EV Group（EVG）是制造半導體，微機電系統(tǒng)（MEMS），化合物半導體，功率器件和納米技術器件的設備和工藝解決方案的領 先供應商。主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合機，薄晶圓加工，光刻/納米壓印光刻（NIL）和計量設備，以及光刻膠涂布機，清潔劑和檢查系統(tǒng)。成立于1980年的EV Group服務于復雜的全球客戶和合作伙伴網(wǎng)絡，并為其提供支持。岱美儀器是EVG在大中華和東南亞地區(qū)的總代理商。

       EVG510（晶圓鍵合機）是一種高度靈活的晶圓鍵合系統(tǒng)，可以處理從碎片到200 mm的基板尺寸。該工具支持所有常見的晶圓鍵合工藝，例如陽極，玻璃粉，焊料，共晶，瞬態(tài)液相和直接法。易于使用的鍵合腔室和工具設計允許對不同的晶圓尺寸和工藝進行快速便捷的重新工具化，轉換時間不到5分鐘。（晶圓鍵合機）這種多功能性非常適合大學，研發(fā)機構或小批量生產(chǎn)應用。EVG大批量制造工具（例如EVG GEMINI）上的鍵合室設計相同，鍵合程序易于轉移，可輕松擴大生產(chǎn)規(guī)模。同系列還有EVG501，EVG520，EVG540，EVG560等晶圓鍵合機。

       EVG610 掩模對準光刻機支持多種標準光刻工藝，例如真空，軟，硬和接近曝光模式，并可選擇背面對準。此外，該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能，包括鍵對準和納米壓印光刻（NIL）。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具，以改變用戶需求，光刻和NIL之間的轉換時間僅為幾分鐘。其先進的多用戶概念可以適應從初學者到專家級別的所有需求，因此使其成為大學和研發(fā)應用程序的理想選擇。同系列有EVG620，EVG6200，EVG620 NT，EVG6200 NT等設備。（W：134-2410-9986）