引言1895 年，德國物理學家倫琴 (Roentgen W C)發(fā)現(xiàn)了 X 射線[1,2] 。1896 年，法國物理學家喬治（GeorgsS）發(fā)現(xiàn)了 X 射線熒光。1948 年，弗利德曼 (FriedmanH.) 和伯克斯 (Birks L S)首先研制了第一臺商品性的波長色散 X 射線熒光 (WDXRF)光譜儀 [3] 。1965 年，探測 X射線的 Si(Li) 探測器問世了， 隨即被裝配于 X射線熒光光譜儀上，成為能量色散 X 射線熒光 (EDXRF)光譜儀的核心部件。 1969 年，美國海軍實驗室 Birks 研制出第一臺真正意義上的 EDXRF光譜儀 [4] 。二十世紀七十年代初， EDXRF光譜儀正式跨入儀器分析行業(yè)。與此同時，還相繼出版了多部有關(guān) EDXRF光譜分析的論著。 近半個世紀以來， 隨著半導(dǎo)體技術(shù)和計算機技術(shù)的迅猛發(fā)展。特別是半導(dǎo)體探測器出現(xiàn)和性能不斷地提高， EDXRF光譜儀的生產(chǎn)和應(yīng)用也達到了快速發(fā)展， 其市場占有量也與 WDXRF光譜儀平分秋色。 目前，我國已有多家研制、生產(chǎn)、組裝 EDXRF 光譜儀的廠商，其主要性能指標基本接近國際先進水平。 EDXRF 分析技術(shù)發(fā)展至今，它已成為一門較為成熟的分析技術(shù)。EDXRF分析技術(shù)被廣泛用于冶金、 地質(zhì)、礦物、石油、化工、生物、醫(yī)療、刑偵、考古等諸多部門和領(lǐng)域， EDXRF光譜儀已成為對物質(zhì)的化學元素、物相、晶體結(jié)構(gòu)進行試測， 對人體進行醫(yī)檢和微電路的光刻檢驗等的重要分析手段， 是材料科學、生命科學、 環(huán)境科學等普遍采用的一種快速、 準確而又經(jīng)濟的多元素分析儀器； EDXRF光譜儀已成為理化實驗室的重要工具，是野外現(xiàn)場分析和過程控制分析等方面儀器之一。1.X 熒光光譜分析現(xiàn)狀X熒光光譜分析始于 1895 年德國科學家倫琴發(fā)現(xiàn)了 X射線，經(jīng)過理論完善的階段發(fā)展到現(xiàn)在的蓬勃應(yīng)用階段， 在幾代人的努力下發(fā)展出了波長色散、 能量色散、全反射、同步輻射、 質(zhì)子 X射線熒光光譜儀和 X射線熒光分析儀等組成的一個大家族。X射線熒光光譜分析的發(fā)展之所以如此迅速， 一方面是由于微電子和計算機技術(shù)的飛躍發(fā)展可另一方面是為了滿足科學技術(shù)對分析的要求。 當然，這還與該種分析技術(shù)的以下特點有關(guān)：⑴可直接對塊狀、 液體、粉末樣品進行分析， 亦可對小區(qū)域或微區(qū)試樣進行分析，如質(zhì)子 X 射線熒光通過良好聚焦的帶電粒子束可提供 0.5 μm的束斑。⑵可分析鍍層和薄膜的組成和軟件厚度， 乳癰基本參數(shù)法薄膜軟件可分析多達十層膜的組成和厚度。⑶波長色散和能量色散的檢測范圍大幅提升，檢測限已達 10-9~ 10-12g，以滿足眾多物質(zhì)的分析要求。⑷隨著計算機技術(shù)的發(fā)展已經(jīng)可以對樣品進行在線基體校正， 而且解除了試樣與標準樣形態(tài)一致的限制。⑸譜儀已自動化、智能化、小型化和專業(yè)化，在性能上有很大改進。⑹對儀器光源的穩(wěn)定度要求從上世紀八十年代的 0.1%發(fā)展到現(xiàn)在的0.04%，從而進一步保證了測量結(jié)果的可靠性。⑺從常規(guī)分析的角度來說， 其分析結(jié)果的準確度已經(jīng)可以與化學分析相媲美。除去電費和簡單的樣品制備外， 分析成本很低。 雖然一次性投資較大， 但一般在三五年內(nèi)便可以收回成本。⑻X熒光分析法是無損分析方法， 隨著分析技術(shù)的發(fā)展， 已廣泛用于古陶瓷、金屬屑、和貴重首飾的組成分析，為文物斷源及斷代提供了重要的支持。⑼能量色散譜儀已成為在線分析的，尤其是低分辨率譜儀。⑽利用波長色散譜儀已經(jīng)可以測定元素的價態(tài)、配位和鍵能等化學信息。通過對美國化學文摘 1990-1999 年的檢索表明， 中國雖然論文數(shù)目第一， 但是其中有影響力的作品卻沒有多少。 這表明我國在該領(lǐng)域的研究有著不錯的規(guī)?；A(chǔ)，但是缺少深入，長期的研究。2.主要研究成果

基礎(chǔ)研究成果

Zhang Li-Xing 指出了 Shiman和 Shiraiwa 和 Fujino 方程中 X 射線熒光一次、二次和三次熒光強度的理論公式中的不合理之處， 他認為他們方程中的儀器因子是錯誤的，應(yīng)該用入射角 φ1替代出射角 φ2，該公式已被學術(shù)界廣泛采用。

陶光儀編制了 NBSGSC程序，這是繼 NRLXRF程序之后又一重要程序， 直至現(xiàn)在仍被國內(nèi)外許多廠商采用。鄷梁垣在 FLY 程序的基礎(chǔ)上又開發(fā)出基于基本參數(shù)法和理論影響系數(shù)法的TFFP軟件，新近又推出 PCFPW32軟件，并被一些廠家用于WDXRF和 EDXRF譜儀中，該程序可對厚樣和薄樣（多至 6 層）進行分析。汪永忠提出了“直接測定法”。 該法用待測元素與樣品中一組分元素之比來代替未知樣中待測元素與標準樣該元素之比來進行計算， 從而有效的消除和減小了不規(guī)則或表面粗糙引起的誤差和基本參數(shù)的不確定性。黃培云院士和和趙新那教授提出用熱力學方法對基體效應(yīng)進行校正。 王永東和滿瑞林等將化學計量學中的 PLS算法用于 WDXRF和 EDXRF的數(shù)據(jù)處理。陳遠盤提出了修正比例常數(shù)法，用于單礦物和黃金飾品的組成分析。TXRF（全反射 X 射線熒光儀）方面繼 1989 年高能物理研究所建立全反射 X射線熒光分析儀以來， 中國原子能科學研究院放化所和地礦部物探與化探研究所研制了各自的 TXRF裝置，也做了相應(yīng)的研究工作。北京同步輻射裝置（ BSRF）和合肥國家同步實驗室（ NSRL）相繼投入使用。XRMF（X射線微熒光分析）已逐步成為表面微區(qū)和微試樣的分析工具，北京師范大學在此方面做出了開創(chuàng)性的工作。中科院物理所、原子核研究所和復(fù)旦大學陸續(xù)建立了掃描核探針裝置。

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