二次電子探測器能很好地反映試樣的表面形貌。圖像中,試樣朝向探測器的區(qū)域比背對探測器區(qū)域或者被遮擋的區(qū)域更亮,從而形成 SE 圖像中的襯度。試樣邊緣或尖銳區(qū)域產(chǎn)生的二次電子更多,圖像也會更亮。二次電子探測器即閃爍體-光電倍增管探測器,具有收集的二次電子信號效率高、噪聲低的優(yōu)點。探測器的接收網(wǎng)上施加幾百伏的正電偏置電壓,實現(xiàn)對帶負電的二次電子的吸引。該探測器位于顯微鏡樣品室的一側(cè)。
鏡筒內(nèi)二次電子探測器
另一種二次電子探測器是置于物鏡內(nèi)的二次電子探測器。該探測器的優(yōu)勢在于能在很短的工作距離成像,因此具有更好的分辨率,呈現(xiàn)異常豐富的的表面細節(jié)和形貌特征。
TESCAN 的所有產(chǎn)品都標配高效的 Everhart-Thornley(E-T)探測器。鏡筒內(nèi)二次電子探測器在 MIRA3、TIMA X、LYRA3 和 FERA3 機型中為選配,可以提高成像質(zhì)量;在 MAIA3、GAIA3 和 XEIA3 機型中則為標配。