MKSinst Instruments-等離子體電源

等離子體電源用于晶圓工藝

ASTeX 等離子體電源 廣泛應用于 CVD ， ETCH ，去膠等晶圓工藝。

R*evolution - AX7690 集成遠程等離子體源用于晶圓工藝 AX2600 集成等離子體系統(tǒng) SmartPower - AX2500 系列微波電源 ASTeX AX7610 下游等離子體源

 

臭氧發(fā)生器

SEMOZON 臭氧發(fā)生器及集成系統(tǒng)， LIQUOZON 臭氧水循環(huán)系統(tǒng)廣泛應用于 CVD ，去膠和濕法清洗等工藝。

O3MEGA AX8561 臭氧發(fā)生器集成系統(tǒng) SEMOZON AX8500 系列臭氧發(fā)生器集成系統(tǒng) SEMOZON AX8400 系列臭氧發(fā)生器
LIQUOZON Smart 臭氧水遞送系統(tǒng)。提供高濃度、大流量臭氧水 LIQUOZON Single 臭氧水遞送系統(tǒng)。緊湊型設計，適合于單片硅片清洗系統(tǒng) LIQUOZON LoopO3 臭氧水循環(huán)遞送系統(tǒng)。緊湊型設計，帶循環(huán)水泵，主要用于硅片清洗工藝 LIQUOZON 100 和 XF 臭氧水遞送系統(tǒng)

 

射頻功率電源

ENI 提供高可靠的固態(tài)電源，其頻率從 1MHz 到 60MHz， 功率從 3 百瓦至 13千瓦，還可選自動頻率調諧，廣泛地應用于 Etch， CVD 和 PVD等工藝。

中頻射頻功率電源 （1-4MHz） NOVA 系列，功率為 2.5 千瓦和 5千瓦，自動頻率調諧可選。 Spectrum 系列，功率從 5千瓦至 11千瓦，自動頻率調諧可選。 高頻射頻功率電源 （13.56MHz） GHW 系列電源，功率從 1.5 千瓦至 5 千瓦，自動頻率調諧可選。
Spectrum 系列電源，功率從 1.5 千瓦至 10.5 千瓦，自動頻率調諧可選。 SurePower 系列電源，功率從 1.5 千瓦至 13 千瓦，自動頻率調諧可選。 超高頻射頻功率電源 （27.12-60MHz）： GEW 系列電源，功率從 1.5 千瓦至 3千瓦，自動頻率調諧可選。

 

直流/脈沖功率電源

ENI 直流/脈沖電源主要應用于半導體，光電器件，磁盤，平板顯示器等工業(yè)中的鍍膜工藝。