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【中國91化工儀器網(wǎng) 本網(wǎng)視點】近日，一篇名為《我國研制世界首臺分辨力高紫外超分辨光刻裝備》的新聞報道在各大媒體瞬時刷屏，尤其是席卷了半導(dǎo)體領(lǐng)域，在相關(guān)業(yè)內(nèi)人士的朋友圈、微博受到大量轉(zhuǎn)載。但該火熱現(xiàn)象背后，引發(fā)了業(yè)內(nèi)專業(yè)人士的多方質(zhì)疑。
眾所周知，光刻機是制造芯片的核心裝備，我國在該領(lǐng)域長期落后，技術(shù)薄弱，話語權(quán)較低。而ASML光刻機以193納米波長光源，實現(xiàn)了達到7納米級的芯片蝕刻，其售價也達到近億美元。居高的產(chǎn)品成本和產(chǎn)品稀缺讓很多國家一度望而止步，一籌莫展。在高科技競爭嚴(yán)峻的當(dāng)前，唯有提高自主創(chuàng)新技術(shù)能力，停止 拿來主義 ，才能為半導(dǎo)體事業(yè)發(fā)展提供新出路，為科技大國建設(shè)提供源源不斷的新活力。
發(fā)展核心高科技產(chǎn)業(yè)，需要持之以恒的投入，這貫穿在科學(xué)事業(yè)革新的每個階段。微納光學(xué)制造技術(shù)作為現(xiàn)代先進制造的重要方向，其水平高低也是體現(xiàn)一個國家綜合實力的標(biāo)志之一。如何研制出面向微納光學(xué)結(jié)構(gòu)制造的光刻裝備是相關(guān)科研工作者不懈的追求。
打破多年技術(shù)壁壘，11月29日，國家重大科研裝備研制項目 超分辨光刻裝備研制 通過驗收，該裝備用365nm波長的紫外光單次成像實現(xiàn)了22nm的分辨率，為光學(xué)超材料/超表面、第三代光學(xué)器件、傳感芯片等納米光學(xué)加工提供了全新的解決途徑。該事件一經(jīng)報道，讓業(yè)內(nèi)沸騰不已，業(yè)內(nèi)相關(guān)企業(yè)借勢宣傳。
國產(chǎn)光刻機是 真牛 還是 吹牛 ？專家對此爭議不斷。一些媒體更是夸大報道，《國產(chǎn)光刻機偉大突破，國產(chǎn)芯片白菜化在即》《突破荷蘭技術(shù)封鎖，彎道超車》《厲害了我的國，新式光刻機將打破 芯片荒 》等謠言肆意傳播，這同樣被一些外行人斷章取義，認(rèn)為半導(dǎo)體芯片大步發(fā)展，實現(xiàn)發(fā)展。
在此過程中，不少業(yè)內(nèi)人士或一些專業(yè)媒體從業(yè)者經(jīng)過專業(yè)判斷與求證，狠狠打擊了不實報道。據(jù)悉，等離子體(surface plasmon,SP)光刻機屬于接觸式光刻，適用于光纖領(lǐng)域、5G天線等特殊應(yīng)用，或者是用于科研領(lǐng)域的單光子探測器。這對于實驗室科研、軍工等領(lǐng)域意義突出，可以一定程度上替代現(xiàn)在的e beam光刻。
但肯定科研成果并不意味著可脫離實際應(yīng)用影響。在項目驗收會上，專家也明確表示用于芯片需要攻克一系列技術(shù)難題，距離還很遙遠。中科院研制的光刻機該裝備還不具備用于產(chǎn)線上微電子芯片的制造能力，不能代替微電子芯片的制造。
經(jīng)過相關(guān)資料和查詢，世界上SP光刻機的研究機構(gòu)極少，主流的光刻機生產(chǎn)商都未投入相關(guān)的研究。主要原因被認(rèn)為是無法應(yīng)用于商用芯片的制造，該技術(shù)存在應(yīng)用缺陷。當(dāng)然，這并不是說否定科研成果，需要注意的是，在光刻機領(lǐng)域，還需要很長時間的研究投入和持續(xù)探索。
隨著人工智能的技術(shù)發(fā)展，以及物聯(lián)網(wǎng)、節(jié)能環(huán)保、新能源等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)推動，半導(dǎo)體的市場需求將持續(xù)增加。前瞻網(wǎng)數(shù)據(jù)顯示，2018年中國半導(dǎo)體設(shè)備銷售額預(yù)計達到118.1億美元?？v觀我國半導(dǎo)體市場，半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率為20%，國內(nèi)市場被國外巨頭壟斷。這一市場現(xiàn)狀正同樣倒逼著相關(guān)技術(shù)的迫切研發(fā)。
說到底，在光刻機研制方面，科學(xué)家正歷經(jīng)漫漫長路。唯成果論本就不是科學(xué)正確的態(tài)度。對待科技的每一次突破，社會各界都應(yīng)理性對待，戒驕戒躁，既不夸大其詞，也不妄自菲薄，還科研創(chuàng)新一個健康、公正、積極的利好環(huán)境。
[{"ID":"124960","HomeTitle":"","Title":"島津在津建設(shè)液壓設(shè)備新工廠 應(yīng)對中國市場叉車需求增長","CreateTime":"2019/8/27 10:46:07","Summary":"島津制作所的中國子公司天津島津液壓有限公司(簡稱：TSH)于11月在天津市西青經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)著手建設(shè)生產(chǎn)叉車專用液壓齒輪泵和控制閥的新工廠。"},{"ID":"124908","HomeTitle":"四項校準(zhǔn)規(guī)范征集意見稿發(fā)布","Title":"《GNSS導(dǎo)航信號采集回放儀校準(zhǔn)規(guī)范》等四個征求意見稿發(fā)布","CreateTime":"2019/8/21 11:11:14","Summary":"8月20日，根據(jù)全國衛(wèi)星導(dǎo)航應(yīng)用專用計量測試技術(shù)委員會規(guī)范制修訂計劃，全國衛(wèi)星導(dǎo)航應(yīng)用專用計量測試技術(shù)委員會秘書處已組織完成了《GNSS導(dǎo)航信號采集回放儀校準(zhǔn)規(guī)范》（征求意見稿）、《行駛記錄儀校準(zhǔn)規(guī)范》（征求意見稿）、《基于導(dǎo)航衛(wèi)星的陸地定向系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范》（征求意見稿）、《星敏感器校準(zhǔn)規(guī)范》（征求意見稿），現(xiàn)面向社會公開征求意見。"},{"ID":"124777","HomeTitle":"","Title":"長春理工大學(xué)教學(xué)專用儀器采購項目中標(biāo)結(jié)果公告","CreateTime":"2019/8/8 17:29:18","Summary":""},{"ID":"124678","HomeTitle":"","Title":"903萬 半導(dǎo)體所采購兩套大型科學(xué)儀器","CreateTime":"2019/7/31 11:49:07","Summary":"1956年，在我國十二年科學(xué)技術(shù)發(fā)展遠景規(guī)劃中，半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)被列為當(dāng)時國家新技術(shù)四大緊急措施之一。為了創(chuàng)建中國半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的研究發(fā)展基地，我國于1960年9月6日在北京成立中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所(以下簡稱“半導(dǎo)體所”)，開啟了中國半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的發(fā)展之路。"},{"ID":"124667","HomeTitle":"等離熱電子光探測器研究取得進展","Title":"固體所在等離熱電子光探測器研究上取得重要進展","CreateTime":"2019/7/31 8:34:39","Summary":"近日，中國科學(xué)院固體物理研究所傳來好消息，稱固體所制備出了高探測率、快響應(yīng)速度的等離熱電子光探測器。"},{"ID":"124663","HomeTitle":"","Title":"小動物精準(zhǔn)放療平臺中標(biāo)結(jié)果公告","CreateTime":"2019/7/30 11:08:20","Summary":""},{"ID":"124355","HomeTitle":"半導(dǎo)體器件標(biāo)準(zhǔn)化委員會委員調(diào)整","Title":"全國半導(dǎo)體器件標(biāo)準(zhǔn)化委員會委員調(diào)整公示","CreateTime":"2019/7/3 8:40:03","Summary":"近日，工信部發(fā)布了一則關(guān)于全國半導(dǎo)體器件標(biāo)準(zhǔn)化委員會及其分立器件分技術(shù)委員會委員調(diào)整的公示。"},{"ID":"124344","HomeTitle":"安全帽事關(guān)重大 科學(xué)檢測必不可少","Title":"安全帽質(zhì)量事關(guān)重大 科學(xué)檢測必不可少","CreateTime":"2019/7/2 13:56:51","Summary":"今天一大早小編在騎車途中遇到了一位工人在駕駛電動車過程中因拒絕佩戴安全帽而與交警發(fā)生爭執(zhí)的事情。其實類似事件屢見不鮮，不少市民覺得佩戴安全帽麻煩便把安全帽放在了后備箱，行車途中為了避免交警盤查總是會繞道而行。雖然不少人能一時逃過交警的盤查，但是生命安全卻存在較大威脅。"}]
眾所周知，光刻機是制造芯片的核心裝備，我國在該領(lǐng)域長期落后，技術(shù)薄弱，話語權(quán)較低。而ASML光刻機以193納米波長光源，實現(xiàn)了達到7納米級的芯片蝕刻，其售價也達到近億美元。居高的產(chǎn)品成本和產(chǎn)品稀缺讓很多國家一度望而止步，一籌莫展。在高科技競爭嚴(yán)峻的當(dāng)前，唯有提高自主創(chuàng)新技術(shù)能力，停止 拿來主義 ，才能為半導(dǎo)體事業(yè)發(fā)展提供新出路，為科技大國建設(shè)提供源源不斷的新活力。
發(fā)展核心高科技產(chǎn)業(yè)，需要持之以恒的投入，這貫穿在科學(xué)事業(yè)革新的每個階段。微納光學(xué)制造技術(shù)作為現(xiàn)代先進制造的重要方向，其水平高低也是體現(xiàn)一個國家綜合實力的標(biāo)志之一。如何研制出面向微納光學(xué)結(jié)構(gòu)制造的光刻裝備是相關(guān)科研工作者不懈的追求。
打破多年技術(shù)壁壘，11月29日，國家重大科研裝備研制項目 超分辨光刻裝備研制 通過驗收，該裝備用365nm波長的紫外光單次成像實現(xiàn)了22nm的分辨率，為光學(xué)超材料/超表面、第三代光學(xué)器件、傳感芯片等納米光學(xué)加工提供了全新的解決途徑。該事件一經(jīng)報道，讓業(yè)內(nèi)沸騰不已，業(yè)內(nèi)相關(guān)企業(yè)借勢宣傳。
國產(chǎn)光刻機是 真牛 還是 吹牛 ？專家對此爭議不斷。一些媒體更是夸大報道，《國產(chǎn)光刻機偉大突破，國產(chǎn)芯片白菜化在即》《突破荷蘭技術(shù)封鎖，彎道超車》《厲害了我的國，新式光刻機將打破 芯片荒 》等謠言肆意傳播，這同樣被一些外行人斷章取義，認(rèn)為半導(dǎo)體芯片大步發(fā)展，實現(xiàn)發(fā)展。
在此過程中，不少業(yè)內(nèi)人士或一些專業(yè)媒體從業(yè)者經(jīng)過專業(yè)判斷與求證，狠狠打擊了不實報道。據(jù)悉，等離子體(surface plasmon,SP)光刻機屬于接觸式光刻，適用于光纖領(lǐng)域、5G天線等特殊應(yīng)用，或者是用于科研領(lǐng)域的單光子探測器。這對于實驗室科研、軍工等領(lǐng)域意義突出，可以一定程度上替代現(xiàn)在的e beam光刻。
但肯定科研成果并不意味著可脫離實際應(yīng)用影響。在項目驗收會上，專家也明確表示用于芯片需要攻克一系列技術(shù)難題，距離還很遙遠。中科院研制的光刻機該裝備還不具備用于產(chǎn)線上微電子芯片的制造能力，不能代替微電子芯片的制造。
經(jīng)過相關(guān)資料和查詢，世界上SP光刻機的研究機構(gòu)極少，主流的光刻機生產(chǎn)商都未投入相關(guān)的研究。主要原因被認(rèn)為是無法應(yīng)用于商用芯片的制造，該技術(shù)存在應(yīng)用缺陷。當(dāng)然，這并不是說否定科研成果，需要注意的是，在光刻機領(lǐng)域，還需要很長時間的研究投入和持續(xù)探索。
隨著人工智能的技術(shù)發(fā)展，以及物聯(lián)網(wǎng)、節(jié)能環(huán)保、新能源等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)推動，半導(dǎo)體的市場需求將持續(xù)增加。前瞻網(wǎng)數(shù)據(jù)顯示，2018年中國半導(dǎo)體設(shè)備銷售額預(yù)計達到118.1億美元?？v觀我國半導(dǎo)體市場，半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率為20%，國內(nèi)市場被國外巨頭壟斷。這一市場現(xiàn)狀正同樣倒逼著相關(guān)技術(shù)的迫切研發(fā)。
說到底，在光刻機研制方面，科學(xué)家正歷經(jīng)漫漫長路。唯成果論本就不是科學(xué)正確的態(tài)度。對待科技的每一次突破，社會各界都應(yīng)理性對待，戒驕戒躁，既不夸大其詞，也不妄自菲薄，還科研創(chuàng)新一個健康、公正、積極的利好環(huán)境。
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