電感耦合等離子體光譜儀(簡稱ICP光譜儀),由于具有高靈敏度,高精密度,低基體效應(yīng)和具有同時多元素分析能力等一系列特點,自1975年出現(xiàn)商品儀器以來,很快在各分析領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,成為材料、環(huán)境、地礦、冶金、食品、化工、生化、商品檢驗及科研領(lǐng)域最通用的無機元素分析工具.ICP光譜儀的結(jié)構(gòu)和技術(shù)也在不斷的改進和發(fā)展.1991年新的中階梯光柵固態(tài)檢測器ICP-OES儀器問世,即國內(nèi)所說的全譜直讀電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀.1993年國外生產(chǎn)的該類儀器進入中國市場,目前國內(nèi)還沒有制造商將全譜直讀電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀產(chǎn)業(yè)化.

近5年來的直讀IPC光譜儀行業(yè)的形態(tài)，有點像汽車產(chǎn)業(yè)的發(fā)展勢態(tài)：國外產(chǎn)品及技術(shù)已經(jīng)非常成熟，新技術(shù)的研究和整合活動處于低谷，迫于國內(nèi)產(chǎn)品的競爭壓力，部分廠商推出一些低成本低性能的產(chǎn)品，在一些傳統(tǒng)的高端產(chǎn)品上，受制于成熟的 技術(shù)平臺和產(chǎn)品構(gòu)架，會做一些小的改進和模塊整合，以獲得少量的差異化。

ICP(Inductive Coupled Plasma Emission Spectrometer) 電感耦合等離子光譜發(fā)生儀 電感耦合等離子體(ICP)是目前用于原子發(fā)射光譜的主要光源.ICP具有環(huán)形結(jié)構(gòu)`溫度高`電子密度高`惰性氣氛等特點,用它做激發(fā)光源具有檢出限低`線性范圍廣`電離和化學(xué)干擾少`準確度和精密度高等分析性能.ICP還可以作為原子化器,如以空心陰極燈為光源,ICP為原子化器的原子熒光光譜儀.這類儀器不采用單色器,以ICP為中心,在周圍安裝多個檢測單元(每一元素配一個檢測單元),形成了多元素分析系統(tǒng).

ICP作為原子化器最大的優(yōu)點在于原子化器具有很高的溫度,多種元素都可得到很好地原子化,散射問題也得到的克服.由計算機控制,燈電源順序地向各檢測單元的空心陰極燈供電(2,000次/秒),所產(chǎn)生的熒光由相應(yīng)的光電倍增管檢測,光電轉(zhuǎn)換后的電信號在放大后由計算機處理,并報出各元素的分析結(jié)果.不過,值得提出的是,以ICP為原子化器的原子熒光光譜儀對難熔元素的測定靈敏度不高.