利用光學(xué)自準(zhǔn)直原理測量微小角度變化的儀器。也可以對平面度和直線度進(jìn)行間接測量。常用于測量導(dǎo)軌的直線度、平板的平面度(這時(shí)稱為平面度測量儀)等，也可借助于轉(zhuǎn)向棱鏡附件測量垂直度等。光電自準(zhǔn)直儀多應(yīng)用于航空航天、船舶、軍工等要求精密度極高的行業(yè)，例如機(jī)械加工工業(yè)的質(zhì)量保證（平直度、平面度、垂直度、平行度等）、計(jì)量檢定行業(yè)中角度測試標(biāo)準(zhǔn) 、棱鏡角度定位及監(jiān)控、光學(xué)元件的測試及安裝精度控制等等 。