91儀器信息網(wǎng) 政策標(biāo)準(zhǔn)微納米幾何量計(jì)量器具是指能直接或間接測(cè)出微米、納米尺度幾何量的裝置、儀器儀表、量具，包括計(jì)量基準(zhǔn)，計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)和工作計(jì)量器具。隨著科技水平的不斷發(fā)展和產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)升級(jí)，微納米幾何結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)確計(jì)量已經(jīng)成為制約國(guó)家重大領(lǐng)域關(guān)鍵部件研發(fā)、微納米產(chǎn)業(yè)貿(mào)易交接的重要前提。
  當(dāng)前，由于測(cè)量原理不同，各類(lèi)微納米幾何結(jié)構(gòu)測(cè)量?jī)x器測(cè)量結(jié)果的一致性難以保障，而產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展和大量計(jì)量檢測(cè)需求表明，目前迫切需要建立一套具有完整溯源鏈條、覆蓋多種測(cè)量原理的微納米幾何量計(jì)量器具作為基準(zhǔn)，以滿(mǎn)足全國(guó)范圍內(nèi)的微納米幾何量值溯源和傳遞需求。
  經(jīng)過(guò)多年積累和努力，中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院在基于各種原理的微納米幾何量計(jì)量溯源方法、裝置、量值傳遞路線(xiàn)與知識(shí)技術(shù)等方面的積累日趨完善，其中多項(xiàng)計(jì)量能力通過(guò)了CMC的國(guó)際同行評(píng)審以及CNAS認(rèn)證，在國(guó)際比對(duì)中也取得了較為滿(mǎn)意的比對(duì)結(jié)果，完全具備制定技術(shù)規(guī)范的能力，建立一套完整的微納米幾何量計(jì)量鏈條的時(shí)機(jī)已經(jīng)逐漸成熟。
  近日，全國(guó)幾何量長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)委員會(huì)將完成的初稿 《微納米幾何量計(jì)量器具》溯源系統(tǒng)面向社會(huì)進(jìn)行公示。有意見(jiàn)的專(zhuān)家學(xué)者可將意見(jiàn)反饋至秘書(shū)處。
  《微納米幾何量計(jì)量器具》溯源系統(tǒng)規(guī)定了微納米幾何量計(jì)量基準(zhǔn)器具、計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具和工作計(jì)量器具的用途、組成和技術(shù)指標(biāo)。同時(shí)規(guī)定了從計(jì)量基準(zhǔn)器具到計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具再向工作計(jì)量器具進(jìn)行量值傳遞的程序。該項(xiàng)溯源系統(tǒng)適用于微納米幾何量計(jì)量器具的溯源, 另外，在開(kāi)展校準(zhǔn)時(shí)也可作為量值溯源的依據(jù)。
  該項(xiàng)計(jì)量法規(guī)主要從三個(gè)層級(jí)規(guī)定了微納米幾何量計(jì)量器具的溯源及量值傳遞體系：1.描述微納米幾何量計(jì)量基準(zhǔn)及相關(guān)內(nèi)容；2.描述微納米幾何量計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具及相關(guān)內(nèi)容；3.描述微納米幾何量工作計(jì)量器具及其相關(guān)內(nèi)容。
  值得注意的是，在計(jì)量基準(zhǔn)組成方面，規(guī)范指出，考慮到不同測(cè)量原理導(dǎo)致現(xiàn)有各類(lèi)微納米測(cè)量?jī)x器的測(cè)量不確定度、范圍不同，且不存在某一個(gè)基準(zhǔn)裝置可以提供跨尺度、跨維度的綜合計(jì)量溯源能力，因此為了確保溯源體系能覆蓋納米和微米全范圍，全面地提供計(jì)量校準(zhǔn)能力，該溯源體系的計(jì)量基準(zhǔn)將主要包括以下五個(gè)標(biāo)準(zhǔn)裝置：納米幾何結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)裝置；毫米級(jí)納米幾何結(jié)構(gòu)樣板校準(zhǔn)裝置；微納米樣板校準(zhǔn)裝置；紫外光學(xué)二維微納幾何結(jié)構(gòu)標(biāo)準(zhǔn)裝置；雙探針微納線(xiàn)寬校準(zhǔn)裝置。
  而根據(jù)測(cè)量原理，實(shí)現(xiàn)微納米幾何量測(cè)量的工作計(jì)量器具主要包括掃描探針顯微鏡、電子顯微鏡、光學(xué)顯微鏡、粒徑粒形測(cè)量?jī)x與膜厚測(cè)量?jī)x等，這些微納米幾何量測(cè)量?jī)x器的技術(shù)指標(biāo)主要由測(cè)量范圍及允許誤差上限組成。
  微納米幾何量計(jì)量器具溯源系統(tǒng)框圖如下所示：
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