技術(shù)文章 光柵尺位移傳感器原理結(jié)構(gòu)及維護(hù)方法 閱讀：227 發(fā)布時(shí)間：2019/5/6

光柵尺位移傳感器原理結(jié)構(gòu)及維護(hù)方法

一、光柵尺是什么？

定義： 光柵尺位移傳感器(簡(jiǎn)稱光柵尺)，是利用光柵的光學(xué)原理工作的測(cè)量反饋裝置。

光柵尺位移傳感器經(jīng)常應(yīng)用于機(jī)床與現(xiàn)在加工中心以及測(cè)量?jī)x器等方面，可用作直線位移或者角位移的檢測(cè)。其測(cè)量輸出的信號(hào)為數(shù)字脈沖，具有檢測(cè)范圍大，檢測(cè)精度高，響應(yīng)速度快的特點(diǎn)。

二、光柵尺的分類、構(gòu)造

1)分類：

光柵尺位移傳感器按照制造方法和光學(xué)原理的不同，分為透射光柵和反射光柵。

透射光柵指的玻璃光柵.

反射光柵指的鋼帶光柵

2)結(jié)構(gòu)：

光柵尺位移傳感器是由標(biāo)尺光柵和光柵讀數(shù)頭兩部分組成。標(biāo)尺光柵一般固定在機(jī)床活動(dòng)部件上，光柵讀數(shù)頭裝在機(jī)床固定部件上，指示光柵裝在光柵讀數(shù)頭中。

下圖所示的就是光柵尺位移傳感器的結(jié)構(gòu)。

三、光柵尺的工作原理及應(yīng)用

常見光柵的工作原理都是根據(jù)物理上莫爾條紋的形成原理進(jìn)行工作的。 (關(guān)于莫爾條紋的原理，可參考相關(guān)文獻(xiàn)) 簡(jiǎn)單的說：光讀頭通過檢測(cè)莫爾條紋個(gè)數(shù)，來 讀取 光柵刻度，然后再根據(jù)驅(qū)動(dòng)電路的作用，計(jì)算出光柵尺的位移和速度。相比例如軟件測(cè)量的方式，光柵尺讀數(shù)測(cè)量具有更高的精度。

我司zui近推出的一款DMH0745Scan測(cè)量顯微鏡就是利用光柵尺的工作原理來實(shí)現(xiàn)大尺寸器件在顯微鏡下的精密測(cè)量的。

四、光柵尺的維護(hù)

1)盡可能外加保護(hù)罩，并及時(shí)清理濺落在尺上的切屑和油液，嚴(yán)格防止任何異物進(jìn)入光柵尺傳感器殼體內(nèi)部。

2)定期檢查各安裝聯(lián)接螺釘是否松動(dòng)、定期使用干燥的潔凈布擦拭表。

3)光柵尺位移傳感器嚴(yán)禁劇烈震動(dòng)及摔打、踩踏，以免破壞光柵尺，如光柵尺斷裂，光 柵尺傳感器即失效了。

4) 不要自行拆開光柵尺位移傳感器，更不能任意改動(dòng)主柵尺與副柵尺的相對(duì)間距，否則一方面可能破壞光柵尺傳感器的精度；另一方面還可能造成主柵尺與副柵尺的相對(duì)摩擦，損壞鉻層也就損壞了柵線，以而造成光柵尺報(bào)廢。

5) 應(yīng)注意防止油污及水污染、硬物劃傷光柵尺面，以免破壞光柵尺線條紋分布，引起測(cè)量誤差。

6) 光柵尺位移傳感器應(yīng)盡量避免在有嚴(yán)重腐蝕作用的環(huán)境中工作，以免腐蝕光柵鉻層及光柵尺表面，破壞光柵尺質(zhì)量。

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