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Horiba 微小液體質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器 LF

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-08-31  來源:儀器信息網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):949
核心提示:Horiba微小液體質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器LF-F/LV-F系列搭載有世界上首次采用了冷卻檢測方式的流量傳感器...[查看全部] Horiba 微小液體質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器LV-F20,LV-F30,LV-F40概要Horiba微小液體質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器LF-F/LV-F系列搭載有世界上首次采用了冷卻檢測方式的流量傳感器特征通過采用數(shù)字回路,實現(xiàn)了高精度?高速響應(yīng)??梢赃M行微升以上的微小流量控制??梢赃M行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。超潔凈類型選型要求:按以下規(guī)格確認型號
Horiba微小液體質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器LF-F/LV-F系列
搭載有世界上首次采用了冷卻檢測方式的流量傳感器
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Horiba 微小液體質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器

LV-F20,LV-F30,LV-F40

概要

Horiba微小液體質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器LF-F/LV-F系列

搭載有世界上首次采用了冷卻檢測方式的流量傳感器

特征

通過采用數(shù)字回路,實現(xiàn)了高精度?高速響應(yīng)。

可以進行微升以上的微小流量控制。

可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。

超潔凈類型

選型要求:按以下規(guī)格確認型號,并請?zhí)峁﹨?shù):介質(zhì)名稱、量程、接口尺寸。

規(guī)格 

名稱

質(zhì)量流量控制器

型號

LV-F20 (PO/MO)

LV-F30 (PO/MO)

LV-F40 (PO/MO)

LV-F50 (PO/MO)

LV-F60 (PO/MO)

全標(biāo)度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

檢測控制范圍

5?100% F.S.

對象液體種類*1

可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

液體粘度*2

最大值. 0.01 Pa·s (10cp)

精度*3

±1% F.S.

直線性*3

±0.5% F.S.

重復(fù)性*3

±0.5% F.S.

響應(yīng)精度

3秒以內(nèi)(T98)

2秒以內(nèi)(T98)

使用環(huán)境溫度*4

5?50℃(15?45℃精度的確保)

溫度影響Span

±0.1%F.S./℃ 最大值±1%

工作差壓值*5

0.05?0.3MPa

耐壓

1MPa

壓力損失

流量設(shè)定信號

模擬:0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)

流量輸出信號

模擬:0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ)數(shù)字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)

驅(qū)動電源

+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%,   200 mA

外部泄漏規(guī)格

PO類型:1×10-8Pa?m3/s (He)   MO類型:5×10-12Pa?m3/s (He)

接液部材質(zhì)

PO類型:SUS316L,Ni,PTFE,PFA MO類型:SUS316L,Ni

標(biāo)準接頭

1/16”,1/8”卡套;

1/8”VCR

1/8”SWL類型,1/8”VCR類型

1/4”SWL類型1/4”VCR類型

 

名稱

質(zhì)量流量計

型號

LF-F20M-A

LF-F30M-A

LF-F40M-A

LF-F50M-A

LF-F60M-A

全標(biāo)度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

檢測控制范圍

5?100% F.S.

對象液體種類*1

可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。

液體粘度*2

最大值. 0.1 Pa·s   (100cp)

精度*3

±1% F.S.

直線性*3

±0.5% F.S.

重復(fù)性*3

±0.5% F.S.

響應(yīng)精度

3秒以內(nèi)(T98)

2秒以內(nèi)(T98)

使用環(huán)境溫度*4

5?50℃(15?45℃精度的確保)

溫度影響Span

±0.1%F.S./℃ 最大值±1%

工作差壓值值*5

最大值. 5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo控制閥)

耐壓

10MPa (視為流量計)

壓力損失

最大值. 500Pa

流量設(shè)定信號

模擬:0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)

流量輸出信號

模擬:0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ)數(shù)字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)

驅(qū)動電源

+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏規(guī)格

5×10-12Pa·m3/s   (He)

接液部材質(zhì)

SUS316L, Ni

標(biāo)準接頭

1/16”,1/8”SWL類型,1/8”VCR類型

1/8”SWL類型,1/8”VCR類型

1/4”SWL類型1/4”VCR類型

*1:LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進行了流量校正(請預(yù)先指定所使用 的液體。)
?不能檢測含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會發(fā)生變化時,請預(yù)先進行咨詢協(xié)商。
?LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時,請在一次端(入口端)安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2:LF-F類型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程,可以適用到 最大值,0.1Pa?s。有關(guān)高粘度的液體請預(yù)先進行咨詢協(xié)商。
*3: 以SEMI E56-1296為準。
*4: 進行測量?控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時,使用時請把溫差控制在10℃以 內(nèi);如果高于液體溫度時,使用時請把溫差控制在3℃以內(nèi)。
*5:這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。

 


產(chǎn)品優(yōu)勢 Horiba 微小液體質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器
LV-F20,LV-F30,LV-F40
概要
Horiba微小液體質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器LF-F/LV-F系列
搭載有世界上首次采用了冷卻檢測方式的流量傳感器
特征
通過采用數(shù)字回路,實現(xiàn)了高精度?高速響應(yīng)。
可以進行微升以上的微小流量控制。
可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。
超潔凈類型
 
關(guān)鍵詞: 液體 流量 類型 質(zhì)量 最大值
 
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