)導(dǎo)致錯(cuò)誤的重現(xiàn)性和分析結(jié)果。
故障三：排氣不暢故障，氬氣排氣管路堵塞，火花室下部的彎頭內(nèi)有異物，氬氣過(guò)濾器入口端有異物。
故障四：新儀器電腦出現(xiàn)死機(jī)，程序錯(cuò)誤、黑屏、分析軟件的START狀態(tài)不對(duì)有時(shí)變?yōu)辄S色不動(dòng)，有時(shí)雖然動(dòng)但是變?yōu)榧t色，
處理辦法：看真空值曲線(xiàn)是否平緩，否則，有漏氣的地方，檢查真空室真空蓋密封性，更換密封圈或?qū)蔷o固螺絲，
經(jīng)驗(yàn)總結(jié)：光譜儀用久了，激發(fā)臺(tái)會(huì)因點(diǎn)打的太多了，出現(xiàn)放電漏氣現(xiàn)象，導(dǎo)致光強(qiáng)上不去，需要經(jīng)常清理激發(fā)臺(tái)板及火花室。