DISCO DAD3350半自動切割機




 

DAD3350半自動切割機操作規(guī)范

 該設備 主 要 工 作 原 理 為 利 用 高 速 旋 轉 的 主 軸 帶 動 刀 片 高 速 旋 轉

（30000r/min）在待切割樣品表面進行預設程序的直線切割，切割時通有高

純度的切割水對刀片和主軸進行冷卻。通過X軸、 軸、Y軸和Z軸控制樣品切

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割方向及切割高度，其中X軸負責待切割樣品的水平方向傳遞、 軸負責待切

割樣品的平面旋轉角度，Y軸負責刀片進刀方向，Z軸負責切割高度的控制（如

2所示），同時該設備還配置了觸摸式液晶顯示器及形化用戶接口，裝配

了自動校準、自動對焦、自動檢查刀痕寬度等影響識別系統(tǒng)，實現對切

割參數及程序的設定，并通過加工條件顯示畫面，對工作狀態(tài)和設備運

行狀態(tài)進行同步監(jiān)控，保障切割完成質量。

3、 設備功能和規(guī)格指標：

（1）設備功能：該設備通過配置不同的切割刀，能夠對硅片、陶瓷、玻璃或

難加工材料進行切割加工（目前配制了可切割硅片、玻璃、石英的切割刀，若有

其他材料片子需要切割請工藝工程師詳細了解）。zui大加工尺寸為 8英寸

及其以下不規(guī)則樣品（zui小加工尺寸為 2mm）。

（2）規(guī)格指標：

加工物尺寸（mm）及厚度（mm）范圍 2~ 200、0.1~1.5

主軸

配置方式 單主軸

額定功率（KW） 1.8

zui大轉速（/min） 60000

X 軸 進刀速度有效范圍（mm/s） 0.1-600

Y 軸 zui小步進量（mm） 0.0001

定位精度（mm） 0.003 以內/260

Z 軸 重復定位精度（mm） 0.001

標準對應刀片直徑（mm） 58

刀痕寬度 硅片（ m） 50~60

玻璃（ m） 200~300

4、設備說明：

 該設備為 DISCO DAD3350 半自動切割機，附屬設備為 DISCO DWR1720 水

循環(huán)系統(tǒng)，為切割機提供高純度恒溫切割水，實物如 3 所示， 4 為 DAD3350

設備說明。

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3 DWR1720和DAD3350實物

4 設備說明

5、開機操作：開機時間約 30min，請?zhí)崆鞍才拧?/p>

（1）打開DAD3350機柜背面墻上的排風開關，此時排風指示燈會亮起（紅色）。

注意電源指示燈為一直打開的（綠色）。如5所示。

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5 排風開關及指示燈

（2）打開水循環(huán)系統(tǒng)DWR1720：

先打開DWR1720機柜背面的壓縮空氣開關（位置如6所示）；

然后再打開兩個冷卻水開關，先打開冷卻水 out 閥門，再打開冷卻水IN

閥門（7所示為off狀態(tài) 8所示為on狀態(tài)）；

zui后打開自來水開關（9所示，向左逆時針為關，向右順時針為開）。

6 水、氣開關位置

排風 開

排風啟動指示燈

水、氣開關

位置

排風 關

電源指示燈

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7 氣體off和冷卻水off 8 氣體on和冷卻水on

9 自來水開關

（3）檢查DWR1720背面黑色電源開關是否在0N檔位。如10所示，若不在ON

檔位將其打至ON檔位，此開關平時關機時不關閉（為防止設備發(fā)生漏水情

況時無法報警）。

10 DWR1720電源開關

（4）打開DWR1720 LED屏開關：如11所示，將鑰匙旋轉到ON，再旋轉到

START等待一秒以上，至11所示指示燈亮起后松開，鑰匙會自動回復到

ON檔位，此時LED顯示屏開啟如12所示，點擊右下角START按鈕，設備

自來水開關

壓縮空氣 壓縮氣體

冷卻水 IN

冷卻水out

冷卻水 IN

冷卻水 out

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開始運轉。（注意勿點擊該顯示屏上任何其他開關及改動任何參數數字，

若改動將使設備無法正常運行）為了使切割所用的切割水純凈度保持良好，

該設備打開后需等待CLEAN 15min。

11 DWR1720 LED屏開關

12 DWR1720 LED顯示屏

（5）檢查DAD3350機柜背面黑色電源開關（ON為開，見13），若不在ON檔

LED屏開關

指示燈

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位打到ON上。此開關平時關機時不關閉（因為此設備配置了UPS，防止其

將電耗光）。

13 DAD3350電源開關

（6）打開DAD3350 LED屏POWER開關：見14，將鑰匙旋轉到ON，再旋轉到

START檔位等待一秒以上，至15所示指示燈亮起后松開，此時鑰匙會自

動回復到ON檔位，同時LED觸摸屏及設備開始運轉，如15所示。等待約

1-2min后LED顯示屏顯示出主界面，如16所示，檢查壓縮空氣氣壓是否

在0.5MPa以上，若低于此值請勿執(zhí)行以下操作并通知設備工程師。

14 DAD3350 LED POWER開關

LED power開關

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15 DAD3350 LCD顯示屏啟動中

16 DAD3350主界面

（7）在0.0界面點擊系統(tǒng)初始化，等待系統(tǒng)自動初始化完成。如17所示。

0.5Mpa以上

指示燈

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17 系統(tǒng)初始化

（8）等DWR1720水系統(tǒng)15min CLEAN完成后在0.0界面點擊主軸電極使其開啟，

等待主軸旋轉到30000r/min后點擊切割水將其開啟，使刀片做15min的

WARM UP（見18所示）。完成后再點擊主軸電機和切割水將其關閉。

系統(tǒng)初始化

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18 WARM UP操作

（8）此時開機操作結束。在等待時間內將需要切割的樣品片貼膜準備好(使樣品

片處于框架的正中心位置，背面完全無氣泡（如19所示），若有氣泡將

會導致切割片子不平整進而影響切割高度)。

19 待切割樣品

6、切割操作：

（1）進入 4.3 界面（ 22 所示），進行刀片測高操作（該高度表示的是切割刀

與 TABLE 工作臺表面之間的高度）。點擊 F4 進行敏感器校準測高（ 23 所示），

點擊 START 等待測高完成。完成后依次點擊 EXIT 退回 0.0 主界面。注意每次

切割均需要先測高（因為每次使用后刀片都會有一定量的磨損導致高度發(fā)生變

主軸

電極 切割水

框架

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化），若是剛開機和換新刀進行 F4 敏感器校準測高，若不是剛開機和換刀而是

同一把刀接著切割實驗時，進行 F3 非接觸式測高。

22 刀片測高界面

23 敏感器校準測高界面

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（2）將貼膜好(背面完全無氣泡，否則會影響切割高度)需要切割的樣品及框架

放置于切割臺上，放置時需要找準位置，將框架上的兩個缺角對準切割臺

的兩個螺釘放置，如 24 所示。然后將樣品腔門關閉，點擊 0.0 界面上的

C/T 真空（如 25 所示）其真空值需在-89 左右（若高于此值請停止以下

操作并通知設備及工藝工程師，以防發(fā)生意外），確保待切割樣品與 TABLE

吸附好。

24 切割樣品放置

螺釘1 螺釘2

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25 C/T 真空

（3）進入 3.0 界面選擇/創(chuàng)建切割文件（ 26 所示）?？梢栽谠械那懈钗募?/p>

做拷貝后修改。然后點擊 ENTER，進入參數修改界面（ 27 所示）。

26 型號參數目錄

C/T真空

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（4）編輯切割參數：在 3.1.2 界面（ 27 所示），需要設置的參數為以下參數：

①尺寸：系統(tǒng)默認以樣品臺中心為切割片中心，而切割時為防止碎刀，需

要有一定量的空切，由于貼片時不能完全保證樣品在框架的中心，因此設

置尺寸參數時需要在原始尺寸上加上 30mm 的余量，以防止出現碎刀，從

而破壞切割刀片，一旦出現碎刀，該刀片即刻報廢不能再使用。

②晶片厚度：即待切割樣品的厚度，到 0.001mm，需要實驗前自己測

試好。

③膜片厚度：即所貼膜的厚度，到 0.001mm，該參數為已知參數。

④CH1 和 CH2 的刀片高度：該高度為切割剩余高度，即切割時樣品臺與刀

片之間的高度。切割時要求不能將膜切透從而破壞樣品臺，因此該高度不

能小于 0.06mm。

⑤進刀速度：即切割時刀片的移動速度，該參數需要通過實驗工藝獲得并

調整，設置時請與工藝工程師溝通再設置。一般切割較硬的樣品時，進刀

速度不宜過快。

⑥Y 軸移動量：即每刀之間的間隔量。

注意切割參數必須設置準確，并且其余參數勿改動，否則會發(fā)生碎刀。設

置每個參數后都要點擊 ENTER 進行保存。設置完成后點擊 EXIT 退回 0.0

界面。

27 型號參數設置

（5）定義切割方式：進入 2.0 界面（ 28 所示），點擊 F4 進入半自動切割 2.4

界面 ( 29 所示)，點擊 F4 進入手動校準 2.4.4 界面 ( 30 所示)。

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28 手動操作界面

29 半自動切割界面

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30 手動校準界面

①首先進行拉直操作（目的為使切割基準線與劃片槽完全重合），如30所示，

點擊左側像顯示區(qū)域找到劃片槽或切割位置，點擊F4和F9進行基準線寬度調整

使其與劃片槽寬度大小一致。

②點擊SCAN窗口的方向按鈕調節(jié)基準線位置使其處于劃片槽中心位置（如31

所示），注意SCAN調節(jié)時zui后一下必須是點擊向上的按鈕，以后任何SCAN調節(jié)

時都是如此。

③點擊F5 角校正，像會切換到水平位置的另外一邊，再次點擊SCAN窗口的方

向按鈕調節(jié)基準線位置使其處于同一切割道中心位置，然后再次點擊F5回到起始

位置。

④反復幾次以上操作直到反復切換F5后基準線不再偏移切割道為止。

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31 手動校準界面

（6）設置切割位置：2.4.4 界面設置完成之后點擊 ENTER，進入 2.4 界面如

32 所示。在像顯示區(qū)域點擊調整基準線到需要切割的位置，設置切割刀

數，點擊向后/向前切割保存參數（注意其余參數均不需設置和修改，否則

會導致碎刀）。設置完成后，點擊 START。此時設備開始自動切割。

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32 半自動切割界面

(7) 切割界面：切割時界面如33所示，系統(tǒng)會根據設置自動進行切割刀數計

算和刀痕檢查以及測高檢查。在此過程中需要注意出現的報警情況，若出現需要

及時設備及工藝工程師進行參數修改。

注：①刀痕檢查為系統(tǒng)自動進行，目的為保證切割質量，若超過設置量則會出現

報警并停止切割。其具體檢查參數為：

刀痕點數：60%，小于該值會發(fā)生報警；

刀痕寬度：上0.05mm，下0.02mm，大于任意一個值時會報警；

偏離中心線：0.010mm，大于該值時會報警；

容許崩砕尺寸：0.050mm，大于該值時會報警；

崩砕面積：500pi el，大于該值會報警。

②測高檢查為系統(tǒng)自動進行，目的為及時測試刀片磨損情況，保證切割質量。

其具體檢查參數為：

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33 切割界面

（8）切割完成后系統(tǒng)會自動報警停止如34所示，此時點擊右上角解除/警報即

可。點擊EXIT退回0.0主界面。然后關閉C/T真空，打開樣品腔，用吹氣qiang將樣品

表面的水和樣品臺的水吹干后如35所示（注意需將TABLE表面及周圍的水吹

干，防止雜質堵塞陶瓷表面），將樣品取出。此時切割流程完成。

34 切割完成界面

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35 取樣

（9）若接著切割重復（1）-（8）操作。

7、關機操作：

（1）將樣品室關閉，在 0.0 界面點擊系統(tǒng)初始化。

16 系統(tǒng)初始化

（2）關閉 DAD 3350 的 LED 屏 POWER。將 13 所示鑰匙轉到 off。（若長期

關機需要關閉 DAD 3350 背面黑色電源開關，將其打至 OFF 檔，如 12

所示。再依次關閉 UPS 的 POWER 開關和閥門開關。平時關機無此操作。）

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13 DAD3350 LED屏 POWER開關

12 DAD3350電源開關

（3）點擊 DWR1720 的 LED 顯示屏上的 STOP 按鈕，然后再點擊 STOP，如

34 所示。等待設備和泵運行停止后（約 1-2min）， 將 LED 屏的開關鑰匙

轉到 OFF 檔，如 35 所示。（若長期關機需將 DWR1720 背面黑色電源開

關打至 OFF 檔，如 9 所示。平時關機無此操作）。

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34 關閉DWR1720 LED屏

35 關閉DWR1720 POWER

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9 DWR1710電源開關

（4）首先關閉DWR1750背面的壓縮空氣開關；

然后再關閉兩個冷卻水開關（6所示為off狀態(tài) 7所示為on狀態(tài)），先關

冷卻水IN，再關閉冷卻水out；

zui后關閉自來水開關（8所示，向左逆時針為關，向右順時針為開）。

關機完畢。

6 氣體off和冷卻水off 7 氣體on和冷卻水on

壓縮空氣 壓縮氣體

冷卻水 IN

冷卻水 out

冷卻水 IN

冷卻水out

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8 自來水開關

（4）摁下DAD3350背面墻壁上的排風 關按鈕關閉排風，此時排風啟動指示燈

熄滅（紅色熄滅），如4所示，注意電源指示燈（綠色）為一直開啟的。

關機完畢。

4 電源及排風開關

8、安全注意事項：

（1）DWR1720水循環(huán)系統(tǒng)顯示屏上的參數均為調試設置好的參數，請勿改動，

否則無法進行實驗。

（2）DWR1720水循環(huán)系統(tǒng)的自來水開關實驗結束必須關閉，以防發(fā)生跑水。

（3）DAD3350切割機換刀操作必須由設備工程師進行，請勿自己換刀，以免發(fā)

生危險。

（4）DWR1720和DAD3350出現警報信息時，除切割完成時的警報，均需要通知

設備工程師或工藝工程師后再解決，不可擅自做主。

（5）切割參數設置時，切勿修改操作規(guī)程上沒有規(guī)定修改的參數，若有特殊需

自來水開關

排風 開

排風 關

排風啟動指示燈 電源指示燈

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要需工藝工程師后進行修改。

（6） 切割進行時，勿隨意打開樣品蓋和防水蓋。

（7）該設備要求尺寸參數一定要（0.001mm），因此設置參數前請事先測

試好片子的尺寸、厚度等基本信息。

（8）不準動計算機的系統(tǒng)程序、輔助文件和其他人的子目錄。不準動設備的任

何部分，包括零件、部件等。

9、常見問題與解決方法：

（1）問題：

原因：

解決方法：

10、參考資料：

 DAD3350半自動切割機中文操作手冊

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