美國Rtec公司的WLI非接觸式光學(xué)輪廓儀測量系統(tǒng)沿著縱軸捕獲一系列位置的光強(qiáng)數(shù)據(jù)。通過白光干涉圖的形狀，干涉圖的局部相位或者是二者的結(jié)合來確定表面位置。本公司還有激光共焦，白光共焦，拉曼光譜儀等，可以把這些設(shè)備自由組合在一起，以實(shí)現(xiàn)客戶的不同需求
WLI有如下特點(diǎn)
快速直觀的操作
較高的計(jì)算程序，精確的高測量速度和簡便的操作軟件，使用戶能夠快速的分析和創(chuàng)建報(bào)告
多個(gè)物鏡
該WLI-1000 帶有6物鏡轉(zhuǎn)輪，包括多個(gè)物鏡：長焦，短焦，不同數(shù)值孔徑，投射鏡頭等
電子器件
先進(jìn)的控制器，低機(jī)械噪聲，自校準(zhǔn)系統(tǒng)，可選波長，64位并行處理器，標(biāo)準(zhǔn)分辨率達(dá)到1920*1920
硬件
WLI-1000能夠被固定到全自動(dòng)化的平臺(tái)，高強(qiáng)度LED10年保修，高級(jí)精加工零部件，低能耗，遠(yuǎn)程訪問，內(nèi)置相機(jī)側(cè)視圖，有效照明等。
軟件
三維虛擬軟件
影像分析
多種標(biāo)準(zhǔn)，粗糙，平面，波浪以及其他表面參數(shù)
微粒（粒子）和細(xì)孔分析
力曲線分析
附帶傅里葉分析
過濾
用戶界面報(bào)告的創(chuàng)建和編輯
影像編輯特征-光，顏色等
尺寸，表面積，體積，承載比分析
紋理計(jì)算，分類，其他紋理分析
光譜和分形分析
先進(jìn)的統(tǒng)計(jì)分析
能夠輸出原始數(shù)據(jù)，影像，全部報(bào)告
數(shù)個(gè)可用的附加功能
參數(shù)：
內(nèi)校準(zhǔn)
4百萬像素
可選波長
高強(qiáng)度長壽命LED
1920*1920成像
64位中央處理器
低機(jī)械噪聲
并行處理
6物鏡轉(zhuǎn)輪
技術(shù)規(guī)格

Vertical Resolution
垂直分辨率 0.1nm
0.1nm Turret
upto 6 objective turret (manual or automatic)
6鏡頭轉(zhuǎn)輪（自動(dòng)或手動(dòng)） Scan Range
掃描范圍 Up to 150mm x 150mm
最高達(dá)150mmx150mm Sample thickness
試樣厚度 upto 100mm
最高達(dá)100mm FOV
upto 10mm
最高達(dá)10mm Objectives
10x,50x
10倍，50倍 Z focussing range
Z軸方向聚焦范圍 nm to 10mm
0.1nm到10mm Scanning area
掃描區(qū)域 150x150mm
150x150mm Tilt
傾斜角 +/- 7 degree
+/-7度 Rotation (theta)
平臺(tái)旋轉(zhuǎn)范圍 360 Degree
360度 Pixel
Standard 1024 x 1024
標(biāo)準(zhǔn)1024x1024 產(chǎn)品優(yōu)勢