XITON Impress系列深紫外激光器是高重頻二管泵浦調(diào)Q固體激光器。其優(yōu)異的TEM00光束模式非常適合用于計量學(xué)和微細(xì)加工(如半導(dǎo)體或顯示器修復(fù)等),其短的波長適合于直接刻寫應(yīng)用。系統(tǒng)通過RS-232接口完全由電腦控制運(yùn)行,可接受不同的觸發(fā)控制模式。
XITON Impress系列深紫外激光器典型參數(shù)
型 號
IMPRESS 213
IMPRESS 224
波 長
213 nm
224 nm
平均功率
150 mW
300 mW
脈 寬
7 ns
9 ns
脈沖能量
15 J
30 J
重復(fù)頻率
0.1-30 kHz
0.1-30 kHz
M2 因子
1.6
1.6
特點
短紫外波長
插槽安裝激光二管泵浦
優(yōu)異的光束形貌
超低運(yùn)行與維護(hù)成本
綠色光電
24/7連續(xù)工業(yè)使用
應(yīng)用
光纖布拉格光柵刻寫
波長敏感加工
立體光刻
顯示器修復(fù)
微細(xì)加工
半導(dǎo)體檢測
倍頻氬離子激光器替換
光致發(fā)光測量
優(yōu)異的FBG刻寫性能
超快刻寫速度,僅需數(shù)分鐘
光纖無需預(yù)載氫
高重頻刻寫光纖光柵質(zhì)量更高
超低運(yùn)行與維護(hù)成本,體積小
參考文獻(xiàn)