搭載有世界上首次采用了冷卻檢測方式的流量傳感器
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Horiba 微小液體質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器
LV-F20,LV-F30,LV-F40
概要Horiba微小液體質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器LF-F/LV-F系列
搭載有世界上首次采用了冷卻檢測方式的流量傳感器
特征通過采用數(shù)字回路,實現(xiàn)了高精度?高速響應(yīng)。
可以進行微升以上的微小流量控制。
可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。
超潔凈類型
選型要求:按以下規(guī)格確認型號,并請?zhí)峁﹨?shù):介質(zhì)名稱、量程、接口尺寸。
規(guī)格名稱
質(zhì)量流量控制器
型號
LV-F20 (PO/MO)
LV-F30 (PO/MO)
LV-F40 (PO/MO)
LV-F50 (PO/MO)
LV-F60 (PO/MO)
全標(biāo)度流量(g/min)
0.02/0.05/0.1
0.2/0.5
1/2/5
10/20
50/100
檢測控制范圍
5?100% F.S.
對象液體種類*1
可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
液體粘度*2
最大值. 0.01 Pa·s (10cp)
精度*3
±1% F.S.
直線性*3
±0.5% F.S.
重復(fù)性*3
±0.5% F.S.
響應(yīng)精度
3秒以內(nèi)(T98)
2秒以內(nèi)(T98)
使用環(huán)境溫度*4
5?50℃(15?45℃精度的確保)
溫度影響Span
±0.1%F.S./℃ 最大值±1%
工作差壓值*5
0.05?0.3MPa
耐壓
1MPa
壓力損失
ー
流量設(shè)定信號
模擬:0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)
流量輸出信號
模擬:0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ)數(shù)字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)
驅(qū)動電源
+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏規(guī)格
PO類型:1×10-8Pa?m3/s (He) MO類型:5×10-12Pa?m3/s (He)
接液部材質(zhì)
PO類型:SUS316L,Ni,PTFE,PFA MO類型:SUS316L,Ni
標(biāo)準接頭
1/16”,1/8”卡套;
1/8”VCR
1/8”SWL類型,1/8”VCR類型
1/4”SWL類型1/4”VCR類型
名稱
質(zhì)量流量計
型號
LF-F20M-A
LF-F30M-A
LF-F40M-A
LF-F50M-A
LF-F60M-A
全標(biāo)度流量(g/min)
0.02/0.05/0.1
0.2/0.5
1/2/5
10/20
50/100
檢測控制范圍
5?100% F.S.
對象液體種類*1
可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。
液體粘度*2
最大值. 0.1 Pa·s (100cp)
精度*3
±1% F.S.
直線性*3
±0.5% F.S.
重復(fù)性*3
±0.5% F.S.
響應(yīng)精度
3秒以內(nèi)(T98)
2秒以內(nèi)(T98)
使用環(huán)境溫度*4
5?50℃(15?45℃精度的確保)
溫度影響Span
±0.1%F.S./℃ 最大值±1%
工作差壓值值*5
最大值. 5MPa (視為流量計) / 50?300kPa (with piezo控制閥)
耐壓
10MPa (視為流量計)
壓力損失
最大值. 500Pa
流量設(shè)定信號
模擬:0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)
流量輸出信號
模擬:0?5 VDC(最小負荷電阻2kΩ)數(shù)字式:RS485(F-Net通信協(xié)議)
驅(qū)動電源
+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA
外部泄漏規(guī)格
5×10-12Pa·m3/s (He)
接液部材質(zhì)
SUS316L, Ni
標(biāo)準接頭
1/16”,1/8”SWL類型,1/8”VCR類型
1/8”SWL類型,1/8”VCR類型
1/4”SWL類型1/4”VCR類型
*1:LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進行了流量校正(請預(yù)先指定所使用 的液體。)
?不能檢測含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會發(fā)生變化時,請預(yù)先進行咨詢協(xié)商。
?LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時,請在一次端(入口端)安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2:LF-F類型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程,可以適用到 最大值,0.1Pa?s。有關(guān)高粘度的液體請預(yù)先進行咨詢協(xié)商。
*3: 以SEMI E56-1296為準。
*4: 進行測量?控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時,使用時請把溫差控制在10℃以 內(nèi);如果高于液體溫度時,使用時請把溫差控制在3℃以內(nèi)。
*5:這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。
LV-F20,LV-F30,LV-F40
概要
Horiba微小液體質(zhì)量流量計/質(zhì)量流量控制器LF-F/LV-F系列
搭載有世界上首次采用了冷卻檢測方式的流量傳感器
特征
通過采用數(shù)字回路,實現(xiàn)了高精度?高速響應(yīng)。
可以進行微升以上的微小流量控制。
可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精密流體控制。
超潔凈類型