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產(chǎn)品簡(jiǎn)介 品牌 自營(yíng)品牌 價(jià)格區(qū)間 面議 產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療/衛(wèi)生,化學(xué)品檢測(cè),生物產(chǎn)業(yè),電子/電氣/通訊/半導(dǎo)體,鋼鐵/金屬 高精度激光測(cè)振儀是采用邁克爾遜干涉儀技術(shù)的激光納米測(cè)振儀和微量振動(dòng)測(cè)量?jī)x,單點(diǎn)測(cè)量分辨率高達(dá)亞pm,成像模式分辨率高達(dá)0.1nm,掃描分辨率高達(dá)1nm,還能給出1Hz至2.5MHz的FFT頻譜和2.5MHz以下的彎曲振動(dòng)模態(tài)bending modes。
詳細(xì)介紹
高精度激光測(cè)振儀是采用邁克爾遜干涉儀技術(shù)的激光納米測(cè)振儀和微量振動(dòng)測(cè)量?jī)x,單點(diǎn)測(cè)量分辨率高達(dá)亞pm,成像模式分辨率高達(dá)0.1nm,掃描分辨率高達(dá)1nm,還能給出1Hz至2.5MHz的FFT頻譜和2.5MHz以下的彎曲振動(dòng)模態(tài)bending modes。
高精度激光測(cè)振儀全面滿足日益苛刻的研發(fā)和品質(zhì)控制需要和對(duì)MEMS微機(jī)電系統(tǒng)的需求,通過(guò)在樣品上用邁克爾遜干涉儀的聚焦激光束進(jìn)行光柵掃描來(lái)實(shí)現(xiàn),對(duì)微量振動(dòng)進(jìn)行百萬(wàn)像素微觀結(jié)構(gòu)振動(dòng)成像,測(cè)量顯微圖像中每個(gè)像素的振動(dòng)。
高精度激光測(cè)振儀配有壓電式樣品振動(dòng)器和數(shù)字鎖定放大器,用于測(cè)量振動(dòng)的振幅和相位,從中可以重建2.5MHz以下的彎曲模態(tài)bending modes。
高精度激光測(cè)振儀特色:
所用邁克爾遜干涉儀激光束同時(shí)用于記錄樣品的共焦反射圖像,該圖像本質(zhì)上與振動(dòng)測(cè)量一致。因此,不需要額外的顯微鏡成像系統(tǒng)。
即使控制器和兼容UHV的掃描儀結(jié)構(gòu)非常緊湊,也可提供20毫米尺寸的掃描能力。
高精度激光測(cè)振儀系統(tǒng)組件:
包含干涉儀、函數(shù)發(fā)生器和鎖定放大器(33 cm x 28 cm x 7.5 cm)
運(yùn)動(dòng)控制器:執(zhí)行XYZ定位器的閉環(huán)操作,并包含用于振動(dòng)臺(tái)(33 cm x 28 cm x 7.5 cm)的功率放大器。
XYZ掃描儀(10 cm x 5.5 cm x 7.5 cm),用于光柵掃描樣品上的聚焦激光頭。
花崗巖板(20 cm x 15 cm x 4 cm),帶直徑2.5 cm的柱,用于安裝掃描儀
帶支架的振動(dòng)臺(tái)
高精度激光測(cè)振儀規(guī)格參數(shù)
工作原理:邁克爾遜干涉儀,單模光纖耦合
測(cè)量激光:1550nmDFB激光二極管,穩(wěn)定(NIST可追蹤),功率輸出 1 mW(激光等級(jí)1)
激光光斑直徑:7 m(焦點(diǎn)處)
分辨率:?jiǎn)吸c(diǎn)測(cè)量為亞pm,成像模式為0.1nm。
成像模式:振幅和相位圖像可以使用所含軟件進(jìn)行分析或?qū)С觥?/p>
單點(diǎn)模式:1Hz至2.5MHz的FFT頻譜,最大250萬(wàn)點(diǎn)
數(shù)字鎖定放大器
頻率范圍:500 Hz-2.5 MHz
參考信號(hào):可通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)振動(dòng)臺(tái)和輸出信號(hào)驅(qū)動(dòng)定制執(zhí)行器。
時(shí)間常數(shù):可從1微秒調(diào)節(jié)到0.5毫秒
動(dòng)態(tài)存儲(chǔ): 100分貝
光學(xué)顯微鏡:
工作原理:共焦激光掃描干涉儀測(cè)量激光
焦距調(diào)整:手動(dòng)或自動(dòng),帶閉環(huán)壓電驅(qū)動(dòng)
橫向分辨率:5 m
最小像素尺寸:1 m
最大圖像尺寸:20 x 20 mm
最大像素?cái)?shù):1000 x 1000
掃描系統(tǒng):
工作原理:三軸線性壓電驅(qū)動(dòng),閉環(huán)
分辨率:1nm
重復(fù)精度:30nm
最大行程:20 mm(其他根據(jù)要求定制)
尺寸
控制器:每個(gè)33.0 x 27.0 x 7.0 cm(W x L x H)2個(gè)
掃描儀安裝:花崗巖石材15.0 x 20.0 x 4.0 cm(W x L x H),不銹鋼柱2.5 x 15.0 cm( L x H)
掃描臺(tái):5.5 x 11.0 x 7.5厘米(W x L x H)
振動(dòng)臺(tái):不銹鋼8.0 x 1.5 cm( L x H)
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