MKS微波功率源ASTEX AX2115 發(fā)表時(shí)間：2019-05-09 14:44 作者：胤旭機(jī)電 來(lái)源：www.yinxu99.com 瀏覽：
胤旭機(jī)電網(wǎng)最新報(bào)道 >> MKS微波功率源ASTEX AX2115 : MKS微波功率源ASTEX AX2115 SmartPowerAX2500系列智能微波發(fā)電機(jī)經(jīng)過驗(yàn)證具有設(shè)計(jì)堅(jiān)固，可靠的微波功率發(fā)生器的經(jīng)驗(yàn)半導(dǎo)體制造和工業(yè)應(yīng)用。 緊湊的AX2500設(shè)計(jì)架構(gòu)采用經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的技術(shù)，……
MKS微波功率源ASTEX AX2115

SmartPower AX2500系列智能微波發(fā)電機(jī)經(jīng)過驗(yàn)證具有設(shè)計(jì)堅(jiān)固，可靠的微波功率發(fā)生器的經(jīng)驗(yàn)半導(dǎo)體制造和工業(yè)應(yīng)用。 緊湊的AX2500設(shè)計(jì)架構(gòu)采用經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的技術(shù)，并結(jié)合了新的設(shè)計(jì)功能提高性能和降低擁有成本。

SmartPower AX2500系列包含兩種型號(hào)，涵蓋了一系列產(chǎn)品連續(xù)微波功率從180 W到3 kW。 型號(hào)AX2518具有最大值A(chǔ)X2530的性能為1.8 kW和3 kW。 頻率輸出為2.455 GHz 15 MHz。

特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)

提供1.8和3 kW功率級(jí)別適用于200和300mm應(yīng)用

微處理器控制的燈絲削減延伸磁控管。 可現(xiàn)場(chǎng)更換的磁控管管降低整體CoO

準(zhǔn)確的功率測(cè)量和反饋確保高重復(fù)性

緊湊的模塊化設(shè)計(jì)增強(qiáng)跨平臺(tái)兼容性

所有發(fā)電機(jī)共享一個(gè)通用的模塊化架構(gòu)準(zhǔn)確的功率測(cè)量，反饋和控制增加了過程控制和可重復(fù)性。 所有型號(hào)具有0.1%的反饋控制功率調(diào)節(jié)輸出功率(線路和負(fù)載)和紋波 1%的輸出功率。 PrecisionPower 技術(shù)(源自MKS獲得專利的SmartMatch 智能微波匹配單位)將功率控制的準(zhǔn)確度提高到 1.5%提高工藝一致性的最大功率。

此外，PrecisionPower 技術(shù)允許磁場(chǎng)在現(xiàn)場(chǎng)基本上被替換降低擁有成本。AX2500系列SmartPower 控制技術(shù)監(jiān)控發(fā)電機(jī)的操作系統(tǒng)并提供電源關(guān)閉保護(hù)和智能診斷。該SmartPower 生成器上顯示的簡(jiǎn)單消息前面板為用戶提供所需的所有信息了解系統(tǒng)狀態(tài)，減少M(fèi)TTR并確保最大正常運(yùn)行時(shí)間