DISCO DAD3350半自動切割機
DAD3350半自動切割機操作規(guī)范
該設備 主 要 工 作 原 理 為 利 用 高 速 旋 轉 的 主 軸 帶 動 刀 片 高 速 旋 轉
(30000r/min)在待切割樣品表面進行預設程序的直線切割,切割時通有高
純度的切割水對刀片和主軸進行冷卻。通過X軸、 軸、Y軸和Z軸控制樣品切
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割方向及切割高度,其中X軸負責待切割樣品的水平方向傳遞、 軸負責待切
割樣品的平面旋轉角度,Y軸負責刀片進刀方向,Z軸負責切割高度的控制(如
2所示),同時該設備還配置了觸摸式液晶顯示器及形化用戶接口,裝配
了自動校準、自動對焦、自動檢查刀痕寬度等影響識別系統(tǒng),實現對切
割參數及程序的設定,并通過加工條件顯示畫面,對工作狀態(tài)和設備運
行狀態(tài)進行同步監(jiān)控,保障切割完成質量。
3、 設備功能和規(guī)格指標:
(1)設備功能:該設備通過配置不同的切割刀,能夠對硅片、陶瓷、玻璃或
難加工材料進行切割加工(目前配制了可切割硅片、玻璃、石英的切割刀,若有
其他材料片子需要切割請工藝工程師詳細了解)。zui大加工尺寸為 8英寸
及其以下不規(guī)則樣品(zui小加工尺寸為 2mm)。
(2)規(guī)格指標:
加工物尺寸(mm)及厚度(mm)范圍 2~ 200、0.1~1.5
主軸
配置方式 單主軸
額定功率(KW) 1.8
zui大轉速(/min) 60000
X 軸 進刀速度有效范圍(mm/s) 0.1-600
Y 軸 zui小步進量(mm) 0.0001
定位精度(mm) 0.003 以內/260
Z 軸 重復定位精度(mm) 0.001
標準對應刀片直徑(mm) 58
刀痕寬度 硅片( m) 50~60
玻璃( m) 200~300
4、設備說明:
該設備為 DISCO DAD3350 半自動切割機,附屬設備為 DISCO DWR1720 水
循環(huán)系統(tǒng),為切割機提供高純度恒溫切割水,實物如 3 所示, 4 為 DAD3350
設備說明。
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3 DWR1720和DAD3350實物
4 設備說明
5、開機操作:開機時間約 30min,請?zhí)崆鞍才拧?/p>
(1)打開DAD3350機柜背面墻上的排風開關,此時排風指示燈會亮起(紅色)。
注意電源指示燈為一直打開的(綠色)。如5所示。
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5 排風開關及指示燈
(2)打開水循環(huán)系統(tǒng)DWR1720:
先打開DWR1720機柜背面的壓縮空氣開關(位置如6所示);
然后再打開兩個冷卻水開關,先打開冷卻水 out 閥門,再打開冷卻水IN
閥門(7所示為off狀態(tài) 8所示為on狀態(tài));
zui后打開自來水開關(9所示,向左逆時針為關,向右順時針為開)。
6 水、氣開關位置
排風 開
排風啟動指示燈
水、氣開關
位置
排風 關
電源指示燈
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7 氣體off和冷卻水off 8 氣體on和冷卻水on
9 自來水開關
(3)檢查DWR1720背面黑色電源開關是否在0N檔位。如10所示,若不在ON
檔位將其打至ON檔位,此開關平時關機時不關閉(為防止設備發(fā)生漏水情
況時無法報警)。
10 DWR1720電源開關
(4)打開DWR1720 LED屏開關:如11所示,將鑰匙旋轉到ON,再旋轉到
START等待一秒以上,至11所示指示燈亮起后松開,鑰匙會自動回復到
ON檔位,此時LED顯示屏開啟如12所示,點擊右下角START按鈕,設備
自來水開關
壓縮空氣 壓縮氣體
冷卻水 IN
冷卻水out
冷卻水 IN
冷卻水 out
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開始運轉。(注意勿點擊該顯示屏上任何其他開關及改動任何參數數字,
若改動將使設備無法正常運行)為了使切割所用的切割水純凈度保持良好,
該設備打開后需等待CLEAN 15min。
11 DWR1720 LED屏開關
12 DWR1720 LED顯示屏
(5)檢查DAD3350機柜背面黑色電源開關(ON為開,見13),若不在ON檔
LED屏開關
指示燈
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位打到ON上。此開關平時關機時不關閉(因為此設備配置了UPS,防止其
將電耗光)。
13 DAD3350電源開關
(6)打開DAD3350 LED屏POWER開關:見14,將鑰匙旋轉到ON,再旋轉到
START檔位等待一秒以上,至15所示指示燈亮起后松開,此時鑰匙會自
動回復到ON檔位,同時LED觸摸屏及設備開始運轉,如15所示。等待約
1-2min后LED顯示屏顯示出主界面,如16所示,檢查壓縮空氣氣壓是否
在0.5MPa以上,若低于此值請勿執(zhí)行以下操作并通知設備工程師。
14 DAD3350 LED POWER開關
LED power開關
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15 DAD3350 LCD顯示屏啟動中
16 DAD3350主界面
(7)在0.0界面點擊系統(tǒng)初始化,等待系統(tǒng)自動初始化完成。如17所示。
0.5Mpa以上
指示燈
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17 系統(tǒng)初始化
(8)等DWR1720水系統(tǒng)15min CLEAN完成后在0.0界面點擊主軸電極使其開啟,
等待主軸旋轉到30000r/min后點擊切割水將其開啟,使刀片做15min的
WARM UP(見18所示)。完成后再點擊主軸電機和切割水將其關閉。
系統(tǒng)初始化
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18 WARM UP操作
(8)此時開機操作結束。在等待時間內將需要切割的樣品片貼膜準備好(使樣品
片處于框架的正中心位置,背面完全無氣泡(如19所示),若有氣泡將
會導致切割片子不平整進而影響切割高度)。
19 待切割樣品
6、切割操作:
(1)進入 4.3 界面( 22 所示),進行刀片測高操作(該高度表示的是切割刀
與 TABLE 工作臺表面之間的高度)。點擊 F4 進行敏感器校準測高( 23 所示),
點擊 START 等待測高完成。完成后依次點擊 EXIT 退回 0.0 主界面。注意每次
切割均需要先測高(因為每次使用后刀片都會有一定量的磨損導致高度發(fā)生變
主軸
電極 切割水
框架
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化),若是剛開機和換新刀進行 F4 敏感器校準測高,若不是剛開機和換刀而是
同一把刀接著切割實驗時,進行 F3 非接觸式測高。
22 刀片測高界面
23 敏感器校準測高界面
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(2)將貼膜好(背面完全無氣泡,否則會影響切割高度)需要切割的樣品及框架
放置于切割臺上,放置時需要找準位置,將框架上的兩個缺角對準切割臺
的兩個螺釘放置,如 24 所示。然后將樣品腔門關閉,點擊 0.0 界面上的
C/T 真空(如 25 所示)其真空值需在-89 左右(若高于此值請停止以下
操作并通知設備及工藝工程師,以防發(fā)生意外),確保待切割樣品與 TABLE
吸附好。
24 切割樣品放置
螺釘1 螺釘2
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25 C/T 真空
(3)進入 3.0 界面選擇/創(chuàng)建切割文件( 26 所示)??梢栽谠械那懈钗募?/p>
做拷貝后修改。然后點擊 ENTER,進入參數修改界面( 27 所示)。
26 型號參數目錄
C/T真空
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(4)編輯切割參數:在 3.1.2 界面( 27 所示),需要設置的參數為以下參數:
①尺寸:系統(tǒng)默認以樣品臺中心為切割片中心,而切割時為防止碎刀,需
要有一定量的空切,由于貼片時不能完全保證樣品在框架的中心,因此設
置尺寸參數時需要在原始尺寸上加上 30mm 的余量,以防止出現碎刀,從
而破壞切割刀片,一旦出現碎刀,該刀片即刻報廢不能再使用。
②晶片厚度:即待切割樣品的厚度,到 0.001mm,需要實驗前自己測
試好。
③膜片厚度:即所貼膜的厚度,到 0.001mm,該參數為已知參數。
④CH1 和 CH2 的刀片高度:該高度為切割剩余高度,即切割時樣品臺與刀
片之間的高度。切割時要求不能將膜切透從而破壞樣品臺,因此該高度不
能小于 0.06mm。
⑤進刀速度:即切割時刀片的移動速度,該參數需要通過實驗工藝獲得并
調整,設置時請與工藝工程師溝通再設置。一般切割較硬的樣品時,進刀
速度不宜過快。
⑥Y 軸移動量:即每刀之間的間隔量。
注意切割參數必須設置準確,并且其余參數勿改動,否則會發(fā)生碎刀。設
置每個參數后都要點擊 ENTER 進行保存。設置完成后點擊 EXIT 退回 0.0
界面。
27 型號參數設置
(5)定義切割方式:進入 2.0 界面( 28 所示),點擊 F4 進入半自動切割 2.4
界面 ( 29 所示),點擊 F4 進入手動校準 2.4.4 界面 ( 30 所示)。
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28 手動操作界面
29 半自動切割界面
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30 手動校準界面
①首先進行拉直操作(目的為使切割基準線與劃片槽完全重合),如30所示,
點擊左側像顯示區(qū)域找到劃片槽或切割位置,點擊F4和F9進行基準線寬度調整
使其與劃片槽寬度大小一致。
②點擊SCAN窗口的方向按鈕調節(jié)基準線位置使其處于劃片槽中心位置(如31
所示),注意SCAN調節(jié)時zui后一下必須是點擊向上的按鈕,以后任何SCAN調節(jié)
時都是如此。
③點擊F5 角校正,像會切換到水平位置的另外一邊,再次點擊SCAN窗口的方
向按鈕調節(jié)基準線位置使其處于同一切割道中心位置,然后再次點擊F5回到起始
位置。
④反復幾次以上操作直到反復切換F5后基準線不再偏移切割道為止。
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31 手動校準界面
(6)設置切割位置:2.4.4 界面設置完成之后點擊 ENTER,進入 2.4 界面如
32 所示。在像顯示區(qū)域點擊調整基準線到需要切割的位置,設置切割刀
數,點擊向后/向前切割保存參數(注意其余參數均不需設置和修改,否則
會導致碎刀)。設置完成后,點擊 START。此時設備開始自動切割。
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32 半自動切割界面
(7) 切割界面:切割時界面如33所示,系統(tǒng)會根據設置自動進行切割刀數計
算和刀痕檢查以及測高檢查。在此過程中需要注意出現的報警情況,若出現需要
及時設備及工藝工程師進行參數修改。
注:①刀痕檢查為系統(tǒng)自動進行,目的為保證切割質量,若超過設置量則會出現
報警并停止切割。其具體檢查參數為:
刀痕點數:60%,小于該值會發(fā)生報警;
刀痕寬度:上0.05mm,下0.02mm,大于任意一個值時會報警;
偏離中心線:0.010mm,大于該值時會報警;
容許崩砕尺寸:0.050mm,大于該值時會報警;
崩砕面積:500pi el,大于該值會報警。
②測高檢查為系統(tǒng)自動進行,目的為及時測試刀片磨損情況,保證切割質量。
其具體檢查參數為:
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33 切割界面
(8)切割完成后系統(tǒng)會自動報警停止如34所示,此時點擊右上角解除/警報即
可。點擊EXIT退回0.0主界面。然后關閉C/T真空,打開樣品腔,用吹氣qiang將樣品
表面的水和樣品臺的水吹干后如35所示(注意需將TABLE表面及周圍的水吹
干,防止雜質堵塞陶瓷表面),將樣品取出。此時切割流程完成。
34 切割完成界面
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35 取樣
(9)若接著切割重復(1)-(8)操作。
7、關機操作:
(1)將樣品室關閉,在 0.0 界面點擊系統(tǒng)初始化。
16 系統(tǒng)初始化
(2)關閉 DAD 3350 的 LED 屏 POWER。將 13 所示鑰匙轉到 off。(若長期
關機需要關閉 DAD 3350 背面黑色電源開關,將其打至 OFF 檔,如 12
所示。再依次關閉 UPS 的 POWER 開關和閥門開關。平時關機無此操作。)
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13 DAD3350 LED屏 POWER開關
12 DAD3350電源開關
(3)點擊 DWR1720 的 LED 顯示屏上的 STOP 按鈕,然后再點擊 STOP,如
34 所示。等待設備和泵運行停止后(約 1-2min), 將 LED 屏的開關鑰匙
轉到 OFF 檔,如 35 所示。(若長期關機需將 DWR1720 背面黑色電源開
關打至 OFF 檔,如 9 所示。平時關機無此操作)。
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34 關閉DWR1720 LED屏
35 關閉DWR1720 POWER
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9 DWR1710電源開關
(4)首先關閉DWR1750背面的壓縮空氣開關;
然后再關閉兩個冷卻水開關(6所示為off狀態(tài) 7所示為on狀態(tài)),先關
冷卻水IN,再關閉冷卻水out;
zui后關閉自來水開關(8所示,向左逆時針為關,向右順時針為開)。
關機完畢。
6 氣體off和冷卻水off 7 氣體on和冷卻水on
壓縮空氣 壓縮氣體
冷卻水 IN
冷卻水 out
冷卻水 IN
冷卻水out
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8 自來水開關
(4)摁下DAD3350背面墻壁上的排風 關按鈕關閉排風,此時排風啟動指示燈
熄滅(紅色熄滅),如4所示,注意電源指示燈(綠色)為一直開啟的。
關機完畢。
4 電源及排風開關
8、安全注意事項:
(1)DWR1720水循環(huán)系統(tǒng)顯示屏上的參數均為調試設置好的參數,請勿改動,
否則無法進行實驗。
(2)DWR1720水循環(huán)系統(tǒng)的自來水開關實驗結束必須關閉,以防發(fā)生跑水。
(3)DAD3350切割機換刀操作必須由設備工程師進行,請勿自己換刀,以免發(fā)
生危險。
(4)DWR1720和DAD3350出現警報信息時,除切割完成時的警報,均需要通知
設備工程師或工藝工程師后再解決,不可擅自做主。
(5)切割參數設置時,切勿修改操作規(guī)程上沒有規(guī)定修改的參數,若有特殊需
自來水開關
排風 開
排風 關
排風啟動指示燈 電源指示燈
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要需工藝工程師后進行修改。
(6) 切割進行時,勿隨意打開樣品蓋和防水蓋。
(7)該設備要求尺寸參數一定要(0.001mm),因此設置參數前請事先測
試好片子的尺寸、厚度等基本信息。
(8)不準動計算機的系統(tǒng)程序、輔助文件和其他人的子目錄。不準動設備的任
何部分,包括零件、部件等。
9、常見問題與解決方法:
(1)問題:
原因:
解決方法:
10、參考資料:
DAD3350半自動切割機中文操作手冊
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