Horiba微小液體質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器LF-F/LV-F系列
搭載有世界上首次采用了冷卻檢測方式的流量傳感器
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Horiba 微小液體質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器

LV-F20，LV-F30，LV-F40

概要

Horiba微小液體質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器LF-F/LV-F系列

搭載有世界上首次采用了冷卻檢測方式的流量傳感器

特征

通過采用數(shù)字回路，實現(xiàn)了高精度?高速響應(yīng)。

可以進行微升以上的微小流量控制。

可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。

超潔凈類型

選型要求：按以下規(guī)格確認型號，并請?zhí)峁﹨?shù)：介質(zhì)名稱、量程、接口尺寸。

規(guī)格 

名稱

質(zhì)量流量控制器

型號

LV-F20 (PO/MO)

LV-F30 (PO/MO)

LV-F40 (PO/MO)

LV-F50 (PO/MO)

LV-F60 (PO/MO)

全標(biāo)度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

檢測控制范圍

5?100% F.S.

對象液體種類*1

可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

液體粘度*2

最大值. 0.01 Pa·s (10cp)

精度*3

±1% F.S.

直線性*3

±0.5% F.S.

重復(fù)性*3

±0.5% F.S.

響應(yīng)精度

3秒以內(nèi)(T98)

2秒以內(nèi)(T98)

使用環(huán)境溫度*4

5?50℃(15?45℃精度的確保)

溫度影響Span

±0.1%F.S./℃ 最大值±1%

工作差壓值*5

0.05?0.3MPa

耐壓

1MPa

壓力損失

ー

流量設(shè)定信號

模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)

流量輸出信號

模擬：0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)

驅(qū)動電源

+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%,   200 mA

外部泄漏規(guī)格

PO類型：1×10-8Pa?m3/s (He)   MO類型：5×10-12Pa?m3/s (He)

接液部材質(zhì)

PO類型：SUS316L，Ni，PTFE，PFA MO類型：SUS316L，Ni

標(biāo)準接頭

1/16”，1/8”卡套；

1/8”VCR

1/8”SWL類型，1/8”VCR類型

1/4”SWL類型1/4”VCR類型

 

名稱

質(zhì)量流量計

型號

LF-F20M-A

LF-F30M-A

LF-F40M-A

LF-F50M-A

LF-F60M-A

全標(biāo)度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

檢測控制范圍

5?100% F.S.

對象液體種類*1

可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

液體粘度*2

最大值. 0.1 Pa·s   (100cp)

精度*3

±1% F.S.

直線性*3

±0.5% F.S.

重復(fù)性*3

±0.5% F.S.

響應(yīng)精度

3秒以內(nèi)(T98)

2秒以內(nèi)(T98)

使用環(huán)境溫度*4

5?50℃(15?45℃精度的確保)

溫度影響Span

±0.1%F.S./℃ 最大值±1%

工作差壓值值*5

最大值. 5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo控制閥)

耐壓

10MPa (視為流量計)

壓力損失

最大值. 500Pa

流量設(shè)定信號

模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)

流量輸出信號

模擬：0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議)

驅(qū)動電源

+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏規(guī)格

5×10-12Pa·m3/s   (He)

接液部材質(zhì)

SUS316L, Ni

標(biāo)準接頭

1/16”，1/8”SWL類型，1/8”VCR類型

1/8”SWL類型，1/8”VCR類型

1/4”SWL類型1/4”VCR類型

*1：LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進行了流量校正(請預(yù)先指定所使用 的液體。)
?不能檢測含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會發(fā)生變化時，請預(yù)先進行咨詢協(xié)商。
?LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時，請在一次端(入口端)安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2：LF-F類型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程，可以適用到 最大值，0.1Pa?s。有關(guān)高粘度的液體請預(yù)先進行咨詢協(xié)商。
*3： 以SEMI E56-1296為準。
*4： 進行測量?控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時，使用時請把溫差控制在10℃以 內(nèi)；如果高于液體溫度時，使用時請把溫差控制在3℃以內(nèi)。
*5：這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。

 

產(chǎn)品優(yōu)勢 Horiba 微小液體質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器
LV-F20，LV-F30，LV-F40
概要
Horiba微小液體質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器LF-F/LV-F系列
搭載有世界上首次采用了冷卻檢測方式的流量傳感器
特征
通過采用數(shù)字回路，實現(xiàn)了高精度?高速響應(yīng)。
可以進行微升以上的微小流量控制。
可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。
超潔凈類型