【中國91化工儀器網(wǎng) 技術(shù)前沿】很多涉及原子層沉積技術(shù)(ALD)的人都知道,選擇性原子層沉積是當今熱議的話題。各類論文、研討會和博文層出不窮,詳盡地解釋了各種可以達到選擇性生長目的的新方法。從某種意義上說,選擇性ALD運用了長期困擾ALD使用者的效應(yīng),即由于ALD的化學(xué)反應(yīng)特性,薄膜生長的成核現(xiàn)象取決于基底表面。通常來說,在ALD領(lǐng)域人們已經(jīng)在研究如何盡可能減小這種影響。例如,等離子體ALD一般會有可忽略不計的延遲,但對于選擇性ALD來說,成核延遲現(xiàn)象卻被放大了。 有意思的是,雖然等離子體ALD一般沒有成核延遲現(xiàn)象,但它仍然可被用于選擇性ALD。我在埃因霍溫的大學(xué)同事已登載了相關(guān)發(fā)現(xiàn)(http://pubs.acs.org/doi/10.1021/acsnano.7b04701)。它的要點是在等離子體曝光之后再次重復(fù)應(yīng)用抑制劑,這個過程可用視頻中所示的三步ABC ALD方法操作。 以下視頻中解釋了選擇性等離子體ALD技術(shù)的全新概念: 那么問題來了,人們會選擇哪種ALD設(shè)備來研究選擇性ALD呢。我相信我們系統(tǒng)中的一些功能會很有用,例如: ◆ 可應(yīng)用多種化學(xué)前驅(qū)物。氣箱可容納多路氣體并由MFC進行流量控制 ◆ 可應(yīng)用抑制劑分子(如在前驅(qū)物注入過程中通入NH3或CO) ◆ 將氫基作為抑制劑:在前驅(qū)物注入前使用氫等離子體(或其他等離子體)來抑制特定表面的生長 ◆ 氟化物等離子體:將CFX或F作為抑制劑,在前驅(qū)物注入前使用此等離子體,或進行選擇性ALD生長時,即每隔幾個生長周期就在同一個腔體內(nèi)進行一次刻蝕的步驟(注意O2等離子體可刻蝕Ru,H2等離子體可刻蝕ZnO)。 ◆ 用于抑制生長的自組裝單分子膜(SAMS)注入 ◆ 多腔體集成系統(tǒng),比如與感應(yīng)耦合等離子體-化學(xué)氣相沉積(ICP-CVD)腔室(生長非晶硅)、濺射(sputter)腔室或原子層刻蝕(ALE)腔室結(jié)合使用 ◆ 用于原表面改性或刻蝕的基底偏壓 牛津儀器的設(shè)備可實現(xiàn)優(yōu)異的控制效果,包括: ◆ 通過MFC,快速ALD閥門和快速自動壓力控制,可獲得可調(diào)的前驅(qū)物/氣體注入,以實現(xiàn)一面成核另一面不成核的現(xiàn)象。 ◆ 使用預(yù)真空室和渦輪增壓分子泵保持系統(tǒng)的的高真空度,以使抑制現(xiàn)象長時間不受影響。 ◆ 使用等離子體可清潔腔體和恢復(fù)腔體氛圍。 ◆ 帶實時診斷功能的生長監(jiān)控設(shè)備:橢圓偏正光譜測、質(zhì)譜分析法及發(fā)射光譜法 基于選擇性ALD提出的與刻蝕相結(jié)合的方法再次讓我想到原子尺度工藝處理的問題,我在之前發(fā)表的一篇博文中對此進行了討論??梢韵胂螅ㄟ^結(jié)合選擇性ALD及其他工藝,可以生長出新的超材料(特異材料)和獨特結(jié)構(gòu)。例如,通過在選擇性曝光的銅中生長石墨烯,或通過周期性刻蝕同一平面的沉積(例如局部選擇性ALD),可有效地僅在結(jié)構(gòu)側(cè)邊生長材料。因此不論是在普通等離子刻蝕機或帶基底偏壓特性的FlexAL,結(jié)合帶導(dǎo)向的離子曝光法也許會是個優(yōu)勢??偟脕碚f,我很期待能有令人驚喜的新發(fā)現(xiàn),新結(jié)構(gòu)和新材料能在可控的方式下誕生。 編輯點評 原子層沉積是通過將氣相前驅(qū)體脈沖交替地通入反應(yīng)器并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應(yīng)而形成沉積膜的一種方法(技術(shù))。當前驅(qū)體達到沉積基體表面,它們會在其表面化學(xué)吸附并發(fā)生表面反應(yīng)。在前驅(qū)體脈沖之間需要用惰性氣體對原子層沉積反應(yīng)器進行清洗。由此可知沉積反應(yīng)前驅(qū)體物質(zhì)能否在被沉積材料表面化學(xué)吸附是實現(xiàn)原子層沉積的關(guān)鍵。 (原標題:科普系列:選擇性原子層沉積技術(shù))
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[{"ID":"125006","HomeTitle":" 436項標準發(fā)布 助推行業(yè)發(fā)展","Title":" 436項行業(yè)標準發(fā)布 助推企業(yè)又好又快發(fā)展","CreateTime":"2019/8/30 13:53:21","Summary":"其實,我國在經(jīng)濟高速增長的同時也逐步邁向了高質(zhì)量發(fā)展軌道。為促進國民經(jīng)濟又好又快發(fā)展,近些年我國加強了對行業(yè)的標準的修制訂。標準化是行業(yè)發(fā)展的必經(jīng)之路,產(chǎn)品優(yōu)質(zhì)化發(fā)展離不開標準的規(guī)范性作用。"},{"ID":"124987","HomeTitle":"","Title":"島津開發(fā)出新的同步定量分析技術(shù)","CreateTime":"2019/8/29 11:46:01","Summary":"島津制作所和京都大學(xué)的研究小組開發(fā)出自身免疫性疾病治療用抗體藥物的同步定量分析技術(shù)。檢測環(huán)節(jié)使用了島津制作所的超快速液相質(zhì)譜聯(lián)用儀“LCMS-8050/8060”和預(yù)處理試劑盒“nSMOLTM Antibody BA Kit”。"},{"ID":"124982","HomeTitle":"","Title":"窄線寬光纖激光器研發(fā)取得重要進展","CreateTime":"2019/8/29 9:43:03","Summary":"由山東海富光子科技股份有限公司牽頭承擔的國家重點研發(fā)計劃重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)重點專項“高功率窄線寬光纖激光器”項目經(jīng)過近兩年的努力,突破了半導(dǎo)體增益芯片設(shè)計制備與高效封裝耦合、玻璃光纖制備中新型熱熔鍵合及高濃度均勻摻雜、窄線寬光纖激光放大器非線性效應(yīng)抑制等關(guān)鍵技術(shù),開發(fā)出高功率窄線寬光纖激光器樣機。"},{"ID":"124980","HomeTitle":"天瑞儀器2019年上半年財報出爐","Title":"天瑞儀器上半年財報出爐 質(zhì)譜儀銷售額同比增長209.29%","CreateTime":"2019/8/29 8:54:50","Summary":"報告顯示,2019年天瑞儀器上半年實現(xiàn)營業(yè)收入3.87億元,比上一年同期減少8.90%;歸屬于上市公司股東的凈利潤2919.66萬元,同比增長26.91%;歸屬于上市公司股東的扣除非經(jīng)常性損益的凈利潤為 2649.98 萬元,比去年同期增加 936.98 萬元,增幅 54.70%;經(jīng)營活動產(chǎn)生的現(xiàn)金流量凈額-3504.31 萬元,比去年同期增加 4153.54 萬元,增幅 54.24%。"},{"ID":"124963","HomeTitle":"","Title":"直讀光譜儀采購項目中標結(jié)果公告","CreateTime":"2019/8/27 13:32:35","Summary":""},{"ID":"124960","HomeTitle":"","Title":"島津在津建設(shè)液壓設(shè)備新工廠 應(yīng)對中國市場叉車需求增長","CreateTime":"2019/8/27 10:46:07","Summary":"島津制作所的中國子公司天津島津液壓有限公司(簡稱:TSH)于11月在天津市西青經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)著手建設(shè)生產(chǎn)叉車專用液壓齒輪泵和控制閥的新工廠。"},{"ID":"124951","HomeTitle":"","Title":"470.25萬! 吉林大學(xué)采購聚焦離子束電鏡光譜制樣聯(lián)用系統(tǒng)","CreateTime":"2019/8/26 14:19:12","Summary":"吉林大學(xué)始建于1946年,是教育部直屬的全國重點綜合性大學(xué)。學(xué)?,F(xiàn)有國家重點實驗室5個,國家工程實驗室1個,國家地方聯(lián)合工程實驗室6個,國家工程技術(shù)研究中心1個,教育部人文社會科學(xué)重點研究基地6個,教育部重點實驗室12個,教育部工程研究中心5個,其他行業(yè)部委重點實驗室21個,承擔了大量國家級和省部級科研項目,產(chǎn)出了一批產(chǎn)業(yè)化前景好、技術(shù)含量高的高新技術(shù)成果。"},{"ID":"124942","HomeTitle":"","Title":"新藥品抽查辦法出臺 儀器行業(yè)或迎新機遇","CreateTime":"2019/8/26 8:52:03","Summary":"2019年8月19日,國家藥品監(jiān)督局宣布《藥品質(zhì)量抽查檢驗管理辦法》正式進入實行階段,同時廢止了由原國家食品藥品監(jiān)督管理局發(fā)布的《藥品質(zhì)量抽查檢驗管理規(guī)定》(國食藥監(jiān)市〔2006〕379號)。"}]