位移臺是用電控制的可移動(dòng)平臺，通常由絲杠、導(dǎo)軌、底面、臺面、電機(jī)、聯(lián)軸器等部件組成。位移臺滾珠絲杠與螺母之間通過鋼珠形成滾動(dòng)摩擦，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，傳動(dòng)效率高，易實(shí)現(xiàn)高速運(yùn)行，并且可以改變鋼珠直徑或采用雙螺母有效解決軸向間隙。導(dǎo)軌的選擇是電控平移臺的運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)性和承載大小的決定性因素。位移臺的機(jī)體精度和抗環(huán)境影像能力受機(jī)體材質(zhì)和加工質(zhì)量的影響最大。 精品推薦
品牌： 上海孚光精儀 型號： nanostage 產(chǎn)地：美國 供應(yīng)商：孚光精儀（香港）有限公司

納米平移臺,納米位移臺,納米定位臺是孚光精儀提供的美國進(jìn)口高精度低價(jià)格系列納米平移臺，采用了陶瓷伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，非常適合要求精度達(dá)到納米或壓納米的高精度和高重復(fù)精度的應(yīng)用，例如：精密生命科學(xué)儀器、顯微成像、納米準(zhǔn)直、微納加工、光學(xué)精確定位等。X-TRIM系列納米平移臺是納米精度系列位移臺的一種，它采用先進(jìn)技術(shù)設(shè)計(jì), 具有單軸或精密的雙軸配置兩種選擇, 它是一種小巧而高速高精度定位平臺.l 10nm分辨率非接觸線性編碼系統(tǒng)l 雙驅(qū)動(dòng)任選:線性司服或壓低驅(qū)動(dòng)l 高密度滾珠傳導(dǎo)增加穩(wěn)定性 l 超緊湊的單軸或雙軸位移臺l 緊湊型封裝 X-TRIM 系列納米平移臺特色X-TRIM納米平移臺采用直接驅(qū)動(dòng)線性電機(jī),驅(qū)動(dòng)軸位于位移臺的中心線, 這種設(shè)計(jì)消除了非中心驅(qū)動(dòng)導(dǎo)致的偏航等問題.X-TRIM納米平移臺集成了一個(gè)高分辨率(12.5nm)非接觸式線性編碼器,它為封閉環(huán)形的伺服系統(tǒng)工作操作提供了精密反饋, 它的標(biāo)準(zhǔn)配置就可以提供納米精度的定位.X-TRIM納米平移臺非常適合OEM使用,它是一個(gè)模塊化的納米平移臺,簡單連接就可納米精度定位,它非常適合高真空環(huán)境和非磁性定位系統(tǒng)應(yīng)用.納米平移臺參數(shù)行程(mm): 25和50mm(單周或雙軸)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng): 非鐵性線性電機(jī)或陶瓷伺服電機(jī)最大加速度: 由負(fù)載決定最大速度: 200mm/s (無負(fù)載時(shí))最大推力: 24N 最大負(fù)載: 2Kg精度: +/-1uu/25mmZ軸行程： 10mm或40mmTTL分辨率: 1-100nm/脈沖構(gòu)造材料: 鋁合金主體, 灰色氧化鍍膜重復(fù)精度: 5倍精度

說明： ● NFPA-x461/x462系列產(chǎn)品是卓立漢光在NFP-x461/x462的基礎(chǔ)上，將分厘卡換裝為推桿電機(jī)后，推出的小型、超高精密電動(dòng)平移臺 ● 換裝推桿電機(jī)后可提供更高的分辨率，理論分辨率（32細(xì)分時(shí)）可達(dá)0.01微米，受測試條件限制，目前卓立（使用激光干涉儀）實(shí)測分辨率小于0.1微米 ● NFPA增加前、后雙光電限位，保證使用安全 ● 我們推出-C（水平使用）和-CZ（豎直使用）型。該系列產(chǎn)品總共為八款： NFPA-1461C、NFPA-1461CZ、NFPA-2461CC、NFPA-3461CCZ NFPA-1462C、NFPA-1462CZ、NFPA-2462CC、NFPA-3462CCZ
推桿電機(jī)（Linear Actuator）： 又稱電動(dòng)推桿、電動(dòng)缸及線性致動(dòng)器。電動(dòng)推桿是一種將電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)變?yōu)橥茥U的直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)的電力驅(qū)動(dòng)裝置。電動(dòng)機(jī)帶動(dòng)一對絲桿螺母，把電機(jī)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)變成直線運(yùn)動(dòng)，利用電動(dòng)機(jī)正反轉(zhuǎn)完成推桿動(dòng)作。 卓立漢光使用推桿電機(jī)的產(chǎn)品主要用在小尺寸、需要高分辨率的領(lǐng)域。所采用的推桿電機(jī)為絲桿式直流步進(jìn)電機(jī)，也稱為：線性步進(jìn)電機(jī)，或者稱為直線步進(jìn)電機(jī)。 關(guān)于手動(dòng)位移臺安裝推桿電機(jī)提高分辨率的說明： 理論上來說，手動(dòng)位移臺安裝推桿電機(jī)均可以提高分辨率，但我們在實(shí)際使用和測試時(shí)發(fā)現(xiàn)，如果手動(dòng)位移臺本身的精度（包括靈敏度、復(fù)位精度、直線度、平行度等）不高，那么安裝推桿電機(jī)意義不是很大，俗話說“好馬配好鞍”就是這個(gè)道理。我們優(yōu)選了NFP 系列超高精密型手動(dòng)位移臺作為安裝推桿電機(jī)的位移臺主體，這樣才能將NFP 系列產(chǎn)品的優(yōu)異性能充分發(fā)揮出來。NFP 系列產(chǎn)品使用推桿電機(jī)后，經(jīng)過測試，大幅提高了NFP 產(chǎn)品的分辨率，卓立( 使用激光干涉儀) 可測試的最小有效分辨率為0.1μm，在此最小分辨率下，我們所有的測試都達(dá)標(biāo)，所以我們的“實(shí)測分辨率”指標(biāo)按照0.1μm 標(biāo)稱，更高的精度需要進(jìn)一步驗(yàn)證或請您協(xié)助挖掘！ 選型表一
說明： ● NFP-2462是將單維的NFP-1462組合成XY二維的超高精密手動(dòng)平移臺，標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品共3款，您也可以采購單維產(chǎn)品后，自行組合。 ● NFP-3462是在NFP-2462基礎(chǔ)上，安裝了Z軸，組合成XYZ三維的超高精密手動(dòng)平移臺，標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品共3款，您也可以采購單維產(chǎn)品后，自行組合。
RoS 系列工業(yè)機(jī)械手( 機(jī)器人)，是絲杠導(dǎo)軌方式的單軸工業(yè)機(jī)器人( 電動(dòng)平移臺)，由于應(yīng)用范圍多種多樣，我們提供了很多類產(chǎn)品，為了您選型方便，對型號說明如下：
說明： RoS 系列工業(yè)機(jī)械手，采用滾柱絲杠配合線性滑塊導(dǎo)軌( 方導(dǎo)軌，單導(dǎo)軌，單或雙滑塊)，重量輕、體積小、性價(jià)比高，是卓立漢光新推出的系列產(chǎn)品，主要應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域。
說明： LM-TE 系列采用進(jìn)口無鐵芯直線電機(jī)，高精密線性滑塊導(dǎo)軌，配合卓立漢光精密磨削工藝，可以提供高速度、高負(fù)載、高精度的電動(dòng)平移臺解決方案。 LMA-TE 直線電機(jī)平移臺自帶霍爾元件作為極限開關(guān)，雙向限位緩沖器，帶拖鏈，可以選裝不同類型和精度的光柵尺，詳情請聯(lián)系我們。
說明： ●LMA-TR 系列采用國產(chǎn)直流永磁同步直線電機(jī)，為無鐵心U 型槽式結(jié)構(gòu)，進(jìn)口精密級線性滑塊導(dǎo)軌，配合卓立漢光精密磨削工藝，可以提供高速度、高負(fù)載、高精度的電動(dòng)平移臺解決方案。LMA-TR 直線電機(jī)平移臺自帶霍爾元件作為極限開關(guān)，雙向限位緩沖器，帶拖鏈，可以選裝不同類型和精度等級的光柵尺，詳情請聯(lián)系我們。
說明： TMC 全功能運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，能驅(qū)動(dòng)幾乎各種電機(jī)，并能夠?qū)崿F(xiàn)閉環(huán)、同步運(yùn)動(dòng)、直線插補(bǔ)、圓弧插補(bǔ)等多種運(yùn)動(dòng)功能。TMC 產(chǎn)品包括主控箱和驅(qū)動(dòng)器模組兩部分，主控箱又包含：機(jī)柜、工控機(jī)、運(yùn)動(dòng)控制卡等幾部分。驅(qū)動(dòng)器模組包含各種電機(jī)對應(yīng)的驅(qū)動(dòng)器。
驅(qū)動(dòng)器模組(Drive-Box)： 每一張運(yùn)動(dòng)控制卡原則上控制同一種電機(jī)，該運(yùn)動(dòng)控制卡，將接線到一個(gè)驅(qū)動(dòng)器的模組上，驅(qū)動(dòng)器模組的編碼原則為： 型號：DBx-xxxx 第一個(gè)x代表同一種電機(jī)的驅(qū)動(dòng)模塊數(shù)目 第二個(gè)xxxx代表電機(jī)代碼(種類)，電機(jī)種類不同時(shí)，原則上代碼不進(jìn)行混搭，代碼包括： S235 ：代表2 相35 步進(jìn)電機(jī) S242 ：代表2 相42 步進(jìn)電機(jī) S257 ：代表2 相57 步進(jìn)電機(jī) S357 ：代表3 相57 步進(jìn)電機(jī) S5xx ：代表5 相步進(jìn)電機(jī)，xx 待定 ASP1 ：代表交流伺服電機(jī)，松下100W ASP2 ：代表交流伺服電機(jī)，松下200W ASY1 ：代表交流伺服電機(jī)，安川(yaskawa)100W，等等 DSxx: 代表直流伺服，xx 待定 LTRx ：代表TR 型直線電機(jī)，x 待定 LTEx: 代表TE 型直線電機(jī)，x 待定 LDDx ：代表直驅(qū)電機(jī)(DD 馬達(dá))，x 待定 特別說明：上述代碼中，有部分驅(qū)動(dòng)器可以通用(如：2相57電機(jī)驅(qū)動(dòng)器可以向下兼容42電機(jī)、TR/TE型直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)器同DD驅(qū)動(dòng)器相同)，但驅(qū)動(dòng)器設(shè)置可能不同，建議在出貨前確認(rèn)所配套的電機(jī)型號。
驅(qū)動(dòng)器模組：DB4-S357、DB2-S5xx 含義：總共需要控制6軸，采用中型機(jī)柜，含2張運(yùn)動(dòng)控制卡： 一張為2軸運(yùn)動(dòng)控制卡，一張為4軸運(yùn)動(dòng)控制卡。共需配4個(gè)3相 步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器，2個(gè)5相步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)器。 選型舉例二： 主控箱：TMC-M7-D2 驅(qū)動(dòng)器模組：DB4-S357、DB3-S357 含義：總共需要控制7軸，采用中型機(jī)柜，含2張4軸運(yùn)動(dòng)控制 卡。共需配7個(gè)3相步進(jìn)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)器。 由于各軸的電機(jī)相同，若想用1張8軸的運(yùn)動(dòng)控制卡，上述方案 可以變更為： 主控箱：TMC-M7-H1 驅(qū)動(dòng)器模組：DB7-S357
某客戶選用18軸運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，其中5軸為客戶自己的安川 200W交流伺服電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器，其它13軸分別為： ● 5軸2相42步進(jìn)電機(jī) ● 1軸2相57步進(jìn)電機(jī)(注：驅(qū)動(dòng)器兼容42電機(jī)) ● 1軸3相57步進(jìn)電機(jī) ● 2軸國產(chǎn)直線電機(jī)(注：驅(qū)動(dòng)器兼容DD馬達(dá)) ● 2軸交流伺服松下100W ● 2軸DDR旋轉(zhuǎn)臺 而且客戶要求： ● 直線電機(jī)(2軸)和DD馬達(dá)(2軸)要做同步和直線、圓弧插 ● 5軸2相42步進(jìn)電機(jī)和1軸2相57步進(jìn)電機(jī)也要做同步和直 線、圓弧插補(bǔ)。 根據(jù)該客戶的要求，我們確定配置和型號： 第一步，我們先來看驅(qū)動(dòng)器模組的構(gòu)成： 1. DB5-ASY2C0，5代表5軸，ASY2為安川交流伺服200W， C0代表客戶自己提供，卓立不用提供驅(qū)動(dòng)器，但需要將配線 預(yù)留好，以便客戶收到TMC后接線后就能正常使用 2. DB5-S242，5軸2相42步進(jìn)電機(jī) 3. DB1-S257，1軸2相57步進(jìn)電機(jī) 4. DB1-S357，1軸3相57步進(jìn)電機(jī) 5. DB2-LTR1，2軸國產(chǎn)直線電機(jī) 6. DB2-ASP1，2軸松下100W交流伺服 7. DB2-DDR1，2軸DD馬達(dá) 第二步，選擇運(yùn)動(dòng)控制卡： 原本簡單的方案是選擇7張運(yùn)動(dòng)控制卡，但是可能存在幾個(gè)問 ● 工控機(jī)中沒有足夠多的插槽。 ● 客戶有需要同步或插補(bǔ)運(yùn)動(dòng)的電機(jī)，最好放在一張運(yùn)動(dòng)控 制卡上。
● 第2項(xiàng)(5軸)和第3項(xiàng)(1軸)可以共用一張8軸的運(yùn)動(dòng)控制卡。 ● 第5項(xiàng)(2軸)和第7項(xiàng)(2軸)也可以共用一張4軸的運(yùn)動(dòng)控制卡。 所以，我們可選擇共5張運(yùn)動(dòng)控制卡的方式： ● 2張8軸(客戶的5軸伺服電機(jī)一張，6軸二相步進(jìn)電機(jī)一張) ● 2張2軸運(yùn)動(dòng)控制卡(3相步進(jìn)、交流伺服) ● 1張4軸運(yùn)動(dòng)控制卡(直線電機(jī)及DD馬達(dá)) 最終，我們推薦的型號為： 主控箱：TMC-D18C5-B2D1H2-xxx(客戶代碼) 驅(qū)動(dòng)器模組： 1. DB5-ASY2C0，5軸客戶自行提供電機(jī)和驅(qū)動(dòng)器，安川 交流伺服200W電機(jī)，需要配好線。 2. DB5-S242，5軸2相42步進(jìn)電機(jī) 3. DB1-S257，1軸2相57步進(jìn)電機(jī) 4. DB1-S357，1軸3相57步進(jìn)電機(jī) 5. DB2-LTR1，2軸國產(chǎn)直線電機(jī) 6. DB2-ASP1，2軸松下100W交流伺服 7. DB2-DDR1，2軸DD馬達(dá)
基本運(yùn)動(dòng)控制界面： 用戶可以選擇所要控制的運(yùn)動(dòng)控制卡（最多8 張卡），也可以選擇所要控制的電機(jī)軸（每張卡最多8 個(gè)軸），支持同時(shí)選擇多個(gè)電機(jī)軸，同時(shí)對多個(gè)電機(jī)軸進(jìn)行控制。基本運(yùn)動(dòng)包括定長運(yùn)動(dòng)、連續(xù)運(yùn)動(dòng)、絕對位置運(yùn)動(dòng)。插補(bǔ)運(yùn)動(dòng)包括兩軸直線插補(bǔ)、三軸直線插補(bǔ)、圓弧插補(bǔ)。
設(shè)置界面： 設(shè)置界面方便直觀。用戶直接選擇電移臺的型號，就可以導(dǎo)入該款電移臺的基本參數(shù)。除速度可能需要用戶根據(jù)實(shí)際需要設(shè)置以外，其它參數(shù)基本不需要設(shè)置。
運(yùn)行方案控制界面： 運(yùn)行方案控制用于需要進(jìn)行復(fù)雜的組合指令流程控制。用戶無需記住相關(guān)的控制指令，可以直接從菜單中選擇所需要的指令，插入方案即可。支持條件、循環(huán)、等待、延時(shí)等流程控制指令，C 語言控制風(fēng)格，支持流程指令的嵌套。最多支持同時(shí)運(yùn)行四個(gè)方案，并行處理，互不干涉?？梢詽M足各種復(fù)雜的控制需要。
◆研究室用，在國內(nèi)首次安裝了水平隔振器具，提高了水平/垂直全方位的隔振性能。 ◆采用三聚氰胺上板(Top Cover)，具有與一般臺子一樣的美觀。 ◆作業(yè)部分與隔振部分相分離，便于使用。 ◆安裝有小腳輪，需變更室內(nèi)布局時(shí)移動(dòng)方便。 ◆可選擇各種附件選項(xiàng)，能達(dá)到多種功能和充分利用空間。
◆作為半導(dǎo)體FAB用，可在Class 1潔凈的室內(nèi)環(huán)境中使用 ◆所有材料均用不銹鋼制作，可防腐蝕或退色問題。 ◆安裝有防靜電裝置與能夠保持潔凈室內(nèi)空氣潔凈度的集中排氣回收器具。 ◆為減少潔凈室內(nèi)空氣阻力使用打孔結(jié)構(gòu)的上板。 ◆打磨焊接珠等粗糙物，便于使用擦拭器，不存在能夠積塵的縫隙或彎曲部位。
探針臺、顯微鏡、Mask、aligner、A.F.M、S.T.M、 薄膜厚度形狀測定儀、其它半導(dǎo)體相關(guān)檢驗(yàn)裝備。
品牌： 北京卓立漢光 型號： DVID系列-H型 產(chǎn)地：韓國 供應(yīng)商：北京卓立漢光儀器有限公司

特點(diǎn): ◆采用光學(xué)實(shí)驗(yàn)用的蜂窩芯式（Honeycomb Breadboard）的高剛性上板。 ◆為固定光學(xué)儀器或配件的Top Hole(M6, 25間距)固定孔。 ◆采用高性能隔振系統(tǒng)(Pneumatic Isolator)的支撐與固定型隔振支撐(Rigid support)形式兩種。 ◆為提高操作性及作業(yè)效率，在氣囊內(nèi)置阻尼孔，提高了衰減功能。
◆內(nèi)核：強(qiáng)化鋼板蜂窩（0.25mm鋼箔3.2cm2單元面積） ◆表層板：4.0mm厚度430系列高導(dǎo)磁鎳合不銹鋼，沙化表面處理 ◆底層板：4.0mm厚度碳鋼氧化表面處理 ◆表面平整度 : ±0.1mm每600mmx600mm ◆固定螺孔：公制：M6螺孔 25mm柵格 37.5mm邊緣 英制：1/4-20螺孔 1英寸柵格 1.5英寸邊緣 ◆蜂窩式頂板厚度：50t,100t可選
適合多種直徑的光纖安裝，裝取方便。配合BP-16底板，TSMT5-2兩維傾斜架使用，可進(jìn)行光纖的多維調(diào)整。
品牌： 北京卓立漢光 型號： APFCH-2 產(chǎn)地： 供應(yīng)商：北京卓立漢光儀器有限公司

APFCH-2采用剛性卡緊方式，夾持直徑：0.2~1.5mm,能穩(wěn)固卡緊光纖且不壓傷，配合APFC系列光纖耦合器和APFP-FC光纖卡頭安裝座使用，穩(wěn)定方便。
APFCH-1采用彈性卡緊方式，夾持直徑：0.08~0.2mm,配合APFC系列光纖耦合器和APFP-FC光纖卡頭安裝座使用，穩(wěn)定方便。
可將APFP-θx傾斜調(diào)整架與APFP-T兩維傾斜調(diào)整架安裝在一起，并與APFP-XYZ三維調(diào)整架組合為六維調(diào)整架。
有標(biāo)準(zhǔn)顯微物鏡安裝螺紋，可固定顯微物鏡。其上的燕尾槽可與調(diào)整架上的燕尾座配合，裝卸方便。
由TSMW13-XYZ整體式三維移動(dòng)臺和APFP-T不銹鋼整體二維俯仰臺組合而成，結(jié)構(gòu)緊湊，小巧精密,性價(jià)比高,非常適合工業(yè)客戶的光纖對準(zhǔn)。左手型號為:FP-XYZTL。
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