1895 年，德國(guó)物理學(xué)家倫琴 ( Roentgen WC) 發(fā)現(xiàn)了 X射線。

1896 年，法國(guó)物理學(xué)家喬治( Georgs S) 發(fā)現(xiàn)了 X射線熒光。

1948 年，弗利德曼( Friedman H． ) 和伯克斯( Birks L S)首先研制了第一臺(tái)商品性的波長(zhǎng)色散 X射線熒光( WDXRF) 光譜儀。

1965 年，探測(cè) X射線的 Si( Li) 探測(cè)器問世了，隨即被裝配于 X射線熒光光譜儀上，成為能量色散 X射線熒光( EDXRF)光譜儀的核心部件。

1969 年，美國(guó)海軍實(shí)驗(yàn)室 Birks 研制出第一臺(tái)真正意義上的EDXRF 光 譜 儀。二 十 世 紀(jì) 七 十 年 代 初，EDXRF 光譜儀正式跨入儀器分析行業(yè)。與此同時(shí)，還相繼出版了多部有關(guān) EDXRF 光譜分析的論著。

近半個(gè)世紀(jì)以來，隨著半導(dǎo)體技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的迅猛發(fā)展，特別是半導(dǎo)體探測(cè)器出現(xiàn)和性能不斷地提高，EDXRF 光譜儀的生產(chǎn)和應(yīng)用也得到了快速發(fā)展，其市場(chǎng)占有量已與WDXRF 光譜儀平分秋色。

目前，我國(guó)有多家研制、生產(chǎn)、組裝 EDXRF 光譜儀的廠商，其產(chǎn)品主要性能指標(biāo)基本接近國(guó)際先進(jìn)水平。

EDXRF 分析技術(shù)發(fā)展至今，已成為一門較為成熟的分析技術(shù)，被廣泛用于冶金、地質(zhì)、礦物、石油、化工、生物、醫(yī)療、刑偵、考古等諸多部門和領(lǐng)域。

EDXRF 光譜儀已成為對(duì)物質(zhì)的化學(xué)元素、物相、晶體結(jié)構(gòu)進(jìn)行試測(cè)、對(duì)人體進(jìn)行醫(yī)檢和微電路的光刻檢驗(yàn)等的重要分析工具，是材料科學(xué)、生命科學(xué)、環(huán)境科學(xué)等普遍采用的一種快速、準(zhǔn)確而又經(jīng)濟(jì)的多元素分析儀器;

EDXRF 光譜儀已成為理化實(shí)驗(yàn)室的重要工具，是野外現(xiàn)場(chǎng)分析和過程控制分析等方面儀器之一。