原子力顯微鏡應(yīng)用案例
上海伯東代理英國 NanoMagnetics 原子力顯微鏡主要應(yīng)用于材料科學(xué), 聚合物科學(xué), 半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域. 與 STM 對比 AFM 原子力顯微鏡可以觀測非導(dǎo)電樣品, 應(yīng)用范圍更廣.
在材料科學(xué)領(lǐng)域, 原子力顯微鏡不但可以獲得材料表面的3D形貌, 表面粗糙度和高度等信息, 而且可以獲得材料表面物理性質(zhì)分布的差異, 例如摩擦力, 阻抗分布, 電勢分布, 介電常數(shù), 壓電特性, 磁學(xué)性質(zhì)等. 如下圖是 ezAFM 多壁碳納米管成像圖.

在聚合物科學(xué)領(lǐng)域, 原子力顯微鏡可以獲得表面的結(jié)構(gòu)以及材料表面物理性質(zhì), 對樣品進行加熱, 可以研究聚合物的相變過程; 結(jié)合環(huán)境腔, 可以研究有機溶劑氣氛下聚合物表面結(jié)構(gòu)演變過程, 有助于解釋聚合物失效機理. 如下圖是 ezAFM 聚酯纖維成像圖.
PS: 聚酯纖維樣本由 Aylin Sendemir 博士提供, 愛丁堡大學(xué)
在半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域, 原子力顯微鏡可以檢測基片表面拋光缺陷, 圖形化結(jié)構(gòu), 薄膜表面形貌以及定量的表面粗糙度數(shù)據(jù)和深度信息, 同時可以檢測表面缺陷 ( 比如電流泄漏, 結(jié)構(gòu)缺陷, 晶格錯位, 缺陷密度和傳播等 ) 以及表面阻抗, 電勢分布, 介電常數(shù), 摻雜濃度等, 有利于半導(dǎo)體材料的可靠性,均一性和失效性分析. 如下圖是 ezAFM硅片表面粗糙度成像圖.

PS: 硅片樣本由上海某大學(xué)提供
ezAFM 原子力顯微鏡主要技術(shù)參數(shù)