電子束蒸發(fā) E-Beam
上海伯東代理 AdNaNo 鎧柏科技 E-Beam 電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī), 最大真空度可達(dá) 5E-10 torr, 提供客制化服務(wù).

 推薦設(shè)備型號(hào): EBS-150
 標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)計(jì), 左邊 load lock 腔體, 包含氧化和蝕刻過程; 
 右邊沉積腔內(nèi)含一個(gè)電子束, 適用于約瑟夫森結(jié),
 特性:
 真空度 5E-8 torr
 最大 8inch 樣品
 基本可傾斜 / 旋轉(zhuǎn)
 可選 IBAD
 全自動(dòng)
 腔室水冷

上海伯東代理 AdNaNo 鎧柏科技制造的超導(dǎo)結(jié)制備用電子束蒸鍍?cè)O(shè)備, 鎧柏鍍膜機(jī)專精于金屬及氧化物薄膜的制備, 可用于超導(dǎo)量子實(shí)驗(yàn)室制備超導(dǎo)結(jié) ( 量子比特和約瑟夫森結(jié) ) 和量子器件, 可以制備大面積, 高穩(wěn)定性和可重復(fù)性超導(dǎo)結(jié). AdNaNo 電子束蒸發(fā)設(shè)備提供客制化服務(wù), 滿足各類不同真空系統(tǒng)整合需求！