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旋轉噴淋清洗機是什么

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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-07-09  來源:儀器信息網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):572
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旋轉噴淋清洗機是浸入式清洗的一種變體。該系統(tǒng)一般包括自動配液系統(tǒng)、清洗腔體和廢液回收系統(tǒng)。旋轉噴淋清洗機在密閉的工作室內完成化學清洗、去離子水清洗、旋轉自旋干燥等工序,減少了清洗過程中每一步人為因素的影響。密閉的工作室內可以隔離化學溶液的揮發(fā),減少溶液的損失,減少溶液蒸汽對人體和環(huán)境的危害。該系統(tǒng)被儲存在不同的化學試劑中,并在使用時到達噴嘴前進行混合,保持其新鮮,以最大限度地提高其在清洗過程中最快反應時間的潛力。

當?shù)獨獗皇褂脮r,液體通過一個小噴嘴噴射到硅片表面形成一層細霧,以達到更好的清洗目的。該方法適用于去除氧化膜或有機物。由于化學物質停留在硅片表面的時間較短,在一定時間內清洗反應是不好的。清洗機噴涂過程中化學試劑用量少,有利于成本控制和環(huán)境保護。在噴淋清洗中,由于旋轉和噴淋的作用,硅片表面的溶液更加均勻,硅片表面的溶液總是新鮮的。通過工藝時間的設定,可以精確控制硅片的清洗和腐蝕效果,達到良好的一致性。



旋轉噴淋清洗機是浸入式清洗的一種變體。該系統(tǒng)一般包括自動配液系統(tǒng)、清洗腔體和廢液回收系統(tǒng)。旋轉噴淋清洗機在密閉的工作室內完成化學清洗、去離子水清洗、旋轉自旋干燥等工序,減少了清洗過程中每一步人為因素的影響。密閉的工作室內可以隔離化學溶液的揮發(fā),減少溶液的損失,減少溶液蒸汽對人體和環(huán)境的危害。該系統(tǒng)被儲存在不同的化學試劑中,并在使用時到達噴嘴前進行混合,保持其新鮮,以最大限度地提高其在清洗過程中最快反應時間的潛力。當?shù)獨獗皇褂脮r,液體通過一個小噴嘴噴射到硅片表面形成一層細霧,以達到更好的清洗目的。該方法適用于去除氧化膜或有機物。由于化學物質停留在硅片表面的時間較短,在一定時間內清洗反應是不好的。清洗機噴涂過程中化學試劑用量少,有利于成本控制和環(huán)境保護。在噴淋清洗中,由于旋轉和噴淋的作用,硅片表面的溶液更加均勻,硅片表面的溶液總是新鮮的。通過工藝時間的設定,可以精確控制硅片的清洗和腐蝕效果,達...
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