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EVG510-晶圓鍵合系統(tǒng) EVG鍵合機 晶圓鍵合機
EVG鍵合機EVG510(晶圓鍵合機)是用于研發(fā)或小批量生產的晶圓鍵合系統(tǒng)-與大批量生產設備完全兼容。一、簡介 EVG鍵合機EVG510(晶圓鍵合機)是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng),可以處理從碎片到200 mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝,例如陽極,玻璃粉,焊料,共晶,瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工
2020-12-10
EVG520 IS-晶圓鍵合系統(tǒng) 晶圓鍵合機
EVG520 IS-晶圓鍵合系統(tǒng)是單腔或雙腔晶圓鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機),用于小批量生產。一、簡介 EVG520 IS(晶圓鍵合機)單腔單元可半自動操作最大200 mm的晶圓,適用于小批量生產應用。EVG520 IS(晶圓鍵合機)根據(jù)客戶反饋和EV Group的持續(xù)技術創(chuàng)新進行了重新設計,具有EV Group專有的對稱快速加熱和冷卻卡盤設計。諸如獨立
2020-12-10
EVG620 NT-掩模對準光刻機系統(tǒng) 納米壓印機
一、產品特色EVG ? 620 NT提供國家的本領域掩模對準技術在蕞小化的占位面積,支持高達150毫米晶圓尺寸。二、技術數(shù)據(jù)EVG620 NT以其多功能性和可靠性而著稱,在蕞小的占位面積上結合了先進的對準功能和蕞優(yōu)化的總體擁有成本,提供了蕞先進的掩模對準技術。它是光學雙面光刻的理想工具,可提供半自動或自動配置以及可選的全
2020-12-10
Thetametrisis FR-pRo膜厚儀 膜厚測量儀
1. 產品概述FR-pRo膜厚儀:按需搭建的薄膜特性表征工具。FR-pRo膜厚儀 是一個模塊化和可擴展平臺的光學測量設備,用于表征厚度范圍為1nm-1mm的涂層。FR-pRo膜厚儀 是為客戶量身定制的,并廣泛應用于各種不同的應用。比如:吸收率/透射率/反射率測量,薄膜特性在溫度和環(huán)境控制下甚至在液體環(huán)境下的表征等等…2. 膜厚儀應用大
2020-12-10
晶圓鍵合機_掩模對準光刻機_納米壓印設備
EV Group(EVG)是制造半導體,微機電系統(tǒng)(MEMS),化合物半導體,功率器件和納米技術器件的設備和工藝解決方案的領 先供應商。主要產品包括晶圓鍵合機,薄晶圓加工,光刻/納米壓印光刻(NIL)和計量設備,以及光刻膠涂布機,清潔劑和檢查系統(tǒng)。成立于1980年的EV Group服務于復雜的全球客戶和合作伙伴網絡,并為其提供支
2020-12-02
EVG501 晶圓鍵合機
EVG501 晶圓鍵合機 先進封裝 TSV 微流控加工??EVG鍵合機(晶圓鍵合機)基本功能:用于學術和工業(yè)研究的多功能手動晶圓鍵合系統(tǒng)。??EVG鍵合機(晶圓鍵合機)適用于:微流體芯片,半導體器件處理,MEMS制造,TSV制作,晶圓先進封裝等。一、簡介??EVG鍵合機EVG501是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng)(晶圓鍵合機),可處理從
2020-12-02
EVG610 單面、雙面光刻機 納米壓印 微流控加工
EVG光刻機EVG?610是一款緊湊型多功能研發(fā)系統(tǒng),可處理零碎片和最大200 mm的晶圓。一、簡介 EVG光刻機EVG610支持各種標準光刻工藝,如真空,硬,軟接觸和接近式曝光模式,可選擇背部對準方式。此外,該系統(tǒng)還提供其他功能,包括鍵合對準和納米壓印光刻(NIL)。EVG610提供快速處理和重新加工,以滿足不斷變化的用戶需求,轉
2020-12-02
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