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平行平晶具有高精度的平面性和平行性。
平行平晶用于檢定千分尺、杠桿千分尺、杠桿卡規(guī)和千分尺規(guī)等量具測量面的不平度和兩相對測量面的不平行度。
平行平晶用于檢定千分尺、杠桿千分尺、杠桿卡規(guī)和千分尺規(guī)等量具測量面的不平度和兩相對測量面的不平行度。
二.原理
平行平晶以光波干涉原理為基礎(chǔ)，利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現(xiàn)的干涉條紋來衡量被測量面的誤差程度。
