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可選低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。 標(biāo)簽： Horiba流量計(jì)，SEC-Z514，SEC-Z524，數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
Horiba Z514、Z524數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
暢銷型號: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM。
可選低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
SEC-Z514MX、SEC-Z524MGM屬于SEC-500X系列，多種氣體及多種流量范圍數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
高性能高端數(shù)字式質(zhì)量流量控制器
主要特性
1) 多種氣體及多種流量范圍, 可以自由地指定氣體類型及更改滿量程流量, 現(xiàn)場設(shè)定;
2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速響應(yīng)： 1秒 (全量程范圍內(nèi)，任意設(shè)置點(diǎn));
4) 非常方便的現(xiàn)場設(shè)置操作;
5) 多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質(zhì)量流量控制器，可以最大限度地減少庫存;
6) 與現(xiàn)有模擬式質(zhì)量流量控制器完全兼容;
7) 模擬通信與數(shù)字通信(DeviceNet)可同時進(jìn)行;
氣體接觸部件材料：SUS 316L不銹鋼(1sccm ~ 50slpm F.S. 類型)；
SUS 316L不銹鋼，Viton(氟化橡膠-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不銹鋼(100 ~ 200slpm F.S. 類型)
滿量程流量
SEC-Z512KX: 1/2sccm
SEC-Z512X: 10sccm ~ 10slpm
SEC-Z522X: 22slpm ~ 50slpm
SEC-Z532KVX: 100slpm
SEC-Z542KVX: 200slpm
特點(diǎn)
質(zhì)量穩(wěn)定性
HORIBA STEC. 工業(yè)領(lǐng)先商優(yōu)質(zhì)的穩(wěn)定性
HORIBA STEC， 是一個全世界設(shè)備制造商的歡呼品牌，其中一個體現(xiàn)就是HORIBA STEC不斷供應(yīng)高質(zhì)量，高穩(wěn)定性產(chǎn)品來滿足高規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)。
可靠供應(yīng)
HORIBA STEC 通過三個主要基地為客戶迅速可靠供應(yīng)設(shè)備：
Kyoto，作為HORIBA STEC的總部；
Aso，HORIBA集團(tuán)的主要制造工廠，以生產(chǎn)最新設(shè)備為特色；
以及兩個位于美國（CA，TX）基地，作為超快供應(yīng)商。
全球支持
全球網(wǎng)絡(luò)機(jī)構(gòu)值得信賴的支持系統(tǒng)
通過全世界的網(wǎng)絡(luò)分支機(jī)構(gòu)，HORIBA STEC的技術(shù)工程師為所有HORIBA STEC產(chǎn)品提供完全支持。
RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
符合所有RoHS 規(guī)定
規(guī)格-數(shù)字-模擬轉(zhuǎn)換模式
型號*1
SEC-Z512、Z514
SEC-Z512MGX
SEC-Z522MGXN
SEC-Z522MGX
SEC-Z514MGX
SEC-Z524MGXN
SEC-Z524MGX
全標(biāo)準(zhǔn)流量
(N2 轉(zhuǎn)換流量)
1/2SCCM
10SCCM-10SLPM
10-50SLM
閥門類型
O: 通常打開 C: 通常關(guān)閉
完全關(guān)閉控制閥時的流量
≤ 2% F.S.
流量測量范圍
0-100% of F.S.
精確性*2
±1.0%F.S.
±1.0%S.P.(流量 25%F.S.)
±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)
工作溫度
5 -50°C (建議溫度范圍: 15 -45°C)
響應(yīng)
≤ 1 秒:超過全流量范圍
直線性
≤ ±0.5% F.S.
反復(fù)性
≤ ±0.2% F.S.
工作壓差值
≤ 300 kPa (d)
最大工作壓力
450 kPa (g)
耐壓
1000 kPa (g)
外部泄漏率
≤ 5 x 10-12 Pa·m3/s (He)
流量設(shè)定信號
0.1 - 5 V DC (2% - F.S.); 輸入阻抗 1 MΩ 或更高
流量輸出信號
0 -5 V DC (0% - F.S.); 最小負(fù)荷阻力 2 kΩ 或更高
數(shù)字界面
地址功能: RS-485 (轉(zhuǎn)換速度 38,400 bps)
F-Net 協(xié)議,DevceNet
接液部材質(zhì)
316L 不銹鋼(表面拋光)
電源
+15V±5% 150mA
-15V±5% 150mA
信號反應(yīng)
模擬: D-Sub 9-pin (TOP)
數(shù)字: 2 LAN jacks (TOP)
標(biāo)準(zhǔn)接頭*3
1/4 inch VCR
1/4 inch VCR
1.5 inch IGS
選擇: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS
可選1.125 inch IGS
安裝方向
自由
*1SEC(SEF)-Z512MGX, Z522MGX, 和 Z522MGXN氣體類型以及全范圍設(shè)定由操作者運(yùn)用特殊軟件改變。
*2流量精度保證溫度符合 SEMI E56-1296 標(biāo)準(zhǔn)。精度是聯(lián)合全范圍MR以及MG數(shù)字值。
*3IGS: 完整氣體系統(tǒng)
*SCCM 和 SLM 是表示氣體流量的記號。 (mL/min, L/min, at 0°C和101.3 kPa)
本公司同時提供美國AALBORG、美國Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字式質(zhì)量流量控制器、耐腐蝕質(zhì)量流量控制器
暢銷型號: SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM。
可選低成本數(shù)字型：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。
可選低成本模擬型：SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。
