各類薄膜材料制備設(shè)備、納米材料制備設(shè)備、真空冶金設(shè)備、太陽(yáng)能光伏設(shè)備、集成電路裝備、真空非標(biāo)系統(tǒng)研發(fā)生產(chǎn)、各種實(shí)驗(yàn)室特殊需求儀器的制造

沈陽(yáng)鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司是由幾位中科院博士生聯(lián)合創(chuàng)辦和管理的高科技研究型企業(yè)。公司業(yè)務(wù)部主要分為太陽(yáng)能發(fā)電領(lǐng)域事業(yè)部和科學(xué)儀器事業(yè)部?jī)纱蟛块T。

太陽(yáng)能發(fā)電領(lǐng)域事業(yè)部以致力于光伏發(fā)電系統(tǒng)集成研究、光伏設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)為主導(dǎo)。鵬程真空光伏部與國(guó)內(nèi)外多所著名高校、電力設(shè)計(jì)研究院、業(yè)內(nèi)知名企業(yè)及相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)建立了戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系，擁有全套的光伏系統(tǒng)集成設(shè)計(jì)能力與配套產(chǎn)品供應(yīng)。

科學(xué)儀器事業(yè)部主要從事研發(fā)生產(chǎn)，各類薄膜材料制備設(shè)備、納米材料制備設(shè)備、真空冶金設(shè)備、太陽(yáng)能光伏設(shè)備、集成電路裝備、真空非標(biāo)系統(tǒng)研發(fā)生產(chǎn)、各種實(shí)驗(yàn)室特殊需求儀器的制造。

主要組成
高真空電弧爐系統(tǒng)主要由電弧熔煉真空室、電弧槍、電弧熔煉電源、五工位水冷銅坩堝、翻轉(zhuǎn)機(jī)械手、真空吸鑄裝置、磁力攪拌、工作氣路、系統(tǒng)抽氣、真空測(cè)量及電氣控制系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)等各部分組成。
極限真空：2.0x10-4Pa。
系統(tǒng)漏率小于5.0x10-8Pa.l/S。
系統(tǒng)從大氣開(kāi)始抽氣，20分鐘可達(dá)到5x10-3 Pa；
停泵12小時(shí)后真空度 6Pa.
1、電弧熔煉真空室組件 1套
高真空電弧爐立式圓筒型真空室尺寸： 350mmX350mm，前開(kāi)門，雙層水冷結(jié)構(gòu)，選用不銹鋼材料制造，氬弧焊接，表面電化學(xué)拋光處理，接口采用金屬墊圈或氟橡膠圈密封
2、 電弧熔煉陰極組件 1套 
水冷電動(dòng)電弧槍：1套（引弧方式為非接觸）
3、 水冷銅坩堝組件 1套 
4、 機(jī)械手組件 1套 
用于真空下翻轉(zhuǎn)合金錠；
機(jī)械手組件有水冷裝置。
5、 窗口及法蘭接口部件  
6、工作氣體氣路 2條
7、抽氣機(jī)組及閥門、管道 1套
8、工作本底真空獲得: 分子泵+機(jī)械泵
9、真空測(cè)量及電控系統(tǒng)