JSM-6510掃描電子顯微鏡
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JSM-6510A/ JSM-6510LA分析型掃描電子顯微鏡，與日本電子公司的元素分析儀（EDS），統(tǒng)合于一體。結(jié)構(gòu)緊湊的EDS由顯微鏡主體系統(tǒng)的電腦控制，操作員只用一只鼠標，就可完成從圖像觀測到元素分析的整個過程。

操作窗口

直觀的操作界面的設計，簡明易懂便于迅速掌握操作。

支持多用戶

單個用戶可以根據(jù)常用功能設置相應的圖標，營造快捷的操作環(huán)境。用戶登錄時，即可加載已注冊過的設定。



同時顯示兩幅圖像

畫面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實時圖像?？赏瑫r觀察樣品的形貌和組成分布。

微細結(jié)構(gòu)測量

適合于多種測量功能。可在觀察圖像上直接進行測量。也可將測量結(jié)果貼至SEM圖像，保存在文件中。



標準的全對中樣品臺，能收錄三維照片

3D Sight（選配件），能夠進行平面測量和高度測量，實現(xiàn)立體俯視圖。

從圖像觀察到元素分析，配合連貫一條龍

分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺監(jiān)視器，一臺用于SEM圖像觀察和另一臺用于元素分析（EDS）。一只通用鼠標即可同時控制兩臺監(jiān)視器。大尺寸畫面使操作更加簡便與舒適。





維護簡便

工廠預置中心燈絲，十分便于更換。因此，可長期保持穩(wěn)定的高性能。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護的步驟說明。

可信賴的真空系統(tǒng)

真空系統(tǒng)使用高性能的擴散泵保證了潔凈的高真空狀態(tài)。擴散泵內(nèi)部無活動部件，體現(xiàn)了操作穩(wěn)定，維護簡便的特色。

JSM-6510規(guī)格 保證分辨率 3.0nm（30kV）
8.0nm（3kV）
15nm（1kV）
放大倍數(shù) 5至300,000x
加速電壓 0.5kV至30kV
電子槍 工廠預對中燈絲
聚光鏡 變焦聚光鏡
物鏡 錐形物鏡
樣品臺 全對中樣品臺
X-Y 80mm-40mm
Z 5mm至48mm
旋轉(zhuǎn) 360°
傾斜 －10°至＋90°
排氣系統(tǒng)
（高真空模式） DPx1，RPx1
排氣系統(tǒng)
（低真空模式） DPx1，RPx2