核心提示：二次電子探測器能很好地反映試樣的表面形貌。圖像中，試樣朝向探測器的區(qū)域比背對探測器區(qū)域或者被遮擋的區(qū)域更亮，從而形成 SE 圖像中的襯度。試樣邊緣或尖銳區(qū)域產(chǎn)生的二次電子更多，圖像也會更亮。二次電子探測器即閃爍體-光電倍增管探測器，具有收集的二次電子信號效率高、噪聲低的優(yōu)點。探測器的接收網(wǎng)上施加幾百伏的正電偏置電壓，實現(xiàn)對帶負電的二次電子的吸引。該探測器位于顯微鏡樣品室的一側(cè)。鏡筒內(nèi)二次電子探測器另一種二次電子探測器是置于物鏡內(nèi)的二次電子探測器。該探測器的優(yōu)勢在于能在很短的工作距離成像，因此具有更好的分辨