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脈沖激光沉積系統(tǒng)-91化工儀器網(wǎng)

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-09-02  來源:儀器信息網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):607
核心提示:納米微米壓痕劃痕測試儀;近場掃描光學(xué)顯微鏡;接觸角測量儀;表面張力儀;LB膜分析儀;開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量);表面等離子共振譜儀(SPR);輪廓儀;摩擦計;(顯微)硬度計;磁控濺射儀;熱蒸發(fā)電子束蒸發(fā)沉積;等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD);原子層沉積系統(tǒng)(ALD);快速退火爐;霍爾效應(yīng)儀;探針臺;光致發(fā)光掃描儀(PL);橢偏儀;膜厚儀;氣溶膠發(fā)生器,粒徑譜儀,稀釋器;濾料測試系統(tǒng);煙霧發(fā)生器;空氣示蹤器;zeta電位分析儀;內(nèi)表面粗糙度測量儀;(氙燈)光反應(yīng)器;太陽模擬器;高壓反應(yīng)釜; 科睿設(shè)備有

納米微米壓痕劃痕測試儀;近場掃描光學(xué)顯微鏡;接觸角測量儀;表面張力儀;LB膜分析儀;開爾文探針系統(tǒng)(功函數(shù)測量);表面等離子共振譜儀(SPR);輪廓儀;摩擦計;(顯微)硬度計;磁控濺射儀;熱蒸發(fā)電子束蒸發(fā)沉積;等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)(PECVD);原子層沉積系統(tǒng)(ALD);快速退火爐;霍爾效應(yīng)儀;探針臺;光致發(fā)光掃描儀(PL);橢偏儀;膜厚儀;氣溶膠發(fā)生器,粒徑譜儀,稀釋器;濾料測試系統(tǒng);煙霧發(fā)生器;空氣示蹤器;zeta電位分析儀;內(nèi)表面粗糙度測量儀;(氙燈)光反應(yīng)器;太陽模擬器;高壓反應(yīng)釜;


 科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區(qū)的代理??祁9疽回灡小赫\信』、『品質(zhì)』、『服務(wù)』、『創(chuàng)新』的企業(yè)文化,為廣大中國用戶提供儀器、設(shè)備,最周到的技術(shù)、服務(wù)和完美的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發(fā)展的中國,納米科學(xué)研究、薄膜材料(包括半導(dǎo)體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發(fā)、有機(jī)高分子合成等等領(lǐng)域,都需要與歐美發(fā)達(dá)國家完全接軌的儀器設(shè)備平臺來實(shí)現(xiàn)??祁TO(shè)備有限公司有幸成長在這個火熱的年代,我們愿意化為一座橋梁,見證中國科技水平的提升,與中國科技共同飛速成長。
      科睿設(shè)備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設(shè)在中國香港,在中國上海設(shè)立了分公司,在國內(nèi)多個城市設(shè)立了辦事處或維修站,旨在為客戶提供全方位的產(chǎn)品和服務(wù)。2010年,科睿設(shè)備有限公司在上海設(shè)立備品倉庫及維修中心,同時提供在大陸的各項技術(shù)服務(wù)和后期的維修保障服務(wù),我們擁有專業(yè)的應(yīng)用維修人員,并且都曾到國外廠家進(jìn)行了專門的培訓(xùn)。上海配備了多種維修部件,能使我們的服務(wù)更加快捷和方便。我們承諾24小時電話響應(yīng),72小時內(nèi)趕到現(xiàn)場維修。以利于更好、更快的為中國大陸服務(wù)! 
      因?yàn)樾湃?所以理解.我們理解用戶的困難和需求。我們已經(jīng)為國內(nèi)眾多科研院所和大學(xué)根據(jù)用戶的要求配制和提供了上百套系統(tǒng),主要用戶包括:中科院物理所,中科院半導(dǎo)體所,中科院大連化學(xué)物理研究所,國家納米中心,上海納米中心,北京大學(xué),清華大學(xué),中國科技大學(xué),南京大學(xué),復(fù)旦大學(xué),上海交通大學(xué),華東理工大學(xué),浙江大學(xué),中山大學(xué),西安交通大學(xué),四川大學(xué),中國工程物理研究院,香港大學(xué),香港城市大學(xué),香港中文大學(xué),香港科技大學(xué)等。

 


脈沖激光沉積系統(tǒng)

(Pulse Laser Deposition System)
原產(chǎn)國:美國 
PLD脈沖激光沉積系統(tǒng)介紹:
PLD是將脈沖激光透過合成石英窗導(dǎo)入真空腔內(nèi)照射到成膜靶上,靶被照射后吸收高密度能量而形成的plume狀等離子體狀態(tài),然后被堆積到設(shè)在對面的基板上而成膜。PLD方法可以獲得擁有熱力學(xué)理論上準(zhǔn)穩(wěn)定狀態(tài)的組成和構(gòu)造的人工合成新材料。


我們PLD系統(tǒng)擁有好的性能價比,具體技術(shù)參數(shù)配置:
1.靶: 數(shù)量6個,大小1-2英寸,被激光照射時可自動旋轉(zhuǎn),靶的選擇可通過步進(jìn)電機(jī)控制;
2.基板:采用適合于氧氣環(huán)境鉑金加熱片,大小2英寸,加熱溫度可達(dá)1200攝氏度,溫度差 3%,加熱時基板可旋轉(zhuǎn),工作環(huán)境最大壓力是300mtorr;
3.基板加熱電源,最高到1200度;
4.超高真空成膜室腔體:不銹鋼sus304材質(zhì),內(nèi)表面電解拋光,本底真空度 5e-8 pa;
5.樣品搬運(yùn)室:不銹鋼sus304材質(zhì),內(nèi)表面電解拋光,本底真空度 5e-5 pa;
6.排氣系統(tǒng):分子泵和干式機(jī)械泵;
7.閥門: 采用超高真空擋板閥;
8.真空檢測:真空計;
9.氣路兩套: 采用氣體流量計控制;
10.薄膜生長監(jiān)控系統(tǒng): 采用掃描型差分RHEED;
11.監(jiān)控軟件系統(tǒng):基板溫度的監(jiān)控和設(shè)定,基板和靶的旋轉(zhuǎn),靶的更換等;
12.各種電流導(dǎo)入及測溫端子;
13.其它各種構(gòu)造:各種超高真空位移臺,磁力傳輸桿,超高真空法蘭,超高真空密封墊圈,超高真空用波紋管等;

用戶用最少的錢買到研究級高性能的純進(jìn)口PLD系統(tǒng)。

 
關(guān)鍵詞: 真空 超高 基板 加熱 脈沖
 
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